亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        電子級(jí)硫酸制備方法概述

        2022-06-03 23:20:36釗現(xiàn)花
        速讀·上旬 2022年3期
        關(guān)鍵詞:三氧化硫高純硫酸

        釗現(xiàn)花

        ◆摘? 要:對(duì)于電子級(jí)硫酸,其實(shí)很多人并不是很熟悉,但是如果說(shuō)純硫酸也許就會(huì)有人知道,純硫酸其實(shí)就是指的電子級(jí)硫酸,它是一種超凈、高純?cè)噭菍儆诨瘜W(xué)劑的一種,主要應(yīng)用在半導(dǎo)體、超大規(guī)模集成電路加工裝配中。尤其是對(duì)硅晶片進(jìn)行蝕刻或者進(jìn)行清洗的時(shí)候便會(huì)使用到電子級(jí)硫酸,它能夠更好的去除晶片上的雜物。電子級(jí)硫酸的純度高不高或者其潔凈度高不高在一定程度上會(huì)對(duì)電子元件的成品率造成一定的影響,同時(shí)還會(huì)影響到電性能及可靠性。

        1 制備工藝

        精餾法其實(shí)就是將回流的原理進(jìn)行充分利用,從而實(shí)現(xiàn)分離的目的。工業(yè)硫酸含有亞硫酸以及大量的金屬等雜質(zhì),而且它是一種具有微黃色的液體。一般情況下,在對(duì)工業(yè)硫酸進(jìn)行精餾提純前,基本上還需要化學(xué)預(yù)處理,也就是將一定量的強(qiáng)氧化劑倒入預(yù)處理槽中,這樣一來(lái)能夠讓硫酸中的還原性雜質(zhì)進(jìn)行氧化,從而便會(huì)產(chǎn)生二氧化碳和硫酸,接下來(lái)便可以把已經(jīng)處理的硫酸輸進(jìn)到石英精餾塔內(nèi),然后在展開(kāi)精餾處理。因?yàn)榻饘匐s質(zhì)離子目前基本上的存在形式便是以硫酸鹽形式,而且硫酸鹽的沸點(diǎn)相對(duì)會(huì)比較高一點(diǎn),因此在進(jìn)行精餾的時(shí)候,因?yàn)槠浞悬c(diǎn)高的原因會(huì)造成其和蒸餾殘液會(huì)混合在一起,然后同時(shí)都?xì)埩粼诟?,然后在定期的進(jìn)行去除。當(dāng)精餾速度基本上都已經(jīng)穩(wěn)定了以后,這個(gè)時(shí)候便可以進(jìn)行成品的收集,將其收集在儲(chǔ)罐內(nèi),然后在對(duì)其進(jìn)行進(jìn)一步的過(guò)濾,將里面的雜質(zhì)過(guò)濾掉,然后在進(jìn)行分裝。孫國(guó)忠是黃山市歙縣中佳實(shí)業(yè)有限公司的一名工程師,他經(jīng)過(guò)幾年的研究,發(fā)明了一種醫(yī)用電子級(jí)硫酸提純?cè)O(shè)備,這種設(shè)備和其他設(shè)備相比有一定的優(yōu)勢(shì),主要是使用的三級(jí)蒸餾技術(shù),可能在一定程度上是使得蒸餾得到的產(chǎn)品品質(zhì)得到進(jìn)一步的提升。而且,該項(xiàng)設(shè)備還能夠在一定程度上節(jié)約能源消耗,比如它可以充分的利用余熱來(lái)預(yù)熱螺旋預(yù)熱器中的原料,這便實(shí)現(xiàn)了能源的節(jié)約。而且還將加熱器進(jìn)行了改善,把原來(lái)的煤加熱改成了現(xiàn)在的電爐絲加熱,這便能夠在一定程度上減少了煤燃燒造成的環(huán)境污染問(wèn)題,同時(shí)還節(jié)約了煤炭消耗,實(shí)現(xiàn)能源的節(jié)約。但是,這個(gè)設(shè)備也存在一定的缺點(diǎn),該設(shè)備不能進(jìn)行大規(guī)模的生產(chǎn)醫(yī)用電子級(jí)硫酸,僅僅只能進(jìn)行小規(guī)模的生產(chǎn),因此,距離工業(yè)大規(guī)模生產(chǎn)電子級(jí)硫酸還差很遠(yuǎn)。精餾法能耗相對(duì)比較大,而且其成本并不低,同時(shí)有的雜質(zhì),僅僅利用精餾法根本無(wú)法完全去除,而且還會(huì)造成有害氣體的產(chǎn)生,對(duì)人體健康非常的不利,只能進(jìn)行小規(guī)模生產(chǎn)。

        氣體吸收法也是一種比較常用的一種方法,其中最關(guān)鍵的便是三氧化硫的提純。首先,要把過(guò)氧化氫溶液倒入到向發(fā)煙硫酸之中,需要注意的是一定要嚴(yán)格控制還倒入的過(guò)氧化氫溶液的量,這樣一來(lái)便能夠?qū)崿F(xiàn)二氧化硫氧化為三氧化硫,接下來(lái)便可以把發(fā)煙硫酸放入降膜蒸發(fā)器中進(jìn)行蒸發(fā),同時(shí)一定要保證溫度控制在 110 ℃±20度條件下,這樣一來(lái)才能夠?qū)崿F(xiàn)更好的蒸發(fā)效果,當(dāng)三氧化硫氣體產(chǎn)生以后,在通過(guò)除霧器,將里面的微量硫酸進(jìn)行去除,在混合高度純化的惰性氣體,接下來(lái)便進(jìn)入吸收塔,再利用超純稀硫酸進(jìn)行吸收,經(jīng)過(guò)一段時(shí)間的冷卻便能夠得到超純硫酸產(chǎn)品。如果產(chǎn)品還是不達(dá)標(biāo)的話,那么便可以在進(jìn)入吸收塔前展開(kāi)多次的過(guò)濾。對(duì)成品的超純硫酸進(jìn)行輸送和收集時(shí)也要特別的注意,輸送管道一定要經(jīng)過(guò)特殊設(shè)計(jì)符合成品的超純硫酸輸送要求的,然后將成品的超純硫酸送入襯四氟的儲(chǔ)槽中。目前,上海華誼微電子材料有限公司的詹家榮等人也對(duì)這方面進(jìn)行了相關(guān)研究,并取得一定的成果,使用二次氣化來(lái)實(shí)現(xiàn)三氧化硫原料的純度的進(jìn)一步提升,而且對(duì)于純化的三氧化硫的吸收可以通過(guò)使用不同濃度的超純稀硫酸來(lái)實(shí)現(xiàn),從而生產(chǎn)出超純硫酸。

        2 國(guó)內(nèi)外研究現(xiàn)狀

        目前,我國(guó)在電子級(jí)硫酸方面的研究相對(duì)比較少,而且我們起步也比較晚一些。電子級(jí)硫酸的核心技術(shù)基本上都是掌握在歐美發(fā)達(dá)國(guó)家的手中,比如美國(guó)、德國(guó)等國(guó)家被掌握了電子級(jí)硫酸核心技術(shù),而且,我們很少能夠在相關(guān)的期刊和報(bào)紙上看到關(guān)于該項(xiàng)核心技術(shù)的介紹,各大媒體對(duì)于這個(gè)技術(shù)的報(bào)道非常少。目前,在國(guó)際上也僅僅只有幾家公司能夠進(jìn)行電子級(jí)硫酸的大規(guī)模生產(chǎn)。比如像美國(guó)的Ashland公司、日本的Wako等公司。經(jīng)過(guò)科技的不斷發(fā)展,電子級(jí)硫酸相關(guān)技術(shù)也得到了一定程度的發(fā)展,比如在目前美國(guó)、日本以及韓國(guó)已經(jīng)可以進(jìn)行0.09~0.2 μm及以上技術(shù)用的超凈高純?cè)噭┑拇笠?guī)模生產(chǎn),而且即使是5000~10000 t/a,65nm及以下技術(shù)用工藝化學(xué)品,目前基本上也已經(jīng)完成了技術(shù)研究,已經(jīng)完全具備了生產(chǎn)能力。雖然,我國(guó)在這一方面起步比較晚,但是經(jīng)過(guò)最近幾年的努力研究,我們也在高純?cè)噭┓矫嫒〉昧艘欢ǖ某煽?jī)。但是,如果和國(guó)際領(lǐng)先技術(shù)相比較的話,那么我國(guó)還是和他們具有一定的差距的,而且我們的研究雖然取得了相應(yīng)的成果,但是成果產(chǎn)業(yè)化速度相對(duì)比較緩慢,還不能夠進(jìn)行大規(guī)模的生產(chǎn)。

        如今,MOS級(jí)試劑的生產(chǎn)技術(shù)基本上都已成熟,而且目前我國(guó)的超凈高純?cè)噭┥a(chǎn)廠家基本上也是進(jìn)行該檔次產(chǎn)品的生產(chǎn),同時(shí)在BV-Ⅲ級(jí)電子級(jí)硫酸生產(chǎn)方面,已經(jīng)實(shí)現(xiàn)了年產(chǎn)千噸級(jí)的規(guī)模,對(duì)于BV-Ⅳ、BV-Ⅴ級(jí)這類(lèi)比較高規(guī)格的產(chǎn)品,目前我國(guó)還沒(méi)有辦法進(jìn)行自主生產(chǎn),基本上還是依賴(lài)進(jìn)口。目前,我國(guó)對(duì)超凈高純?cè)噭┓浅5闹匾?,已?jīng)把“ULSI 用超凈高純?cè)噭┭芯俊闭n題作為一個(gè)非常重要的課題進(jìn)行研究,同時(shí)還將其列入“863”超大規(guī)模集成電路配套材料重大專(zhuān)項(xiàng)計(jì)劃之中。

        參考文獻(xiàn)

        [1] 黃山市歙縣中佳實(shí)業(yè)有限公司.醫(yī)用電子級(jí)硫酸提純?cè)O(shè)備:中國(guó),201678447U[P].2010-12-22.

        [2] 上海哈勃化工有限公司.一種超純化學(xué)品的生成方法;中國(guó),1300634[P].2001-06-27.

        [3] 劉飛,李天祥.電子級(jí)磷酸的純化技術(shù)及其發(fā)展現(xiàn)狀[J].無(wú)機(jī)鹽工業(yè),2011,43(03):11-13.07E936C2-3714-44BE-8CE9-EB80F0F24684

        猜你喜歡
        三氧化硫高純硫酸
        三氧化硫在磺化反應(yīng)中的應(yīng)用要點(diǎn)
        磺化設(shè)備的更新和產(chǎn)品質(zhì)量的提升
        硫酸渣直接還原熔分制備珠鐵
        2019年硫酸行業(yè)運(yùn)行情況
        醇鋁水解法制備高純擬薄水鋁石工藝實(shí)踐
        山東冶金(2019年6期)2020-01-06 07:46:14
        金致尚99999高純黃金演繹夏日 流蘇風(fēng)情
        水泥、粉煤灰化學(xué)分析技術(shù)分析
        2018磷復(fù)肥硫酸大數(shù)據(jù)發(fā)布
        硫酸很重要特點(diǎn)要知道
        紅釩堿溶法制備高純V2O5的研究
        久久99精品国产99久久| 自拍偷拍 视频一区二区| 成人国产一区二区三区| 日本japanese少妇高清| 国产人澡人澡澡澡人碰视频| 女人一级特黄大片国产精品| 一本色道久在线综合色| 色婷婷av一区二区三区不卡| 久久综合九色综合久久久| 丝袜美腿一区二区国产| 爽爽精品dvd蜜桃成熟时电影院| 91av手机在线观看| 国产在线精品亚洲视频在线| 高清日韩av在线免费观看| 国产亚洲日本精品无码| 中文字幕免费观看视频| av二区三区在线观看| 不卡日韩av在线播放| 久久不见久久见免费影院www| 久久亚洲国产成人亚| 午夜国产精品视频免费看电影| 五月天亚洲av优女天堂| 精品国产亚洲级一区二区| 农村欧美丰满熟妇xxxx| 亚洲男女免费视频| 久久亚洲一级av一片| 久久精品国产亚洲av成人文字| 色综合色狠狠天天综合色| 国产2021精品视频免费播放| 国语对白三级在线观看| 日韩一区二区三区精品视频| 午夜理论片yy44880影院| 高中生粉嫩无套第一次| 999久久久免费精品国产牛牛| 亚洲本色精品一区二区久久| 欧美大片va欧美在线播放| 国产激情精品一区二区三区| 日本成人字幕在线不卡| 久久综合激情的五月天| 成人av鲁丝片一区二区免费| 亚洲美国产亚洲av|