亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        雙頻激光光源技術(shù)研究現(xiàn)狀與進(jìn)展

        2022-04-20 09:31:38杜含笑李華豐
        工具技術(shù) 2022年3期
        關(guān)鍵詞:雙折射頻差聲光

        杜含笑,李華豐

        中國(guó)航空工業(yè)北京長(zhǎng)城計(jì)量測(cè)試技術(shù)研究所

        1 引言

        自1960年人類發(fā)明了第一臺(tái)紅寶石激光器以來,激光技術(shù)得到了空前發(fā)展,其后,隨著氦氖(He-Ne)激光器誕生,以其良好時(shí)間相干性及空間相干性在激光干涉測(cè)量領(lǐng)域中被廣泛應(yīng)用。

        激光干涉儀的應(yīng)用范圍廣泛,從大規(guī)模集成電路制造和自動(dòng)化機(jī)床檢測(cè)到幾何量計(jì)量設(shè)備系統(tǒng)均有其身影,是精密測(cè)量領(lǐng)域中必不可少的測(cè)量工具。激光干涉儀按光源成分可以分為單頻激光干涉儀和雙頻激光干涉儀,雙頻激光干涉儀又稱為外差式激光干涉儀,雙頻激光外差測(cè)量在信號(hào)處理系統(tǒng)中可放大交流信號(hào),抑制低頻噪聲,抗干擾能力強(qiáng),適合應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)等。本文詳細(xì)介紹了應(yīng)用于雙頻激光干涉儀中的激光光源技術(shù)。

        2 雙頻激光干涉原理

        雙頻激光干涉儀光路見圖1,雙頻激光器輸出一束包含兩個(gè)頻率分量的正交偏振光,記為f1、f2。該光束經(jīng)分光鏡取樣后,反射光經(jīng)過檢偏器P發(fā)生干涉,由光電接收器接收參考信號(hào)f1-f2[1]。偏振分光棱鏡將頻率f2的光分量反射到固定鏡,頻率為f1的光分量則通過偏振分光棱鏡透射進(jìn)入到測(cè)量鏡[2],經(jīng)測(cè)量鏡反射后獲得多普勒信號(hào)f1+Δfd,與經(jīng)固定鏡f2的反射光相遇并重合,通過檢偏器發(fā)生干涉,在接收器中獲得f1+Δfd-f2測(cè)量信號(hào)。

        圖1 雙頻激光干涉儀光路

        假設(shè)測(cè)量棱鏡移動(dòng)速度為V,移動(dòng)距離為L(zhǎng),則雙頻激光測(cè)量距離公式為

        (1)

        式中,λ為波長(zhǎng);Δfd為多普勒頻移。

        測(cè)量位移L可以表示為

        (2)

        式中,N為計(jì)數(shù)值與Δfd有關(guān)。

        由上述分析可得,通過激光產(chǎn)生兩個(gè)頻率分量并對(duì)其分離是雙頻激光干涉儀測(cè)量的重要過程。

        3 雙頻激光干涉儀激光光源技術(shù)

        雙頻激光干涉儀位移測(cè)量的關(guān)鍵是測(cè)量鏡產(chǎn)生多普勒頻移,多普勒頻移應(yīng)比光源頻差Δf低,即

        Δfd<Δf

        (3)

        由式(1)及式(3)可知

        (4)

        即當(dāng)Δf=1MHz時(shí),最大測(cè)量速度v應(yīng)小于300mm/s,否則解調(diào)系統(tǒng)會(huì)產(chǎn)生混亂,因此,雙頻激光干涉儀的測(cè)量速度受光源頻差影響,頻差越高,最大測(cè)量速度越高。當(dāng)前加工機(jī)床及坐標(biāo)測(cè)量機(jī)的運(yùn)行速度最高可達(dá)1m/s[3],即Δf應(yīng)大于4.5MHz。提高雙頻激光光源頻差可滿足測(cè)量速度要求,因此需主要關(guān)注雙頻激光器的光學(xué)分離方式、頻差大小、安裝調(diào)整難度和結(jié)構(gòu)成本等特性。

        本文將對(duì)塞曼雙頻激光器,雙折射雙頻激光器,偏振雙反射膜雙頻激光器,聲光調(diào)制雙頻激光器和雙縱模激光器進(jìn)行簡(jiǎn)要介紹。

        3.1 塞曼分裂雙頻激光器

        1896年,塞曼(P.Zeeman)研究發(fā)現(xiàn),將光源放在足夠強(qiáng)的磁場(chǎng)中光譜線被分裂成幾條,新譜線數(shù)目隨電子能級(jí)的類型而變化[4],這種現(xiàn)象稱為塞曼效應(yīng)?;谌?yīng)的塞曼雙頻激光器已廣泛應(yīng)用于商用激光干涉儀中,技術(shù)相對(duì)成熟。

        在激光管上施加水平磁場(chǎng)(即磁場(chǎng)垂直于激光器的中心線),稱為橫向塞曼分裂雙頻激光器(見圖2a)。其光譜線分裂成三條線偏振光,一條在原位置,另外兩條分別位于兩側(cè),σ光垂直于磁場(chǎng)方向,π光平行于磁場(chǎng)方向(見圖2b)。

        圖2 橫向塞曼分裂雙頻激光器及光譜線分裂[5]

        橫向磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)易于實(shí)現(xiàn),方便調(diào)節(jié)。橫向塞曼激光器的輸出頻率較小,一般小于1MHz[6],不適合高速測(cè)量,實(shí)際使用較少。

        在激光管上施加軸向磁場(chǎng)(即磁場(chǎng)與激光平行),稱為縱向塞曼分裂雙頻激光器(見圖3a)。其光譜線分裂為兩條不同頻率的圓偏振光,一條左旋偏振光,一條右旋偏振光(見圖3b)。

        圖3 縱向塞曼分裂雙頻激光器及光譜線分裂[5]

        縱向塞曼激光器左右圓偏振光頻率差Δv0[2]為

        (5)

        式中,g為能級(jí)朗德因子,對(duì)于He-Ne激光器,g≈1.3;μ0為玻爾磁子,μ0=9.27×10-24J/T;H為磁場(chǎng)強(qiáng)度;h為普朗克常數(shù),h=6.626×10-34J·s。

        激光諧振腔內(nèi)受頻率模牽引效應(yīng)影響,左右圓偏振光實(shí)際輸出頻差為[2]

        (6)

        式中,Δvc為無源腔線寬;ΔvD為多普勒線寬,約為1500MHz;I為腔內(nèi)光強(qiáng);Is為中心頻率處的飽和光強(qiáng)。

        由式(5)可知,Δv0隨著磁場(chǎng)強(qiáng)度H增大而增大,但當(dāng)Δv0=ΔvD(約1500MHz)時(shí),兩圓偏振光的增益曲線將分離,無法同時(shí)滿足激發(fā)條件輸出雙頻激光。將Δv0=1500MHz代入式(6)中,得到Δv≈3MHz,縱向塞曼分裂雙頻激光器一般只能達(dá)到3MHz左右。

        縱向塞曼雙頻激光器輸出頻差較大,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,但需要在激光管上施加軸向磁場(chǎng),磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)不易實(shí)施,需要考慮磁場(chǎng)的安裝方式及均勻度等問題。典型產(chǎn)品有惠普公司的5517系列,利用縱向塞曼分裂效應(yīng),最大頻差為4MHz,頻率穩(wěn)定度2×10-8/24h,最大測(cè)量速度為1m/s[7];ZYGO公司的7705系列雙頻激光器,最大頻差3.65MHz,頻率穩(wěn)定度2×10-8/24h,最大測(cè)量速度0.5m/s[8]。

        國(guó)內(nèi)很多科研單位也對(duì)縱向塞曼雙頻激光器做過研究,例如成都工具研究所研制的塞曼雙頻激光器最大頻差為1.2MHz,頻率精度0.03×10-6,最大測(cè)量速度為0.3m/s[9];哈工大研制的UOI500系列雙頻激光器,最大頻差為1.2MHz,頻率穩(wěn)定度1.3×10-9/24h,最大測(cè)量速度0.3m/s[9]。

        3.2 偏振雙反射膜雙頻激光器

        殷純永等[3]發(fā)明了偏振雙反射膜雙頻激光器(見圖4),其基本原理是不同偏振光垂直入射到特制反射膜并產(chǎn)生不同相位變化,利用橫向塞曼效應(yīng)減小模式耦合輸出雙頻激光。

        圖4 偏振雙反射膜雙頻激光器結(jié)構(gòu)[3]

        此發(fā)明中的偏振雙反射膜是利用特殊工藝制作的多層反射膜,制作原理是在反射膜層上產(chǎn)生殘余應(yīng)變。當(dāng)不同偏振光垂直入射時(shí),有兩個(gè)反射系數(shù),分別為

        (7)

        re=|re|e-tφe=re′e-tφe

        (8)

        雙反射膜反射相位躍變相差定義為Δφ=φo-φe,偏振雙反射膜雙頻激光器的輸出頻率表示為

        (9)

        式中,L為腔長(zhǎng);n為激活介質(zhì)折射率;v為激光頻率;c為真空中光速;φ1和φ2為光在兩個(gè)腔鏡的相位躍變;m為整數(shù)。

        兩個(gè)相鄰的激光縱模的頻率間隔為

        (10)

        由于反射時(shí)相位變化不同,即vc和ve的頻率不同,為滿足式(9)頻差大小,可表示為

        (11)

        由上式可得,偏振雙反射膜雙頻激光器頻差值受Δφ影響,Δvc最高可達(dá)1000MHz,因此Δφ的微小變化可得到大頻差。這種雙頻激光器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,不需要額外晶體,不損害激光器,輸出頻差高,磁場(chǎng)強(qiáng)度改變,頻差改變小,適合用于高速干涉儀。普瑞科創(chuàng)公司成功將段純永教授的成果產(chǎn)品化,研制的偏振雙反射膜雙頻激光器頻差最高可達(dá)6MHz,頻率穩(wěn)定度6.6×10-10/1000s[9]。

        3.3 雙折射雙頻激光器

        雙折射雙頻激光器利用雙折射晶體對(duì)不同偏振態(tài)的光有不同折射率的特點(diǎn),將雙折射晶體插入到激光諧振腔內(nèi),使激光器中兩偏振光分別有不同諧振腔長(zhǎng),形成雙頻激光[10]。

        (1)石英雙折射雙頻激光器

        典型雙折射雙頻激光器基本結(jié)構(gòu)如圖5所示。其基本原理為,將石英晶體放置在激光腔中,轉(zhuǎn)動(dòng)石英晶體的晶軸,改變與激光束之間夾角,得到雙頻激光。調(diào)節(jié)晶軸與激光束夾角α可以改變頻差值,角度越大,頻差越大。

        圖5 雙折射雙頻激光器基本結(jié)構(gòu)[11]

        石英晶體調(diào)諧He-Ne雙頻激光器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,頻差大,輸出范圍達(dá)40MHz~1GHz,但是對(duì)石英晶體精度有很高要求,難以實(shí)現(xiàn)同一頻差雙頻激光器的統(tǒng)一性。

        (2)應(yīng)力雙折射雙頻激光器

        李巖等[12]針對(duì)雙折射雙頻激光器做了很多研究,并提出多種實(shí)現(xiàn)方法,如通過旋轉(zhuǎn)石英晶體和對(duì)反射鏡施加應(yīng)力等。應(yīng)力雙折射激光器結(jié)構(gòu)如圖6所示,可通過施加不同的力F調(diào)整頻率差的大小。

        圖6 應(yīng)力雙折射雙頻激光器結(jié)構(gòu)[12]

        對(duì)激光腔內(nèi)的光學(xué)元件施加壓力時(shí),會(huì)產(chǎn)生應(yīng)力雙折射效應(yīng),o光和e光光程差值為

        (12)

        式中,δ為光程差值;D為所用元件的直徑;f0為光學(xué)材料的條紋值;F為壓力值;λ為激光波長(zhǎng)。

        因此,o光和e光之間的頻差大小可表示為

        (13)

        式中,L為激光器的腔長(zhǎng);f為激光增益介質(zhì)的中心頻率。

        由此(13)可看出,通過改變控制力F大小可以改變頻差,相比石英晶體,雙頻激光器更易精準(zhǔn)控制頻差和提高雙頻激光器的統(tǒng)一性。

        (3)雙折射-塞曼雙頻激光器

        雙折射He-Ne激光器的輸出頻差不小于40MHz[13],由于與偏振方向垂直的線偏振光在同一光路,當(dāng)o光和e光頻差較小時(shí),強(qiáng)烈的模競(jìng)爭(zhēng)導(dǎo)致其中一種頻率的光競(jìng)爭(zhēng)失敗,無法實(shí)現(xiàn)雙頻輸出。為此,張書練[14]發(fā)明了雙折射-塞曼雙頻激光器(見圖7),在激光器施加橫向磁場(chǎng),利用橫向塞曼效應(yīng)削弱模競(jìng)爭(zhēng),實(shí)現(xiàn)0~40MHz頻差輸出,填補(bǔ)3~40MHz頻差輸出空白。

        2001年,張書練等[14]發(fā)明的塞曼-雙折射雙頻激光器采用二維加力裝置(見圖8),保證施力結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定性[15]。2008年,張書練等[16]發(fā)明基于打孔應(yīng)力調(diào)節(jié)的雙折射雙頻激光器,如圖9所示,此發(fā)明在增透-反射鏡的外表面打孔,根據(jù)孔的位置以及打孔作用力大小等,調(diào)整激光器輸出頻率,輸出激光器0~40MHz的頻差。該發(fā)明擺脫外部加力機(jī)構(gòu),使內(nèi)應(yīng)力不受外界干擾,調(diào)節(jié)更加方便。

        圖7 塞曼-雙折射雙頻激光器

        圖8 二維施力裝置(以圓形為例)[14]

        圖9 以兩孔為例的增透-反射鏡剖面[16]

        2013年,朱守深等[17]在施力方式上提出創(chuàng)新,在激光器的平面輸出鏡內(nèi)部雕刻不同圖案,使平面鏡內(nèi)部產(chǎn)生相位延遲,實(shí)現(xiàn)雙頻激光輸出。圖10為雙折射雙頻激光器激光內(nèi)雕法,激光內(nèi)雕法對(duì)激光器沒有損害,可以反復(fù)賦值,重復(fù)修正。

        雙折射雙頻激光器易產(chǎn)生40MHz以上大頻差,而塞曼-雙折射雙頻激光器填補(bǔ)了中頻差3~40MHz的空白,為雙頻激光干涉儀提供最合適的頻差段。激光管上橫向磁場(chǎng)強(qiáng)度不影響雙折射-塞曼雙頻激光器產(chǎn)生的頻差大小,磁場(chǎng)結(jié)構(gòu)容易實(shí)施,但施加應(yīng)力和挖孔等措施會(huì)損害激光器穩(wěn)定性,因此需進(jìn)一步研究其壽命等問題。

        圖10 雙折射雙頻激光器激光內(nèi)雕法[17]

        3.4 聲光調(diào)制雙頻激光

        外差干涉測(cè)量基于聲光調(diào)制效應(yīng)產(chǎn)生雙頻激光,其原理是通過改變聲波頻率從而改變光的頻率,入射光穿過聲光介質(zhì)時(shí),聲波變化導(dǎo)致介質(zhì)折射率改變,從而產(chǎn)生衍射,其一級(jí)衍射光頻率發(fā)生頻移,頻移量為頻差值。

        如圖11所示,聲光調(diào)制器與光纖組合構(gòu)成光纖耦合聲光調(diào)制結(jié)構(gòu),頻率f0的光通過光纖入射到聲學(xué)移頻器,零階衍射輸出維持原始頻率f0原始方向,一階衍射輸出移頻后偏轉(zhuǎn)角為-θ,頻率變?yōu)閒0+Δf,將一級(jí)衍射光耦合到輸出光纖中完成聲光調(diào)制,得到雙頻激光[18]。光纖耦合聲光調(diào)制干涉光路見圖12,分離參考光與測(cè)量光,避免頻率混疊,加強(qiáng)穩(wěn)定性。

        圖11 光纖耦合聲光調(diào)制結(jié)構(gòu)

        圖12 光纖耦合聲光調(diào)制干涉光路

        為保證激光經(jīng)多個(gè)聲波反射后實(shí)現(xiàn)多光束相干涉,聲光調(diào)制需保證

        dλ>>Λ2

        (14)

        式中,d為聲光介質(zhì)厚度;λ為輸入激光波長(zhǎng);Λ為聲波波長(zhǎng)。

        因此,基于聲光調(diào)制原理產(chǎn)生的雙頻激光頻差較高,達(dá)幾十MHz以上,但光學(xué)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,在工業(yè)現(xiàn)場(chǎng)應(yīng)用較少。

        聲光調(diào)制雙頻激光的頻率調(diào)節(jié)方便,光路調(diào)節(jié)難度低,參考光與測(cè)量光分離,非線性誤差小。由于光學(xué)結(jié)構(gòu)比較復(fù)雜,目前主要應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室中。ZYGO公司研制產(chǎn)品大多通過聲光調(diào)制方法產(chǎn)生雙頻激光,頻差大于20MHz,最大測(cè)量速度達(dá)5m/s[8]。

        3.5 雙縱模雙頻激光器

        雙縱模He-Ne激光器尺寸小,價(jià)格便宜,無需額外磁場(chǎng),可實(shí)現(xiàn)無調(diào)制輸出,應(yīng)用比較廣泛[19]。雙縱模雙頻激光器通過改變諧振腔長(zhǎng),選擇兩個(gè)合適的縱模間距,輸出呈正交偏振態(tài)的雙頻激光。激光器輸出的縱模間隔可表示為

        ΔvL=C/2nL0

        (15)

        式中,C為光速;n為激光器腔內(nèi)折射率;L0為激光器腔長(zhǎng)。

        選擇合適的腔長(zhǎng)長(zhǎng)度,使其輸出兩個(gè)縱模,可獲得較高的雙頻輸出。雙縱模激光器增益曲線及雙縱模分布見圖13。

        圖13 雙縱模激光器增益曲線及雙縱模分布

        雙縱模激光器原理簡(jiǎn)單,成本低,輸出頻差達(dá)600~1000MHz,但是,過高的頻差會(huì)帶來一些問題(如影響測(cè)量精度),在超精密、快速測(cè)量領(lǐng)域應(yīng)用比較少。國(guó)內(nèi)外基于不同原理研制的典型雙頻激光器對(duì)比見表1。

        4 典型雙頻激光器特點(diǎn)對(duì)比

        本文詳細(xì)介紹了9種典型雙頻激光器的特點(diǎn)(見表2),通過對(duì)比可以得到以下結(jié)論。

        (1)商業(yè)用雙頻激光器以塞曼雙頻激光器為主,目前通過塞曼效應(yīng)產(chǎn)生的最大頻差為4MHz,最大速度為1m/s。相較其他類型雙頻激光器,其產(chǎn)生頻差較小,測(cè)量速度較低,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,24h內(nèi)頻率穩(wěn)定度高。

        (2)基于聲光調(diào)制的雙頻激光器產(chǎn)生頻差高,測(cè)量速度高,由于其光學(xué)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,目前大多應(yīng)用于實(shí)驗(yàn)室內(nèi)。

        (3)塞曼-雙折射激光器可實(shí)現(xiàn)中頻差輸出,有很好的應(yīng)用前景,但需額外定制激光器,目前大規(guī)模推廣仍有難度。

        (4)偏振雙反射膜雙頻激光器目前已有公司投入生產(chǎn),其最高可產(chǎn)生6MHz頻差,長(zhǎng)時(shí)間的頻率穩(wěn)定度仍需進(jìn)一步探究。

        (5)雙縱模雙頻激光器可產(chǎn)生超大頻差,結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,成本低,但是過高的頻差會(huì)為信號(hào)處理帶來困難。

        表1 國(guó)內(nèi)外典型雙頻激光器對(duì)比

        表2 典型雙頻激光器特點(diǎn)對(duì)比

        5 結(jié)語

        為了使雙頻激光更好發(fā)展,研究者仍需以降低光學(xué)分離難度、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、成本低、適合大規(guī)模推廣、大頻差等方面為目標(biāo)進(jìn)行研究。綜上所述,預(yù)測(cè)雙頻激光器今后發(fā)展趨勢(shì):

        (1)商業(yè)激光干涉儀仍以縱向塞曼雙頻激光器為主,因?yàn)槠浣Y(jié)構(gòu)穩(wěn)定,可靠性強(qiáng),不需額外定制,國(guó)內(nèi)應(yīng)努力提高縱向塞曼效應(yīng)最大輸出頻差,達(dá)到國(guó)外標(biāo)準(zhǔn)。

        (2)實(shí)驗(yàn)室中以基于聲光調(diào)制原理產(chǎn)生雙頻激光的干涉儀為主,由于其頻差調(diào)節(jié)靈活,參考光與測(cè)量光空間分離,避免了頻率混疊,使非線性誤差低。

        (3)塞曼-雙折射雙頻激光器輸出頻差范圍更適用于雙頻激光干涉儀,今后應(yīng)努力提高穩(wěn)定性,實(shí)現(xiàn)大規(guī)模推廣。

        猜你喜歡
        雙折射頻差聲光
        超超臨界660MW機(jī)組一次調(diào)頻多變量?jī)?yōu)化策略
        基于磷化銦材料的高速光纖聲光調(diào)制器
        壓電與聲光(2020年1期)2020-03-12 01:06:06
        《壓電與聲光》征稿啟事
        壓電與聲光(2019年1期)2019-02-22 09:46:06
        聲光效應(yīng)實(shí)驗(yàn)原理及其應(yīng)用研究
        一種低軌雙星雷達(dá)信號(hào)無模糊頻差估計(jì)算法
        線雙折射磁光光纖光柵中光偏振態(tài)演化
        線雙折射磁光光纖光柵中光偏振態(tài)演化
        橋、隧安全防范聲光預(yù)警系統(tǒng)
        基于相關(guān)峰檢測(cè)的π/4-DQPSK 頻差估計(jì)*
        拉曼效應(yīng)對(duì)低雙折射光纖偏振態(tài)的影響
        初尝人妻少妇中文字幕| 国产一区二区高清不卡在线| 国产人妖在线观看一区二区三区| 手机在线看片在线日韩av| 国产精品白浆一区二区免费看 | 偷拍偷窥女厕一区二区视频| 久久人人爽人人爽人人片av东京热| 青青久在线视频免费观看| 欧美丰满大爆乳波霸奶水多| 亚洲成人777| 亚洲一区二区在线视频播放| 日韩字幕无线乱码免费| 成人影片麻豆国产影片免费观看| 无码人妻aⅴ一区二区三区| 无码国产伦一区二区三区视频| 91日韩高清在线观看播放| 精品人妻一区二区蜜臀av| 熟女少妇av一区二区三区| 国产自拍精品视频免费| 国产成人综合美国十次| 99热久久这里只精品国产www| 夜夜春精品视频| 一区二区免费国产a在亚洲| 蜜桃传媒免费在线观看| 国产乱人伦av在线a麻豆| 99精品国产99久久久久久97| 亚洲视频在线看| 亚洲av影院一区二区三区四区| 日本一区二区三区看片| 中文有码人妻字幕在线| 国产探花在线精品一区二区| 无码人妻系列不卡免费视频| 日本在线观看一区二区三区视频 | 精品人妻久久一日二个| 999精品无码a片在线1级| 国产av麻豆mag剧集| 亚洲午夜精品a区| 国产人妖赵恩静在线视频| 自拍偷区亚洲综合第一页| 国产丝袜美女一区二区三区| 大香伊蕉国产av|