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        基于飛秒激光加工的光纖光鑷

        2021-09-24 13:27:52杜佳豪苑立波
        關(guān)鍵詞:菲涅爾光場飛秒

        杜佳豪, 苑立波

        (桂林電子科技大學(xué) 電子工程與自動化學(xué)院, 桂林 541000)

        0 引 言

        光操縱在物理學(xué)[1]、細(xì)胞生物學(xué)[2]以及其他學(xué)科[3]的研究中有著不可替代的作用。1993年,Constable A等[4]首次通過光纖捕獲粒子。2006年,Liu Z等[5]研制了一種新型光鑷并實現(xiàn)了在水中三維捕獲酵母細(xì)胞。2017年,Ribeiro Rita R等[6]利用離子束刻蝕的方法在多模光纖端制作菲涅爾透鏡并實現(xiàn)對細(xì)胞的捕獲。實現(xiàn)光纖光鑷的方法有很多,例如,研磨法[7],熔融拉錐[5-8]以及高精度微加工[9]等。然而,傳統(tǒng)的光纖光鑷探針的焦距是固定的且捕獲點離光纖端面較近,因此要在光纖上制作長焦距的光纖光鑷是一個挑戰(zhàn)。

        菲涅爾透鏡(Fresnel zone plate,FZP)的數(shù)值孔徑和焦距可以任意調(diào)整,因此,在光纖端加工菲涅爾透鏡可以任意選擇光鑷的捕獲距離。在制作的光纖探針中,多模光纖和無芯光纖對出射光場進(jìn)行預(yù)調(diào)控;經(jīng)過無芯光纖內(nèi)的光束擴(kuò)散,出射光場經(jīng)過無芯光纖端的FZP結(jié)構(gòu)后形成能捕獲粒子的聚焦光場。對該結(jié)構(gòu)模型的出射光場以及光阱力進(jìn)行了有限元仿真,并且實驗驗證了理論的正確性。

        1 基本原理

        按照一定的比例,由透明和不透明的圓環(huán)交替排列,構(gòu)成了菲涅爾波帶片。當(dāng)波長遠(yuǎn)小于焦距時,菲涅爾波帶片表示為

        (1)

        式中:a為整數(shù);d為焦距;λ為入射光波長。

        由于單模光纖以及普通多模光纖的出射光場光斑很小,限制了菲涅爾透鏡的加工尺寸。因此,將單模光纖、多模光纖和無芯光纖依次焊接,結(jié)構(gòu)見圖1。多模光纖對單模光纖傳輸?shù)墓馄鸬搅祟A(yù)擴(kuò)散的作用并在光纖切割時便于找到焊點,通過無芯光纖的擴(kuò)束,使光纖端面光斑尺寸變大,從而擴(kuò)大工作區(qū)域。

        圖1 “三明治”結(jié)構(gòu)光場傳播示意圖

        2 分析與討論

        2.1 理論仿真

        2.1.1 出射光場仿真

        利用有限元分析方法對“三明治”光纖探針的出射光場進(jìn)行數(shù)值計算。單模光纖的長度為10 μm,多模光纖的長度為250 μm,無芯光纖的長度為110 μm,根據(jù)式(1),設(shè)置的入射光波長為980 nm,焦距d為50 μm,由于實際加工系統(tǒng)的精度限制,a取16。 仿真結(jié)果見圖2。由圖2(a)可見,背景折射率為1(空氣)時,焦距約為57 μm。圖2(b)背景折射率為1.33(水)時,焦距約為80 μm。對比圖2(a)和圖2(b),發(fā)現(xiàn)同樣的菲涅爾圓環(huán)結(jié)構(gòu),在水中的焦距比在空氣中的焦距長,且焦點也比在空氣中長。圖2(c)和圖2(d)為在背景折射率分別為1和1.33的情況下在焦點處沿光纖端面橫向的電場截線,由圖可見,光斑直徑大約為1.5 μm。

        圖2 “三明治”結(jié)構(gòu)光場仿真

        2.1.2 光阱力仿真

        在計算出射光場的仿真基礎(chǔ)上,添加一個小球模型,計算不同條件下小球所受的橫向光阱力和軸向光阱力變化曲線見圖3。由圖3(a)可見,當(dāng)小球折射率為1.49,小球半徑r分別為3.5、5、7.5 μm時,若小球所在位置的兩個點關(guān)于光軸對稱,所受光阱力大小相等,方向相反且指向光軸。當(dāng)小球的半徑越大時,所受的橫向光阱力越大。由此可見,粒子的捕獲范圍與粒子半徑成正比關(guān)系。隨著粒子半徑的改變,捕獲位置不變。由圖3(b)可見,小球折射率一定,改變小球半徑,其軸向光阱力始終在數(shù)軸的一側(cè),不能將小球在橫向穩(wěn)定捕獲。

        同樣,當(dāng)小球的半徑為10 μm,折射率分別為1.42,1.49,1.53時,其橫向光阱力見圖3(c)。由圖3(c)可見,小球半徑一定,當(dāng)小球折射率變化時,其捕獲范圍不變,捕獲位置穩(wěn)定在光軸處。隨著小球折射率增大,所受到的光阱力變大。由圖3(d)可見,小球半徑一定,當(dāng)小球折射率變化時,其軸向光阱力始終在數(shù)軸的一側(cè),不能將小球在橫向穩(wěn)定捕獲。

        圖3 小球所受光阱力變化曲線

        為了能將小球穩(wěn)定捕獲,將光纖探針抬起,與樣品池成一定的角度β,見圖4(a)。當(dāng)會聚光束作用到粒子上時,粒子會受到兩個力:梯度力和散射力。散射力的方向與光束傳播方向一致,梯度力的方向與光束傳播方向垂直。由于聚焦光束直徑比較大,梯度力較小,很難穩(wěn)定捕獲粒子。將光纖探針與樣品池有一定角度時,可使梯度力與散射力在水平方向的分量平衡,從而達(dá)到力的平衡。圖4(b)為粒子操控實驗裝置,可以通過調(diào)整位移臺來調(diào)節(jié)光纖位置以及光纖與基底的夾角,CCD直接與顯示器相連,可以實時監(jiān)控畫面。

        圖4 光鑷捕獲實驗裝置

        2.2 實驗結(jié)果

        “三明治”光纖的顯微圖像見圖5,從左到右分別為單模光纖、多模光纖和無芯光纖。橢圓形虛線部分為不同光纖的焊接點,多模光纖的長度為250 μm,無芯光纖的長度為100 μm。

        圖5 光纖結(jié)構(gòu)的顯微鏡圖像

        飛秒激光以其精度高、易控制等優(yōu)點在微加工領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用[10-11],在無芯光纖端面上制造FZP,使用配備高重復(fù)頻率、高脈沖功率Yb:KGW飛秒激光器的飛秒激光系統(tǒng)。其波長為 515 nm,重復(fù)頻率為 100 kHz。脈沖持續(xù)時間為 231 fs。飛秒激光器的功率為0.126 mW,激光功率由電動衰減器控制。來自衰減器的光經(jīng)擴(kuò)束器后通過孔徑光闌,形成直徑與物鏡相等的平行光束;光束在分色鏡上反射并使用 100X(NA 0.5)物鏡聚焦在無芯光纖端面上,來自 FZP 的散射光最終通過物鏡由CCD 相機(jī)接收,CCD 相機(jī)和分色鏡之間的濾光片用于阻止其他雜散光的影響。

        在無芯光纖端面制作FZP的顯微鏡圖像見圖6。光纖端面直徑為125 μm。由圖6可見,共有8個“白環(huán)”和8個“黑環(huán)”,最里面的“白環(huán)”半徑為6.98 μm,理論值為7 μm。最里面和最外面的“黑環(huán)”的寬度分別為 2.85 μm和0.91 μm。理論值分別為 2.9 μm和0.89 μm。

        圖6 無芯光纖端的FZP顯微圖像

        被捕獲細(xì)胞的運動軌跡見圖7。 白色虛線圓圈內(nèi)是捕獲的細(xì)胞,白色矩形框內(nèi)是未捕獲的細(xì)胞。圖7(a)顯示被捕獲的細(xì)胞位于未捕獲的左側(cè)。將光纖探針向右緩慢移動,發(fā)現(xiàn)被捕獲的細(xì)胞跟隨纖維探針移動到未捕獲細(xì)胞的右側(cè)(圖7(b))。類似地,將光纖探針緩慢向左移動(圖7(c,d)),發(fā)現(xiàn)被困細(xì)胞隨著光纖的移動從右向左移動。

        3 結(jié) 論

        在光纖端面制作微透鏡,對提高器件的集成度有重要意義。本文提出了一種“三明治”光纖結(jié)構(gòu),并進(jìn)行了數(shù)值計算。實驗利用飛秒激光微加工技術(shù),在無芯光纖端面上制作了焦距為50 μm的菲涅爾透鏡,實現(xiàn)了對酵母細(xì)胞的操控,證明了理論的可行性。在理論計算的同時發(fā)現(xiàn),不同的多模光纖和無芯光纖的長度組合會影響透鏡的聚焦效果。通過大量的數(shù)值計算發(fā)現(xiàn),多模光纖長度小于250 μm,無芯光纖長度小于150 μm效果最好。該探針在微流控芯片中具有較好的應(yīng)用前景。

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