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        空調(diào)熱泵熱回收技術(shù)在芯片制造基地的應(yīng)用

        2021-04-05 06:39:24王吉標魏騰騰李凱
        節(jié)能與環(huán)保 2021年3期
        關(guān)鍵詞:燃氣鍋爐供冷冷卻塔

        文_王吉標 魏騰騰 李凱

        華清安泰(北京)科技股份有限公司

        1 逐月冷熱負荷和余熱分析

        本工程為單晶硅切片制造基地提供冷熱源,總建筑面積為6.75 萬m2,建筑使用功能為切割太陽能用單晶硅硅片。該基地內(nèi)主生產(chǎn)廠房為凈化車間,夏季空調(diào)系統(tǒng)需要供冷,同時有再熱需求,冬季需要供熱,過渡季節(jié)同時有冷熱需求。在春秋冬三個季節(jié)內(nèi)生產(chǎn)工藝需要的純水在制備過程中需要加熱。項目空調(diào)最大冷負荷為17MW,最小冷負荷為3MW。最大熱負荷為15MW,最小熱負荷為1MW,各個月份需要的冷負荷和熱負荷如表1。

        表1

        供冷供熱設(shè)計供回水溫度如表2。

        表2

        制造基地內(nèi)采用線切機進行芯片切割時需要8℃左右的冷卻水進行工藝冷卻,該冷卻水系統(tǒng)由冷水機組制備,采用冷卻塔進行散熱,全年24h 行。冷卻塔作為散熱設(shè)備,冬季冷卻水系統(tǒng)進塔溫度25 ~28℃,出塔溫度20 ~24℃,冷卻水量4000m3/h。

        2 用能比選

        項目周邊可利用的能源形式對比如表3。

        表3

        3 冷熱源系統(tǒng)配置

        本項目能源系統(tǒng)采用熱回收+電制冷+燃氣鍋爐相結(jié)合的多能源供能系統(tǒng),以高效節(jié)能的熱回收熱泵技術(shù)為主,燃氣鍋爐為輔,作為調(diào)峰和備用熱源。供冷采用空調(diào)熱回收供冷+冷水/熱泵機組+冷卻塔系統(tǒng);供熱采用空調(diào)熱回收供熱+工業(yè)余熱回收供熱+燃氣鍋爐(調(diào)峰及備用)系統(tǒng)。主機設(shè)備配置情況如表4。

        表4

        3.1 工業(yè)余熱回收利用

        本項目冬季工藝冷卻系統(tǒng)的進塔溫度25 ~28℃之間,冷卻水量為4000m3/h,通過熱泵技術(shù),可提供50℃的熱源水。提取完熱量的冷卻水再回到冷卻水系統(tǒng)中,同時由于余熱回收后冷卻水溫度已經(jīng)降低,可以減少工藝冷卻塔風機開啟數(shù)量,減少工藝冷卻系統(tǒng)的用電量。

        采用熱泵技術(shù)回收工藝余熱進行冬季供熱(圖1)。

        圖1

        采用該技術(shù)制備12100kWh 熱量需要的電費為:1940kWh×0.69 元/kWh=1339 元;而采用燃氣鍋爐制取相同熱量需要燃氣量為1200Nm3,燃氣費用為1200×2.98元=3576 元??梢钥闯?,采用熱泵回收技術(shù)運行費用僅為燃氣鍋爐供熱的40%左右。

        3.2 熱泵熱回收技術(shù)

        從每個月供冷和供熱負荷分析,除冬季三個月外,其它月份均同時有冷熱負荷需求。除冬季外,供熱負荷均小于供冷負荷,可利用螺桿熱泵機組在制冷的同時“免費”回收冷凝熱為建筑供熱,可大大節(jié)省后期的運行費用。即采用1 臺熱泵機組,一端供冷,一端供熱,機組能效為:(制冷量+制熱量)/用電量;而采用冷水機組供冷時,機組能效為:制冷量/用電量。

        以同時制備2331kWh 冷水和3011kWh 熱水為例測算運行費用,對比分析如下:

        (1)熱回收系統(tǒng)(圖2)

        圖2

        開啟一臺熱泵主機便可同時滿足供冷、供熱,主機能效:(2331+3011)/680=7.85;主機電費:680×0.69=469 元/h。

        (2)常規(guī)系統(tǒng)(圖3)

        圖3

        需同時開啟冷水機組供冷、燃氣鍋爐供熱,制冷主機能效:2331/462=5.0;燃氣、電費:462×0.69+334×2.98=1314 元/h。

        可以看出,采用熱回收技術(shù),可大大降低運行費用。

        4 不同季節(jié)運行模式

        冬季供熱運行時以工業(yè)余熱回收系統(tǒng)為主,不足時再開啟燃氣鍋爐調(diào)峰供熱;冷熱同時有需求時,采用熱泵熱回收技術(shù)制備全部熱水,以熱回收制備的冷水作為基礎(chǔ)負荷,不足部分開啟冷水/熱泵機組+冷卻塔進行補充。

        5 運行費用測算

        本制造基地全年24h 運行,空調(diào)冷熱指標高,用能量非常大,表5是對采用熱泵熱回收、余熱利用系統(tǒng)與常規(guī)能源系統(tǒng)進行全年耗能對比。

        表5

        可以看出,采用熱回收和工業(yè)余熱利用的能源形式,每年可減少500萬Nm3的天然氣耗量,運行費用僅為常規(guī)能源的60%左右。

        6 結(jié)語

        本項目從論證、設(shè)計、安裝、調(diào)試歷時2 年,目前已運行7個月,完全達到使用要求。工業(yè)建筑能耗高,生產(chǎn)過程中有大量的余熱產(chǎn)生,且存在冷熱同時需求的情況。采用本系統(tǒng)的設(shè)計思路,能夠降低運行費用,減少化石能源消耗和污染物排放為工業(yè)建筑余熱回收利用提供一種技術(shù)方法。,

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