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        一種高效銅鉬蝕刻液及蝕刻方法

        2021-04-04 17:11:17
        中國鉬業(yè) 2021年3期
        關鍵詞:金屬膜去離子水穩(wěn)定劑

        專利申請?zhí)? CN201811013298

        公開號: CN109136931A

        申請日:2018.08.31公開日:2019.01.04

        申請人: 深圳市華星光電技術有限公司

        本發(fā)明提供一種高效銅鉬蝕刻液。蝕刻液的主要成分包括7%~15%(占蝕刻液總質(zhì)量,下同)的過氧化氫、2%~7%的調(diào)節(jié)劑、1%~3%的穩(wěn)定劑、3%~10%的有機酸、0.001%~1%的抑制劑以及1%~10%的pH調(diào)節(jié)劑,余量為去離子水;本發(fā)明還提供一種用于銅鉬金屬膜層的蝕刻方法。有益效果:本發(fā)明所提供的高效銅鉬蝕刻液及蝕刻方法,將含有過氧化氫的蝕刻液在蝕刻前通過微波輻射保持特定溫度不變,增強了對銅鉬金屬膜層的氧化能力,進一步加快了蝕刻反應速率,更進一步提升了蝕刻品質(zhì)。

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