李曉敏

(清華大學 生命科學學院，北京 100084)

清華大學儀器設備采用先進的全生命周期管理模式[1]，本文涉及的大型儀器帶冷凍傳輸系統(tǒng)的雙束掃描電鏡，正是處于該管理模式下. 該儀器自采購、到貨安裝以來，在科學高效的管理模式下，已成為包括生命、醫(yī)學、食品、化學、材料等多個學科研究的重要輔助手段之一. 該儀器不僅可觀察處于溶液、凝膠狀態(tài)樣品在原生態(tài)的形貌，還可進行樣品的精細聚焦離子束加工，尤其是應用聚焦離子束技術制備的細胞或組織樣品的冷凍超薄切片，可與冷凍透射電子顯微學結合，實現(xiàn)原位生物大分子高分辨結構的解析，這也是目前國際相關研究領域的前沿發(fā)展技術. 總之，該類型儀器可實現(xiàn)多種技術功能，系統(tǒng)配備選擇多樣化，目前商業(yè)化的儀器包括Thermo Fisher Scientific(賽默飛，原FEI)、HITACHI(日立)、ZEISS(蔡司)、TESCAN等廠家的雙束掃描電鏡，配套的冷凍傳輸系統(tǒng)可選擇英國Quorum和德國Leica等公司產(chǎn)品，Thermo Fisher Scientific近年推出一體式冷凍聚焦離子束顯微鏡Aquilos系列. 前些年我校安裝使用的儀器多為分體式的模式，電鏡主體和冷凍傳輸系統(tǒng)分屬不同的廠家，雖然在儀器使用和維護方面積累了一定經(jīng)驗，但存在兼容性問題. 近兩年我校新購置了一體式儀器，兼容性強，儀器的使用和維護方面還需進一步摸索.

總之，探究帶冷凍傳輸系統(tǒng)雙束掃描電鏡的開放與維護機制，總結儀器故障類型與起因，對于實現(xiàn)儀器共享[2-3]，提高同類儀器的管理效率[4-5]，具有較為重要的意義[6]. 本文將以開放共享使用4年的分體式冷凍雙束掃描電鏡為例，介紹包括開放管理模式與成效、儀器故障與維護等相關內(nèi)容.

1 儀器的基本配置

Thermo Fisher Scientific公司生產(chǎn)的型號為Helios NanoLab G3 UC的雙束掃描電鏡，在配置方面較為全面，包括場發(fā)射掃描電子束和離子束. 其中電子束部分配有elstar 電子槍，為Schottky熱量場發(fā)射器，燈絲壽命可用3年. 離子束為Tomahawk Ga離子槍，每支離子源壽命可使用1 000 h. 在圖像信號采集方面，掃描電子顯微成像配備多種探頭，適用于不同的樣品和工作模式：(1)Everhart-Thornley Detector(ETD)和Through Lens Detector(TLD)，可分別探測最高采集效率的二次電子(Secondary Electrons，SE)和背散射電子(Backscatter Electrons，BSE). (2)In Column Detector(ICD )可更高效率地探測BSE，適用于低電壓. (3)可伸縮的背散射電子探頭(DBS)，適用于高電壓、原子序數(shù)大的樣品. (4)可伸縮的STEM探頭，觀察透射樣品. (5)配合減速模式(Beam Deceleration，BD)使用的Mirror Detector(MD)探頭，位于物鏡鏡筒中. 離子束成像時也配備ETD、TLD和ICE(in Chamber Electron & ion detector)多個探頭. 另外，該儀器還配備有Pt氣體沉積源(GIS Injection)、放電中和(Charge Neutralizer)、等離子清洗(Plasma cleaner)和切片提取控制系統(tǒng)(Easylift)等. 除上述電鏡的基本配置外，該儀器同時還配備冷凍傳輸設備：英國Quorum PP3010T，如圖1(b)所示. 其包括電腦控制系統(tǒng)、液氮雪泥制備艙、樣品制備艙室、樣品傳輸桿、抽真空和氣流管路、電鏡艙室內(nèi)配套的冷凍樣品臺等，可實現(xiàn)樣品的快速冷凍、斷裂、升華、濺射鍍膜以及樣品傳輸?shù)纫幌盗袘? 該系統(tǒng)為帶有渦輪分子泵的高真空系統(tǒng)，樣品制備腔室的真空度可與掃描電鏡冷凍狀態(tài)下的高真空相匹配，有效避免電鏡艙室的污染.

圖1 帶冷凍系統(tǒng)的雙束掃描電鏡配置(a) 雙束掃描電鏡Thermo Fisher Scientific Helios Nano Lab G3 UC, (b) 冷凍傳輸系統(tǒng)Quorum PP3010T各部分組成Fig. 1 Dual beam (SEM/FIB) electron microscope with cryo-preparation system(a) dual beam (SEM/FIB) electron microscope Thermo Fisher Scientific Helios Nano Lab G3 UC, (b) component parts of cryo-preparation system Quorum PP3010T

2 儀器開放共享與成效

2. 1 儀器開放服務內(nèi)容與權限

本儀器目前面向校內(nèi)外用戶廣泛開放共享，開放測試服務的內(nèi)容包括：(1)實現(xiàn)生物樣品在大尺度范圍自動化連續(xù)切片并掃描成像(Serial Block Face Imaging)[如圖2(a)所示]，實現(xiàn)亞細胞水平的高分辨率三維數(shù)據(jù)采集和重構[7]. (2)與PP3010T冷凍傳輸系統(tǒng)配套使用，除可以實現(xiàn)生物、食品、材料等樣品原生態(tài)下表面或者斷面的精細形貌、結構等[如圖2(b)所示]的觀察和分析外，更重要的是能夠?qū)崿F(xiàn)細胞、晶體等樣品在冷凍條件下原位切割減薄[如圖2(c)所示]，制備100～200 nm厚度的薄片(lamella)，以進行高分辨冷凍透射電鏡數(shù)據(jù)的采集和分析[8-9]. (3)常溫生物樣品和其他材料表面精細形貌和超微結構的觀察和分析，可實現(xiàn)樣品大尺度圖像的采集和拼接[如圖2(d)所示]，可實現(xiàn)與熒光顯微鏡(常溫和冷凍狀態(tài)成像)之間的有效關聯(lián).

圖2 帶冷凍系統(tǒng)的雙束掃描電鏡可實現(xiàn)的幾種功能(a) 常溫SEM/FIB，常溫包埋塊樣品自動化連續(xù)切片并掃描成像的圖像代表，線蟲頭部內(nèi)部結構, (b) 冷凍SEM，乳液樣品的冷凍掃描電鏡觀察, (c) 冷凍SEM/FIB，冷凍含水載網(wǎng)樣品的聚焦離子束減薄技術應用，大圖是減薄后的冷凍掃描電鏡低倍成像，右上角是減薄后的冷凍聚焦離子束成像, (d) 常溫掃描電鏡圖像的大圖拼接(應用Maps軟件 )Fig. 2 Several functions of dual beam (SEM/FIB) electron microscope with cryo-preparation system(a) SEM/FIB at room temperature. Serial block face imaging for the embedding resin block sample. The image is the section of C. elegans head. (b) cryo-SEM. The cryo-SEM imaging of the emulsion sample. (c) cryo SEM/FIB. The application of cryo-FIB milling for the vitrified sample on the grid. The large picture is cryo-SEM image at low magnification after milling, the inset is cryo-FIB image after milling. (d) montage of SEM images at room temperature (with Maps software)

在儀器的操作權限方面，實行分級設置：(1)普通用戶可在經(jīng)過簡單培訓之后，進行樣品臺移動、調(diào)焦、拍照等基本操作. (2)中級用戶可在普通用戶操作基礎上，進行常溫狀態(tài)真空艙室的放氣、更換常溫樣品以及樣品臺的安裝等操作. (3)高級用戶可在中級用戶操作基礎上，進行冷凍系統(tǒng)的準備，冷凍樣品的裝載與傳輸，GIS Pt保護層噴鍍、離子束減薄相關操作.

對于有較多測試需求的用戶，我們一般推薦其經(jīng)過培訓與考核兩個過程后，獲得對應的操作權限等級. 中級和高級用戶可在任意時間段自行預約機時，進行常溫樣品的測試. 僅高級用戶可在任何時間段自行預約機時，進行冷凍樣品相關的測試項目. 對于測試需求較少的用戶，可不必獲取操作權限等級，但無自主預約機時權限，需要提前同儀器管理員協(xié)商合適的測試時間，由管理員輔助進行測試項目.

另外，由于本儀器在進行離子束減薄應用時，需耗費較長的機時，一般在正常的工作時段內(nèi)無法完成所有測試工作. 針對這種情況，除了培訓常用用戶通過高級操作考核之外，我們還培訓了具備高級操作權限的學生助管，可在非工作時段協(xié)助用戶，完成冷凍離子束減薄后的樣品傳輸與回收. 通過上述分級開放的管理形式[10]，既減少了儀器故障率，又延長了儀器有效測試機時，從而有效提高了儀器的運維效率[11-12]. 同時，分級開放實驗的工作模式，也提高了學生的實踐能力[13]，進一步加深學生對儀器工作原理的理解，為本儀器在科研應用方面的拓展和功能開發(fā)奠定基礎.

2. 2 儀器開放共享成效

隨著儀器測試服務項目的完善和開放共享的實行，有效使用機時基本逐年增加，共享服務范圍和比例呈現(xiàn)擴大趨勢. 以2017年和2018年清華大學冷凍雙束掃描電鏡的機時開放年時數(shù)為例[如圖3(a)所示]，2017年的有效使用機時為1 612 h，常溫SEM成像、常溫FIB應用、冷凍SEM成像、冷凍FIB應用4種不同的測試項目所占比例分別為9%、50%、20%、21%. 2018年的有效使用機時為3 073 h，上述比例分別為2%、21%、18%、59%. 與2017年相比，2018年的開放年時數(shù)提高近一倍. 2017年測試項目中，常溫FIB(常溫包埋塊樣品的連續(xù)切片并掃描成像)為該儀器的主要應用功能，測試機時占50%. 而自2017年末起，儀器管理人員針對冷凍FIB(冷凍含水樣品的原位減薄)技術進行了方法學開發(fā)與探索應用，該測試項目在2018年和2019年總機時中占比分別為59%和72%，成為儀器的主要應用功能. 與2018年相比，2019年的總機時略有下降，共約2 700 h，原因可能在于：其一，冷凍FIB機時占比提高， 冷凍FIB應用每天均需要進行較長時間的回溫，以保持較好的真空狀態(tài)，該回溫過程未計入有效機時. 其二，可連續(xù)工作的應用項目—常溫FIB相對機時占比降低.

圖3 雙束掃描電鏡Helios的開放測試機時分析(a) 2017～2019年雙束掃描電鏡開放年時數(shù)對比,包括常溫SEM成像、常溫FIB應用、冷凍SEM成像、冷凍FIB應用4種不同的測試項目, (b) 2017～2019年雙束掃描電鏡開放比例,包括校內(nèi)測試機時和校外測試機時Fig. 3 Analysis of opening times for dual beam (SEM/FIB) electron microscope(a)the comparison of opening times for dual beam (SEM/FIB) electron microscope, within the years of 2017, 2018 and 2019, including SEM imaging at room temperature, FIB application at room temperature, cryo-SEM imaging, cryo-FIB application. (b) the opening percentage of dual beam (SEM/FIB) electron microscope, within the years of 2017, 2018 and 2019, including the internal and external opening times

本文討論的儀器測試用戶范圍從零基礎開始逐漸發(fā)展擴大. 從圖3(b)可以看出，在2017年和2018年對外服務比例較低，校外測試機時比例分別為10%和3%，服務用戶范圍有限. 而到 2019年，校外測試機時比例有較大改變，比例提高至20%，并且測試用戶的范圍也有所擴大. 目前校外測試用戶不僅包括北京地區(qū)的科研院所和高校，而且有較多來自其他地區(qū)科研單位的廣大用戶. 校外用戶的測試項目主要集中在冷凍SEM觀察(比如乳液等樣品的冷凍掃描電鏡分析)和常溫FIB應用(常溫包埋塊樣品的連續(xù)切片并掃描成像)，其中冷凍SEM在2017、2018、2019年度校外測試機時中占比分別為62.8%、40.4%、57.6%，常溫FIB應用在上述兩年年校外測試機時中占比分別為0%、27.7%、41.6%. 從上述數(shù)據(jù)中分析可以看出，常溫FIB應用測試的機時比例穩(wěn)中有升，這在一定程度上反映出用戶對本儀器相關性能的認可和儀器對外服務的功能拓展.

總之，該儀器開放成效顯著，測試應用的全面化和共享服務的優(yōu)質(zhì)化，促使儀器影響范圍逐漸擴大，開放效率逐步提高. 自開放共享以來，依托本文討論的儀器，支撐科研項目30余項，發(fā)表論文近20篇，涉及領域包括生物、食品、機械、航空航天、化學、材料等，論文刊登在包括Cell Research、PNAS、Angew Chem Int Ed、Food Hydrocolloids等影響力較大的期刊上.

3 儀器常見故障及解決方案

由于本臺雙束掃描電鏡組成較為復雜，包括掃描電子束、聚焦離子束部分(ThermoFisher Scientific 公司)以及冷凍傳輸系統(tǒng)(Quorum公司)，因此將對這三部分的常見故障及排除方法分別闡述.

3. 1 電子束及電鏡主體常見故障

3. 1. 1 電子束FEG場發(fā)射燈絲故障

本臺儀器配備的是場發(fā)射UC燈絲，一般具有3～5年壽命. 在平時的維護過程中，可通過觀察燈絲的發(fā)射電流值大致判斷其壽命是否到極限. UC燈絲發(fā)射電流值的正常范圍是80～150 μA，一旦接近壽命極限，該電流值會在一段時間內(nèi)逐漸變小，當小于20 μA時，電子束將徹底無法成像. 因此，在檢查到燈絲發(fā)射電流值低于正常范圍并逐步減小時，應及時聯(lián)系廠家維修工程師，提前安排燈絲的訂貨和更換事宜. 另外，UC燈絲的儲存條件要求比較高，到貨后須盡早安裝. 燈絲更換時，需要進行烘烤，整個更換過程一般需要3天時間.

3. 1. 2 電子束物鏡極靴污染

本儀器配備的離子束進行樣品加工時會產(chǎn)生碎屑等，同時冷凍傳輸系統(tǒng)的應用也容易引入污染，因此電子束物鏡極靴被污染的概率較高. 一旦物鏡極靴被污染，導致后果最明顯的是掃描電子束成像時象散不穩(wěn)定，這將給連續(xù)切片并掃描成像過程的自動化運行帶來極大挑戰(zhàn)，這需要不定時地進行象散的消除，以保證成像質(zhì)量. 在物鏡極靴污染較為嚴重，通過軟件或控制面板等無法實現(xiàn)象散的校正的情況將導致不能正常成像.

如果出現(xiàn)上述污染情況，需聯(lián)系廠家工程師對物鏡部分進行清理. 在一般情況下，初次清理后效果較為明顯，可維持一段時間內(nèi)的掃描電子束成像效果穩(wěn)定. 如果污染非常嚴重，清理后成像效果改善不明顯，則需要更換電子束部分的物鏡，一般價格較為昂貴. 因此，在日常的使用和維護時，要格外注意避免污染的發(fā)生. 本文將在后續(xù)儀器的維護部分介紹相關注意事項.

3. 1. 3 循環(huán)水系統(tǒng)故障

電鏡配備了冷卻循環(huán)水機(現(xiàn)在常用的是風冷式)，一旦該機器出現(xiàn)故障，或者所處房間空調(diào)故障等，都有可能引起水溫異常(常見的是水溫升高)，某些型號的循環(huán)水機會自動報警. 同時電鏡的電腦界面會提示“l(fā)ens off”等信息，電鏡將無法正常使用. 出現(xiàn)上述故障時，應立即對電鏡真空艙室放氣，停止分子泵的運轉. 在排查時，一般需要首先檢查循環(huán)水機所處房間的空調(diào)制冷是否正常，再檢查循環(huán)水機的水位. 排除上述因素后，最簡單的處理辦法是先嘗試關閉電源，待水溫自然下降后，再開啟機器進行重置，觀察水溫能否下降，一般正常工作水溫在18～20 ℃范圍內(nèi). 另外，如果配備的是水冷式循環(huán)水機，則要注意觀察室外機是否有灰塵、飛絮等引起水循環(huán)回路堵塞的情況. 總之，循環(huán)水系統(tǒng)故障是電鏡維護過程中最常發(fā)生的故障之一，因此在日常的維護中需要定期做好故障隱患的排查.

3. 1. 4 電路板或其他元件故障

在掃描電子束成像部分的使用和維護過程中，還可能出現(xiàn)由于電路板或其他元件故障引起的報錯[14]，一般更換對應的部件后，即可排除故障. 比如本文介紹的儀器發(fā)生過以下幾種故障：電子束光闌位置感應頭故障，導致無法更換電子束的束流. 成像探頭的高壓板故障，引起成像不正常. 真空系統(tǒng)故障，導致真空狀態(tài)不能維持，從而無法成像等.

3. 2 離子束部分常見故障

3. 2. 1 離子束無法維持長時間加熱狀態(tài)

離子束的使用與維護中最需要注意的是離子束加熱維持時長的問題. 應用聚焦離子束進行常溫或冷凍含水樣品的加工減薄時，需要離子束維持較長時間的加熱狀態(tài). 尤其是在常溫包埋塊樣品連續(xù)切片并掃描成像技術應用的過程中，一旦離子束由于加熱時長不足導致不能繼續(xù)工作，將無法保證切片數(shù)據(jù)的連續(xù)性.

如果在使用過程出現(xiàn)離子束加熱中斷的狀況，在排除真空系統(tǒng)故障和離子源使用壽命極限的因素后(一般每支離子源的使用壽命在1 000 h左右)，首先可嘗試直接加熱離子源(在UI界面點擊“Beam on”或者“wake up”). 如果不成功，則進入service模式，在離子槍應用控制系統(tǒng)中(I Gun)，先將離子源置為“IDLE”狀態(tài)，再進行“HEAT”. 若仍不成功，則可嘗試對離子槍應用控制系統(tǒng)進行硬件重啟或者對電鏡系統(tǒng)進行“standby”，重啟后再嘗試“HEAT”(此處需要注意的是，如果該故障發(fā)生在應用Quorum PP3010T冷凍傳輸系統(tǒng)進行樣品加工試驗的過程中，則不能直接進行standby，原因是冷凍條件下該系統(tǒng)冷臺無法進行大幅度旋轉，而進行電鏡standby后樣品臺需要進行旋轉和平移以完成“home”過程). 假設上述方法均不成功，則需要聯(lián)系廠家維修工程師. 在相關的硬件更換方面，可能包括更換新的離子源、更換離子槍真空系統(tǒng)、更換離子槍控制柜、更換source end乃至整個離子槍部分.

3. 2. 2 電路板或其他元件故障

與電子槍部分類似，在離子槍的使用和維護過程中，也可能出現(xiàn)由于電路板或其他元件引起的故障，一般更換對應部件后也可排除.

3. 3 冷凍傳輸系統(tǒng)常見故障

3. 3. 1 冷凍系統(tǒng)氣體管路結冰堵塞的問題

對于帶冷凍傳輸系統(tǒng)的雙束掃描電鏡，氣體管路結冰后會導致氣流不暢、管路堵塞，冷臺和冷阱的溫度將由于氣流不足而持續(xù)上升. 目前Quorum的PP3010T冷凍傳輸系統(tǒng)、Thermo Fisher Scientific 的Aquilos冷凍雙束掃描電鏡系統(tǒng)均可能出現(xiàn)如上問題. 尤其是在多雨季節(jié)，環(huán)境空氣濕度較大，冷凍系統(tǒng)在使用過程中出現(xiàn)氣流管路結冰堵塞的情況較為頻繁. 另外，由于所需要的氮氣量較大，而在國內(nèi)的實驗室一般沒有配備專門的供氣管道，用于提供氮氣氣流的是自增壓式液氮罐(或中壓液氮罐)，因此當液氮中的含水量較高時更容易出現(xiàn)管路結冰的情況. 值得注意的是，一旦出現(xiàn)如上問題，將無法繼續(xù)進行冷凍樣品的加工減薄和觀察實驗，必須立即回收樣品，避免因升溫過高導致樣品損毀.

為了盡可能避免在使用過程中出現(xiàn)氣流管路堵塞的問題，一方面盡量選擇含水量低的液氮供應廠家，另一方面可在自增壓液氮罐出氣口的后方連接干燥裝置，進一步降低氮氣中的含水量. 再有，在外界環(huán)境濕度大時加開除濕裝置，可有效控制環(huán)境的濕度.

3. 3. 2 冷臺溫度不足的問題

應用聚焦離子束對冷凍含水的生物樣品(細胞、組織等)進行減薄加工，原位制備100～200 nm的冷凍超薄切片是帶冷凍傳輸系統(tǒng)雙束掃描電鏡最為重要的功能應用之一. 而要制備加工理想的冷凍超薄切片，最為重要的因素是保證所處冷臺的溫度足夠低，并且樣品夾載梭與冷臺的接觸良好、導溫效果佳，從而保證樣品在加工過程中維持足夠低的溫度. 一般而言，冷凍系統(tǒng)所帶的溫度傳感器位于冷臺位置，而樣品夾載梭與冷臺是通過緊密接觸進行溫度傳導的. 因此，溫度傳感器的顯示值并不代表樣品在電鏡艙室內(nèi)的真實維持溫度. 在儀器維護時需要定期檢查樣品夾載梭和冷臺之間的接觸性，并用測溫臺監(jiān)測樣品夾載梭的實際溫度. 對于本文討論的儀器，經(jīng)過測試發(fā)現(xiàn)在最大氣流下，降溫40 min后，樣品夾載梭上的真實溫度能夠達到最低，約-160 ℃左右. 假設樣品維持溫度不足，隨著在電鏡艙室內(nèi)停留時間的延長，樣品會出現(xiàn)不同程度的脫水現(xiàn)象，在加工過程中可能會觀察到樣品薄片彎折現(xiàn)象，嚴重時可以看到失水后細胞結構之間的空隙.

3. 3. 3 其他硬件故障

其他可能出現(xiàn)的故障包括：真空泵故障、管路漏氣、電鏡艙室與冷凍系統(tǒng)樣品制備艙室之間的連通閥門故障等.

4 儀器維護的注意事項

在雙束掃描電鏡的維護方面，主要包括以下幾個方面：(1)定期添加循環(huán)水(專門的補充液或者超純水等)，保證循環(huán)水的液位. (2)電鏡艙室放氣破真空時，通入高純氮氣，避免雜質(zhì)的引入. (3)保持儀器房間的潔凈，定期清理電鏡艙室，可用無紡布蘸取少量酒精擦拭艙室內(nèi)部，也可用電鏡配備的等離子清洗儀(plasma cleaner)對艙室內(nèi)部或樣品進行清潔. (4)嚴格把控送入電鏡艙室內(nèi)的樣品特性，保證樣品無磁性、無毒性、無揮發(fā)性，盡量避免觀察含油的樣品，常溫樣品要保證必須經(jīng)過干燥處理，并且在進入電鏡艙室前用氣體噴槍反復吹掃確保潔凈. (5)定期進行電子束和離子束的合軸. (6)離子源、拔出極、抑制極、離子束光闌、GIS Pt源都屬于耗材，需定期更換，離子源的使用壽命為1 000 h左右，每個離子源更換的同時需更換拔出極，每更換2～3個離子源需要更換一次離子束光闌(根據(jù)具體使用情況而定)，每更換3個離子源需更換一次抑制極，Pt源使用壽命為100 h，消耗較為緩慢，一般可使用5年以上.

在冷凍傳輸系統(tǒng)的維護方面，需要對樣品傳輸桿進行定期的保養(yǎng)，對各種樣品梭進行清洗. 樣品制備艙室的導電層濺射靶材也屬于耗材，但一般消耗較慢. 進行冷凍樣品的斷裂時，在樣品制備艙室內(nèi)會積累斷裂下來的雜質(zhì)，為避免樣品傳輸時將雜質(zhì)帶入電鏡艙室污染物鏡，也需定期對樣品制備艙室進行清理.

如果提前接到停電通知，在儀器配有UPS不間斷電源的前提下，將冷凍傳輸系統(tǒng)關機，并將電鏡艙室放氣以停掉分子泵，將電鏡轉入standby狀態(tài)，控制電腦關機. 來電后，先將循環(huán)水、空調(diào)依次開啟后，再將電鏡開機即可. 另外，為保證電鏡系統(tǒng)的運行流暢，日常維護時每間隔半個月可進行一次電鏡的standby和重啟，以及控制電腦的重啟.

5 結語

帶冷凍系統(tǒng)的雙束掃描電鏡是目前科研工作中非常重要的大型精密儀器，儀器實現(xiàn)科學管理水平將直接影響科研的進度和發(fā)展水平[15-16]，這既包括日常維護與故障排除，也包括儀器的開放共享效率. 本文以Thermo Fisher Scientific 公司的Helios NanoLab G3 UC為例，重點介紹了儀器的開放預約與共享成效、故障排除與日常維護等方面的內(nèi)容，為同類型儀器的高效有序管理提供參考，從而保障相關科研工作的順利進行.