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        多晶硅生產(chǎn)工藝的現(xiàn)狀與發(fā)展

        2021-01-09 04:46:55宋玲玲李世鵬劉金生宋艷麗新特能源股份有限公司新疆烏魯木齊80000新疆龍騰海泰陶瓷科技有限公司新疆伊犁8500阿拉爾中泰紡織科技有限公司新疆阿拉爾8400
        化工管理 2021年3期
        關鍵詞:多晶硅硅烷生產(chǎn)工藝

        宋玲玲,李世鵬,劉金生,宋艷麗 (.新特能源股份有限公司,新疆 烏魯木齊 80000;.新疆龍騰海泰陶瓷科技有限公司,新疆 伊犁 8500;.阿拉爾中泰紡織科技有限公司,新疆 阿拉爾 8400)

        0 引言

        隨著不可再生資源消耗量的與日俱增,太陽能的利用成為了重要的發(fā)展方向。為了有效地利用太陽能資源,需要對太陽能級多晶硅進行規(guī)?;a(chǎn),并且不斷提高制備和生產(chǎn)的工藝,只有這樣才能保障太陽能資源被更好地投入使用,從而改變目前多晶硅生產(chǎn)工藝的現(xiàn)狀。

        1 太陽能級多晶硅生產(chǎn)工藝的技術現(xiàn)狀

        1.1 改良西門子法

        改良西門子法是建立在西門子法的基礎之上,提高了生產(chǎn)流程中的閉環(huán)效果,使生產(chǎn)尾氣能夠進行充分的還原。該方法生產(chǎn)多晶硅的步驟如下:首先,需要用到Si和HCl兩種物質,將兩者投入到還原爐中在一定條件下進行反應,生成產(chǎn)物三氯氫硅(SiHCl3)。其次,需要通過蒸餾的方式對SiHCl3進行提純,提純過程中需要注意兩點:第一,需要達到SiHCl3的沸點;第二,需要防止混入水分和空氣,從而有效地保證SiHCl3的純度。最后,對SiHCl3進行還原,通常采用氣相沉積的方法,在密封環(huán)境中進行反應,最終可以得到高純度的多晶硅。該方法制備多晶硅的成本較低,并且制備的方法較為簡單,反應條件也容易實現(xiàn),是一種可行性非常高的多晶硅生產(chǎn)工藝[1]。TCS西門子法(改良西門子法)優(yōu)點是安全風險適中,純度可以達到11N,工藝和設備成熟度高,還原爐易操作,目前成本依然是最低的。缺點是系統(tǒng)較復雜,沉積電耗和綜合電耗較高。未來高效率單晶硅電池(如N型單晶硅電池)將要求多晶硅純度達到電子級,該方法能夠很好滿足這一市場要求,其工藝技術和成本依然還有較大改進空間。

        1.2 硅烷法

        硅烷法需要以硅烷(SiH4)作為原料,通過熱分解法來制備多晶硅。硅烷的制備方式如下:通過氫化鋁鈉(NaAlH4)和四氟化硅(SiF4)進行反應,生成產(chǎn)物SiH4,化學反應式為:NaAlH4+SiF4→NaAlF4+SiH4。反應得到的硅烷為粗硅烷,將其精制后再經(jīng)過低溫處理可以得到液態(tài)的硅烷,儲存在硅烷儲槽中等待備用。接下來,通過熱分解法對硅烷進行還原即可得到多晶硅。目前,美國MEMC公司采用這種方法進行生產(chǎn),并且生產(chǎn)工藝已經(jīng)趨近成熟。該方法與西門子法中的SiHCl3相比,SiH4的含硅量明顯較高,同時反應速度也比西門子法快,而且更加的節(jié)能,能耗大約在40kW·h/kg左右。然而,該方法存在著一定的安全問題,這是由硅烷的特性決定的,硅烷是一種易燃、易爆的氣體,這極大地增加了硅烷的保存難度,在日常生產(chǎn)過程中不易于管理。產(chǎn)品和晶種相對容易受到污染,存在超細硅粉問題,工藝和設備成熟度較低。

        1.3 冶金法

        冶金法制備多晶硅主要分為兩個步驟:第一,需要采用真空蒸餾、定向凝固等方式對工業(yè)硅進行提純,去除工業(yè)硅中的雜質,使其純度達到要求。第二,通過等離子爐清除C、B等元素,得到更加純凈的硅元素。通過這種方式制備的多晶硅具有P-極性,并且電阻系數(shù)較小,因而具有較高的光電轉化效果。日本Kawasaki Steel企業(yè)采用的就是這種制造方式,可以有效地對工業(yè)硅進行提純。此外,上述方法還可以進行優(yōu)化,優(yōu)化過程主要用到了濕法精煉極性處理。通過這種方式可以對多晶硅進一步進行精煉,與未使用該方法相比,可以將太陽能電池的工作效率提升到15%左右。由此可見,多晶硅的純度非常的重要,通過提高多晶硅的純度可以極大地改變多晶硅的物理特性,能夠在很大程度上提高太陽能電池的工作效率。

        1.4 流化床法

        流化床法是美國Boeing公司研發(fā)的多晶硅生產(chǎn)工藝,該方法主要采用硅籽作為沉積體,再將其與鹵硅烷進行反應,進而制造多晶硅。流化床法制造多晶硅需要用到流化床反應器,具體反應過程如下:將SiHCl3和H2由底部注入到反應裝置中,在經(jīng)過加熱區(qū)和反應區(qū)后,可以和裝置頂部的硅晶體進行反應,反應條件需要處在高溫環(huán)境,同時在氣相沉積的作用下,硅晶體將會不斷增多,最終可以形成多晶硅產(chǎn)物。該方法與西門子法相比主要具有以下優(yōu)勢:第一,可以進行連續(xù)生產(chǎn),生產(chǎn)過程中不需要停頓,因而具有極高的生產(chǎn)效率。第二,能量轉化率較高,與西門子法相比,可以在很大程度上降低能耗。第三,反應物為流動狀態(tài),有效地保障了反應物之間能夠充分接觸,進而提高反應效率,縮短反應時間[2]。

        1.5 硅石碳熱還原法

        硅石碳熱還原法是利用C來還原SiO2進行多晶硅的制備,反應方程式如下:SiO2+C=Si+CO2。這種多晶硅制備方法經(jīng)過Sintef公司改進后,生產(chǎn)過程如下:在離子回轉爐中通過C對SiO2進行還原,得到產(chǎn)物SiC,再將SiC投入到電弧爐中繼續(xù)和SiO2反應,可以得到液態(tài)的硅。實驗表明,這種液態(tài)硅中雜質含量非常少,幾乎只有C這一種雜質。為了去除液態(tài)硅中的C元素,首先,需要將液態(tài)硅進行冷卻處理,使溫度逐漸降下來,再對硅中的C進行精煉,將硅進行提純。當溫度降低后,C將會與Si發(fā)生反應生成SiC,進而讓C從硅中分離出來。然后,向反應裝置中注入Ar/H2O氣體,讓Si中殘留的C元素能夠以CO的形式分離出去。最后,使提純后的硅定向結晶,進而得到多晶硅。通過這種方法得到的多晶硅,其中C元素的含量不超過0.0005%,由此可見,硅石碳熱還原法得到的多晶硅的純度相當之高。

        1.6 電解法

        電解法采用電解硅酸鹽的方式得到純度較高的硅,在電解裝置中,以C作為陽極,反應溫度控制在1000℃,在經(jīng)過一段時間的電解反應后,Si單質將會在陰極上附著,陽極生成CO2氣體。電解反應對電極材料的要求較高,這是因為在電解反應中,尤其是溫度較高的反應條件下,電極極易發(fā)生腐蝕,進而將新的雜質引入反應體系中,如B、P等,對硅的純度造成影響。以CaCl2作為熔鹽電解為例,使用石墨作為陽極,陰極采用特制材料。電解完成后,需要將陰極置于真空環(huán)境,通過熔點的不同可以將Si與陰極材料進行分離,通過這種方法得到的硅的純度可以達到99.8%,在很大程度上避免了B、P等雜質對硅的污染,極大地提高了多晶硅的純度。

        1.7 氣液沉積法

        氣液沉積法(VLD法)由日本Tokuyama公司研發(fā),反應物質為SiHCl3和H2,通過這兩種物質來制備多晶硅。SiHCl3與H2的反應需要在石墨管中進行,反應溫度需要控制在1500℃左右。反應物由石墨管的上部注入,經(jīng)過一段時間的反應后,生成的Si將會以液態(tài)的形式聚集在石墨管的底部。這種制備多晶硅的方式與西門子法相比,減少了硅棒破碎的過程。再與流化床法相比,有效地解決了反應器壁沉積的問題,促使Si的生成效率大幅度提高。由此可見,氣液沉積法具有高效、連續(xù)的特點,具有較高的反應效率。

        任何技術的廣泛采用取決于生產(chǎn)付現(xiàn)成本、投資成本、產(chǎn)品質量、規(guī)?;芰?、技術成熟度、改進空間和技術的可獲得性。物理法由于在成本和質量均無競爭優(yōu)勢,雖然已經(jīng)商業(yè)化,但在市場競爭中失去了發(fā)展空間。在化學法中,以SiHCl3(TCS)或SiH4為原料,西門子法工藝和流化床法工藝是目前的主流工藝。對于太陽能級多晶硅,TCS西門子法和硅烷流化床法是最主流的技術。未來5至10年內(nèi)改良西門子法和硅烷流化床法兩種工藝仍將并存,前者仍占主導地位,后者隨著工藝和設備成熟度提高,將逐步提升市場份額。硅烷流化床法比較適合高電價地區(qū),而改良西門子法在低電價區(qū)域或煤電硅聯(lián)營項目更有競爭力。

        2 太陽能級多晶硅生產(chǎn)工藝的發(fā)展舉措

        2.1 加大科研經(jīng)費投入

        為了提高太陽能級多晶硅的生產(chǎn)水平,政府需要加大科研經(jīng)費的投入,保障科研機構能夠有足夠的經(jīng)費進行多晶硅研究,進而優(yōu)化多晶硅的生產(chǎn)工藝,提高多晶硅的生產(chǎn)效率。資料表明,國外多晶硅的生產(chǎn)廠商科研開發(fā)費用占銷售額的5%甚至更高,相對而然,我國在多晶硅方面的研發(fā)費用卻處在較低水平。因此,為了提高多晶硅的生產(chǎn)工藝,并且對生產(chǎn)流程進行優(yōu)化,加大科研經(jīng)費的投入是非常必要的。從長遠角度來看,一旦多晶硅的生產(chǎn)工藝得到改進,將會降低企業(yè)的生產(chǎn)成本,企業(yè)從中可以長期受益,使企業(yè)的生產(chǎn)水平不斷提高。

        2.2 優(yōu)化設備及資源

        若要提高多晶硅的產(chǎn)量,對其進行規(guī)模化生產(chǎn),企業(yè)需要走產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的道路。只有這樣才能對多晶硅進行大批量的制造,滿足新能源產(chǎn)業(yè)對多晶硅原材料的需求。一方面,需要對多晶硅生產(chǎn)企業(yè)進行有效地整合,改變生產(chǎn)廠商較為分散的局面,同時以市場作為導向,消除地區(qū)對規(guī)模化生產(chǎn)的限制。另一方面,需要對設備及資源進行優(yōu)化,提高企業(yè)在國內(nèi)外的競爭力,這樣企業(yè)才能夠擁有與國外企業(yè)進行技術交流的資本,促進我國企業(yè)多晶硅的生產(chǎn)水平[3]。

        2.3 鼓勵中外企業(yè)合作

        多晶硅的生產(chǎn)需要先進的技術作為基礎,同時還需要大量的資本,為了獲得更加先進的技術,并且提高我國企業(yè)多晶硅的生產(chǎn)水平,政府需要鼓勵中外企業(yè)合資建廠。一方面,有助于國內(nèi)外多晶硅生產(chǎn)技術的交流,為本國企業(yè)多晶硅生產(chǎn)技術提供重要的改進方向。另一方面,可以見識到一些先進的技術,即使不能夠技術共享,也可以為科研機構提供重要的研究方向,通過自主研發(fā)后,同樣可以達到國外的技術水平,從而帶動我國多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的發(fā)展。

        2.4 國家及地方扶持

        多晶硅生產(chǎn)過程的投資強度較大,國家及地方需要加強多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的扶持力度,保障企業(yè)有充足的資金進行多晶硅的生產(chǎn)。一方面,企業(yè)需要做好多晶硅市場的開拓工作,保障國內(nèi)市場符合適合多晶硅產(chǎn)業(yè)的發(fā)展,進而提高企業(yè)的生產(chǎn)積極性。另一方面,需要采取一定的法規(guī)政策,為多晶硅生產(chǎn)廠家提供便利,營造出良好的生產(chǎn)環(huán)境。例如:政府可以給予多晶硅生產(chǎn)廠商以下優(yōu)惠政策,降低生產(chǎn)過程中的稅收成本,讓企業(yè)能夠獲得更大的經(jīng)濟利益,從而促進多晶硅生產(chǎn)企業(yè)的發(fā)展。

        3 結語

        綜上所述,為了提高太陽能的利用水平,企業(yè)需要不斷地對太陽能級多晶硅的生產(chǎn)工藝進行改進,并且加大科研經(jīng)費的投入,多與外企進行合作,學習國外的一些先進的生產(chǎn)技術,對國內(nèi)的多晶硅生產(chǎn)工藝進行優(yōu)化,從而提高多晶硅的生產(chǎn)效率,促進新能源產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。

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