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        TFT-LCD基板玻璃粘附缺陷成因及控制

        2020-11-30 06:56:00李青王步洲張占永曹海勇吳黨鄭權(quán)
        玻璃 2020年11期
        關(guān)鍵詞:碎玻璃砧板基板

        李青 王步洲 張占永 曹海勇 吳黨 鄭權(quán),2

        (1. 東旭集團(tuán)有限公司 石家莊 050021;2. 石家莊旭新光電科技有限公司 石家莊 050035)

        在TFT-LCD基板玻璃生產(chǎn)制造領(lǐng)域,玻璃粘附缺陷目前尚無明顯的已量化的缺陷劃分界定方法,缺陷對策工作主要集中在半成品制造過程。對玻璃粘附缺陷對策工作過程的分析及方法、對策結(jié)果總結(jié),可對玻璃粘附缺陷增加理解,減少缺陷對策時間,在基板玻璃生產(chǎn)制造過程工藝管理方面,制定相關(guān)工藝制度,對預(yù)防玻璃粘附缺陷、提高基板玻璃產(chǎn)品質(zhì)量具有積極意義。玻璃粘附,有文獻(xiàn)將其表述為ADG(Adhered Glass)[1],在TFT-LCD基板玻璃行業(yè),其表現(xiàn)形式為玻璃碎塊形狀不定的一種玻璃表面缺陷,微小玻璃碎塊(尺寸一般為0.001~0.5 mm)貼附于基板玻璃表面,有一定附著力,不借助外力很難自行脫落。玻璃粘附缺陷按玻璃碎塊的來源一般分為熱粘附和冷粘附兩大類。

        1 玻璃粘附之熱粘附

        按TFT-LCD基板玻璃生產(chǎn)制造流程,玻璃粘附之熱粘附(以下簡稱“熱粘附”)一般集中在LE(退火爐末端)工序前后,該工序產(chǎn)生玻璃粘附特征是粘附物及基板玻璃溫度較高(60~240 ℃),玻璃粘附強(qiáng)度大,后續(xù)處理難度大(靠噴淋清洗及超聲波清洗很難洗掉),處理成功率低。

        1.1 熱粘附之“橫切”因素

        在基板玻璃制造工序“橫切[2]”環(huán)節(jié),熱粘附的產(chǎn)生主要受以下因素影響:

        1.1.1 切割質(zhì)量影響

        基板玻璃切割用刀輪的型號、使用時長、刀輪的實(shí)際品質(zhì)、切割時施加于刀輪壓力(簡稱刀壓[1])大小、切割速度等直接影響著切割質(zhì)量,切割質(zhì)量的好壞又直接影響著割線位置裂片時的品質(zhì):裂片質(zhì)量與裂片時產(chǎn)生的粉塵(碎玻璃塊)顆粒多少及顆粒大小。

        1.1.2 掰斷因素影響

        被劃線切割后的基板玻璃與母材分開,需要使用專用設(shè)備對切割后玻璃使用機(jī)械力扭轉(zhuǎn)一定角度,致使兩者分開,俗稱“掰斷[2]”。由于基板玻璃處于流動狀態(tài),掰斷動作是由以切割線為軸的旋轉(zhuǎn)動作及勻速平移(溢流法為勻速向下)動作共同完成,通過對兩個基本動作單元參數(shù)的微小修改,可以達(dá)到不同的掰斷效果。不同的掰斷效果直接影響著掰斷過程產(chǎn)生的微小碎玻璃塊(玻璃粉塵)產(chǎn)生的數(shù)量及形態(tài)。

        1.1.3 生產(chǎn)設(shè)備因素影響

        玻璃切割劃線時,在玻璃背部須貼合砧板裝置,貼合面的砧板材料表面狀態(tài)、軟硬程度、表面粘附物質(zhì)量及砧板安裝狀態(tài)(直線度)對切割掰斷后產(chǎn)生的微小碎玻璃塊(玻璃粉塵)亦有影響。當(dāng)然設(shè)備因素還包括設(shè)備整體的衛(wèi)生潔凈狀況,由于設(shè)備不可避免的會有微小震動,如果設(shè)備上帶有積塵,難免會對玻璃基板表面產(chǎn)生污染。同設(shè)備震動一樣會對引起積塵飛揚(yáng)的設(shè)備因素還有氣動元件的排空氣體影響,當(dāng)集中排空系統(tǒng)出現(xiàn)泄漏時會產(chǎn)生積塵飛揚(yáng)現(xiàn)象。另外由于個別生產(chǎn)事件偶發(fā),玻璃掰斷后直接廢棄投入廢棄口,當(dāng)廢棄室內(nèi)真空除塵效果不佳時,會有少量玻璃粉塵飄揚(yáng)現(xiàn)象,當(dāng)進(jìn)入基板玻璃運(yùn)轉(zhuǎn)區(qū)域時會造成基板玻璃表面污染。

        1.1.4 真空除塵因素

        由于掰斷動作很難達(dá)到無碎玻璃(玻璃粉塵)產(chǎn)生,為此,真空除塵對于微小碎玻璃塊(玻璃粉塵)的處理起到關(guān)鍵作用。影響真空除塵效果的主要因素是吸附氣流流速,該流速既需滿足吸附需要又不可速度過大,過大時會導(dǎo)致基板玻璃母材在掰斷后由于吸附作用過大而產(chǎn)生晃動(母材晃動不利于穩(wěn)定連續(xù)生產(chǎn))。

        1.1.5 基板玻璃自身因素

        基板玻璃生產(chǎn)中由于熱處理工藝變更、熱處理?xiàng)l件變化會對連續(xù)生產(chǎn)的基板玻璃品質(zhì)產(chǎn)生影響,即連續(xù)生產(chǎn)的基板玻璃作為一種材料,其材料特性會有微小的變化,相對應(yīng)的切割參數(shù)匹配不當(dāng)時,微小碎玻璃塊(玻璃粉塵)的產(chǎn)生會增多。

        1.2 熱粘附之環(huán)境因素

        環(huán)境因素是指基板玻璃制造過程中,熱處理區(qū)域與玻璃切割區(qū)域的空間氣壓。由于高溫原因,熱態(tài)爐腔內(nèi)很難做到完全潔凈,腔體內(nèi)會有很多玻璃粉塵積塵。當(dāng)熱處理區(qū)域(爐腔)氣壓大于玻璃切割區(qū)域氣壓時,氣流方向會將爐腔內(nèi)玻璃粉塵帶入玻璃切割區(qū)域,不可避免地造成基板玻璃的熱粘附。為此對該工序的環(huán)境壓力須做嚴(yán)格的要求。如前述玻璃溫度較高時,玻璃粉塵的粘附較難處理,為此,同時對切割環(huán)境的溫度進(jìn)行控制,環(huán)境要求見表1。

        表1 環(huán)境要求明細(xì)

        1.3 熱粘附之玻璃輸送因素

        輸送因素是指在基板玻璃切割后的輸送過程中,由于輸送設(shè)備的摩擦,導(dǎo)致設(shè)備帶電致使被輸送的基板玻璃帶電,從而吸附,并粘附沿輸送軌道較近距離的粉塵顆粒。

        1.4 熱粘附之“縱切”因素

        在基板玻璃制造工序中,完成橫向基板玻璃與母材分離后還需對其進(jìn)行縱向劃線切割(簡稱“縱切”),去除由于制造工序中拉邊工藝形成的毛邊。基板玻璃經(jīng)過前期輸送,進(jìn)入縱切工序時溫度基本降至50~90 ℃,但仍然未達(dá)到室溫,屬于熱粘附的范疇。與“橫切”因素不同的是其掰斷動作由以切割線為軸的旋轉(zhuǎn)動作和被切割的耳料與母材分離的平移動作共同合成,兩個分動作的動作速度互不影響,但動作的起始時間必須是旋轉(zhuǎn)動作早于平移動作。微調(diào)兩個動作的起始時間間隔也對掰斷產(chǎn)生的玻璃粉塵有影響。

        2 玻璃粘附之冷粘附

        當(dāng)基板玻璃完成橫切、縱切后,僅達(dá)到半成品要求,還需對半成品玻璃進(jìn)行精加工,即對基板玻璃四邊精切、掰斷、研磨及清洗。以上過程對基板玻璃的操作仍有劃線切割、掰斷操作,連同對掰斷后的斷口進(jìn)行研磨處理,微小碎玻璃塊(玻璃粉塵)的產(chǎn)生仍不可避免。

        2.1 冷粘附之切割裂片、研磨[ 3]因素

        精加工的切割裂片與半成品加工不同之處在于,其半成品切割用砧板為專用輸送帶替代,并無真空除塵裝置,其余基本相同。研磨操作因研磨輪為耗材,除生成玻璃粉塵外,還生成研磨粉(研磨輪掉落)。由于研磨操作局部會產(chǎn)生高溫,為此研磨產(chǎn)生玻璃粉塵粘附處理亦有一定難度。

        2.2 冷粘附之清洗[ 2]因素

        為清除玻璃粉塵,基板玻璃精加工后的清洗操作經(jīng)過多道清洗項(xiàng)目:高壓噴淋、二流體、超聲波清洗、盤刷清理、滾刷清理、風(fēng)刀噴淋。當(dāng)清洗設(shè)備工藝運(yùn)行參數(shù)出現(xiàn)異常時,會對玻璃粘附的去除尤其是冷粘附出現(xiàn)明顯影響。

        3 玻璃粘附缺陷之對策

        3.1 潔凈環(huán)境的管控及衛(wèi)生清理

        對潔凈環(huán)境的控制,潔凈度、壓差、溫濕度、風(fēng)速管控可參考相關(guān)文獻(xiàn)[2]。對潔凈環(huán)境的衛(wèi)生清理除參照相關(guān)文獻(xiàn)進(jìn)行外,需提及的是,對于異常生產(chǎn)事件尤其是異常碎片后須采取管控措施,對掉落的碎玻璃使用專用除塵器清理。

        3.2 “橫切”切割掰斷環(huán)節(jié)的對策玻璃粘附常用措施

        (1)設(shè)備方面,砧板條安裝務(wù)使表面平直,當(dāng)使用橡膠材質(zhì)砧板條時,為確保砧板條不滑落,設(shè)備設(shè)計的砧板條及安裝座配合公差為過盈配合,安裝砧板條時難免發(fā)生變形,為使其工作表面平直,可在安裝后靜置一段時間,使砧板條靠自身的彈性恢復(fù)自由狀態(tài),靜置后安裝好的砧板條在投入使用前仍需檢查工作面平整情況,如果出現(xiàn)工作面的凹凸現(xiàn)象需做對應(yīng)處理。

        對于設(shè)備狀態(tài)的調(diào)整,結(jié)合設(shè)備特點(diǎn),為便于粉塵顆粒吸收,可采用如圖1所示方法,改變刀輪與砧板相對位置,使割線距離真空腔入口距離A較小,可大幅提高玻璃粉塵的除塵效果。

        (2)設(shè)備運(yùn)行參數(shù)方面,使V 手臂下降略大于V流速,經(jīng)驗(yàn)證明對裂片粉塵產(chǎn)生情況會優(yōu)于二者相等的情形。如圖2所示。

        (3)在生產(chǎn)運(yùn)行過程中定時作業(yè)擦拭砧板工作面,為提高砧板使用壽命及減少擦拭頻次,在砧板工作表面粘貼光潔度較高的膠帶。

        (4)對策基板玻璃品質(zhì)微小變化時可適當(dāng)調(diào)整基板與砧板間距及相對位置。

        3.3 輸送及“縱切”環(huán)節(jié)對策玻璃粘附常用措施

        (1)使用專用的除靜電設(shè)備,如離子風(fēng)棒,通過對輸送設(shè)備噴吹與其帶電極性相反的電荷去除被輸送基板玻璃表面靜電。對輸送設(shè)備采用可靠的接地措施。

        (2)縱切環(huán)節(jié)使用如圖3所示柔性真空腔,增強(qiáng)真空吸附效果。

        (3)對切割割線割痕進(jìn)行顯微鏡觀察測量,定期作業(yè),作為道具更換的依據(jù)。

        3.4 冷粘附類之玻璃粘附對策常用措施

        清洗工序常用的對策措施有:加大盤刷、滾刷清洗工作時的壓入量、調(diào)整噴淋水壓力、提高清洗劑濃度,調(diào)整超聲波頻率(一般在40~135 Hz)等。

        3.5 對玻璃粘附情況免檢結(jié)果進(jìn)行分類統(tǒng)計

        根據(jù)生產(chǎn)數(shù)據(jù)做出玻璃粘附位置坐標(biāo)圖,依靠數(shù)理統(tǒng)計的方法分析玻璃粘附分布規(guī)律,確定需改進(jìn)或查找問題工序。玻璃粘附位置坐標(biāo)圖(樣本數(shù)量300個)如圖4所示。通過統(tǒng)計圖可以很清楚地確定玻璃粘附缺陷主要集中在玻璃的遠(yuǎn)下方,對各相關(guān)工序查找對應(yīng)位置因素可縮小缺陷問題查找范圍。

        3.6 確定玻璃粘附屬于冷粘附還是熱粘附

        可以用簡潔的檢測方法,改變常溫工序基板玻璃放入軌道的方向、面向(正反面交換),查看3.5所述玻璃粘附位置坐標(biāo)圖,觀察變化情況,可以快速甄別玻璃粘附的類型。另外玻璃粘附缺陷是否有明顯特征,可以通過缺陷面檢圖片(圖5)進(jìn)行進(jìn)一步的判斷。

        通過圖5可以很簡潔地排除三角形鉑金析晶、金屬雜質(zhì)、不規(guī)則鉑金析晶(顆粒)、氣泡缺陷,對面檢設(shè)備智能判斷結(jié)果進(jìn)行甄別,排除誤判玻璃粘附。

        4 結(jié)語

        玻璃粘附在TFT-LCD基板玻璃生產(chǎn)制造領(lǐng)域,是一種常見缺陷,通過了解玻璃粘附的形態(tài),掌握其分布規(guī)律,準(zhǔn)確尋找其來源,可達(dá)到快速對策的目的,有助于提高產(chǎn)品質(zhì)量。

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