亚洲免费av电影一区二区三区,日韩爱爱视频,51精品视频一区二区三区,91视频爱爱,日韩欧美在线播放视频,中文字幕少妇AV,亚洲电影中文字幕,久久久久亚洲av成人网址,久久综合视频网站,国产在线不卡免费播放

        ?

        電子級(jí)多晶硅生產(chǎn)中硅芯雜質(zhì)的來(lái)源

        2020-11-19 11:50:26張才剛俞朝陳叮琳李宏盼李有斌青海黃河水電公司新能源分公司青海西寧810007
        化工管理 2020年31期
        關(guān)鍵詞:還原爐沉積層多晶硅

        張才剛 俞朝 陳叮琳 李宏盼 李有斌(1.青海黃河水電公司新能源分公司,青海 西寧 810007;

        2.青海省新能源材料與儲(chǔ)能技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,青海 西寧 810007)

        0 引言

        改良西門(mén)子CVD 法[1]是在還原爐內(nèi)通入高純的三氯氫硅(TCS)和氫氣(H2),使其通過(guò)化學(xué)氣相沉積反應(yīng)將多晶硅沉積在熱載體上(即硅芯),但在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中,硅芯在制造過(guò)程中和在還原爐初期沉積過(guò)程中不同程度受到雜質(zhì)的污染,質(zhì)量等級(jí)由半導(dǎo)體級(jí)降至太陽(yáng)能特級(jí),污染問(wèn)題未能得到有效解決,使多晶硅成品雜質(zhì)分布不均勻,嚴(yán)重制約電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量的提升,也是當(dāng)前制約國(guó)內(nèi)多晶硅用于大尺寸英寸硅片的瓶頸問(wèn)題,所以解決硅芯雜質(zhì)污染問(wèn)題是提升電子級(jí)多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量的關(guān)鍵因素。本文重點(diǎn)從石墨部件、惰性氣體、硅芯制備、潔凈操作幾方面研究多晶硅生產(chǎn)過(guò)程中硅芯雜質(zhì)來(lái)源[2]。

        1 石墨部件影響

        某多晶硅廠(chǎng)還原爐采用的石墨部件包括石墨卡座、石墨卡瓣等,若石墨部件凈化純度未達(dá)到要求,在還原爐高溫運(yùn)行條件下,爐內(nèi)部分雜質(zhì)易揮發(fā)附著于硅芯表面,導(dǎo)致硅芯樣雜質(zhì)升高,而硅芯導(dǎo)通后石墨部件在整個(gè)硅棒生產(chǎn)過(guò)程中一直處于通電高溫狀態(tài)下,且隨硅棒直徑的增大,卡座通過(guò)的電流越大,溫度越高,若石墨部件揮發(fā)大量雜質(zhì),則硅棒沉積層的雜質(zhì)至少不低于硅芯樣雜質(zhì)。

        保持其他條件不變,對(duì)新石墨部件和重復(fù)利用的石墨部件進(jìn)行試驗(yàn),生產(chǎn)完成后對(duì)硅棒取硅芯樣、沉積層樣和使用的硅芯質(zhì)量進(jìn)行對(duì)比分析(見(jiàn)表1)。

        從試驗(yàn)數(shù)據(jù)可以看出:硅芯、成品硅芯樣、成品沉積層中受主雜質(zhì)偏差不大,硅芯、成品硅芯樣、沉積層樣施主雜質(zhì)無(wú)規(guī)律性變化,但成品硅芯樣較硅芯As 雜質(zhì)仍然出現(xiàn)了成倍增長(zhǎng),且新石墨部件和重復(fù)利用的石墨部件無(wú)明顯差異,所以石墨部件并非是硅芯樣雜質(zhì)升高的主要來(lái)源。

        表1 石墨部件對(duì)比試驗(yàn)數(shù)據(jù)

        2 無(wú)定型硅的影響

        通過(guò)還原爐運(yùn)行處方及爐內(nèi)溫度調(diào)整,控制無(wú)定型硅產(chǎn)生,分析還原爐內(nèi)無(wú)定型硅對(duì)硅芯質(zhì)量的影響,具體試驗(yàn)數(shù)據(jù)見(jiàn)表2。

        由表中數(shù)據(jù)可知,若運(yùn)行過(guò)程中只有微量無(wú)定型硅產(chǎn)生,硅芯樣施主雜質(zhì)較產(chǎn)生大量無(wú)定型硅時(shí)有所降低。這是因?yàn)樵谶€原爐內(nèi)在SiHCl3與氫氣化學(xué)氣相沉積反應(yīng)初期,若進(jìn)料組分SiHCl3不穩(wěn)定或爐內(nèi)溫度未在控制范圍內(nèi),還原爐內(nèi)容易出現(xiàn)霧化現(xiàn)象產(chǎn)生大量無(wú)定型硅粉,大量無(wú)定型硅隨氣體進(jìn)入后續(xù)尾氣回收系統(tǒng),少量的無(wú)定型硅易隨著爐內(nèi)反應(yīng)沉積在硅芯上,造成硅芯受到污染,進(jìn)而影響多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量。所以需要嚴(yán)格控制還原爐進(jìn)料組分SiHCl3和爐內(nèi)溫度穩(wěn)定,減少無(wú)定型硅的產(chǎn)生。

        表2 無(wú)定型硅對(duì)硅芯影響試驗(yàn)數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)表

        3 硅芯制備方式影響

        圓硅芯是作為多晶硅生產(chǎn)早期使用的氣相沉積載體,主要是利用多晶硅還原爐內(nèi)專(zhuān)門(mén)生長(zhǎng)的硅芯原料棒在區(qū)熔硅芯爐內(nèi)拉制而成,圓硅芯在拉制過(guò)程中不同程度受到雜質(zhì)的污染,進(jìn)而影響多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量[3];而方硅芯一種新型氣相沉積載體,其加工主要通過(guò)方硅芯切割機(jī)來(lái)實(shí)現(xiàn),方硅芯是對(duì)原生多晶硅棒采用線(xiàn)切的方式加工而成,減少了硅芯雜質(zhì)引入,同時(shí)硅芯截面積大,強(qiáng)度高,垂直度好,承載能力大,安裝過(guò)程中容易與石墨卡瓣契合,使得還原爐的倒?fàn)t率大大的降低。

        圖1 硅芯與石墨卡瓣接觸方式對(duì)比

        4 潔凈操作影響

        (1)硅芯安裝過(guò)程中的人、機(jī)、料、法、環(huán)都是硅芯表面產(chǎn)生污染的重要因素。硅芯安裝在還原潔凈廠(chǎng)房?jī)?nèi)進(jìn)行,某多晶硅廠(chǎng)對(duì)還原廠(chǎng)房環(huán)境中進(jìn)行了檢測(cè),檢測(cè)結(jié)果見(jiàn)表3。

        由表中數(shù)據(jù)可以看出,還原廠(chǎng)房環(huán)境中灰塵及有機(jī)粒子主要附著在硅芯表面的最外層,而金屬顆粒如Fe、Cr、Ni、Zn、Cu、Na、Al、K 等在接觸硅芯表面后,將會(huì)以一定的速度將擴(kuò)散到晶體表面一定的深度,從而影響多晶硅產(chǎn)品質(zhì)量,這也是成品中硅芯周?chē)s質(zhì)較多晶硅產(chǎn)品沉積層雜質(zhì)高的原因。

        (2)某多晶硅廠(chǎng)對(duì)還原操作使用的潔凈手套、無(wú)塵紙等潔凈用品進(jìn)行了檢測(cè),檢測(cè)結(jié)果見(jiàn)表4。

        表3 還原廠(chǎng)房環(huán)境檢測(cè)數(shù)據(jù) 單位:ppm

        表4 潔凈用品檢測(cè)數(shù)據(jù)

        由表中數(shù)據(jù)可以看出,潔凈用品中存在的Na、Mg、K、Ca、Cr、Fe、Ni、Cu、Zn 等金屬顆粒附著于硅芯表面,對(duì)硅芯也會(huì)造成一定污染,隨著還原爐內(nèi)反應(yīng)這些金屬顆粒同時(shí)擴(kuò)散到硅棒表面,從而影響多晶硅成品質(zhì)量。

        5 結(jié)語(yǔ)

        通過(guò)以上電子級(jí)多晶硅硅芯金屬雜質(zhì)的來(lái)源分析,石墨部件對(duì)硅芯雜質(zhì)影響不大,而無(wú)定型硅、硅芯制備、潔凈操作等對(duì)硅芯雜質(zhì)均有不同程度影響,所以還原運(yùn)行需穩(wěn)定爐內(nèi)進(jìn)料組分和溫度的穩(wěn)定,減少無(wú)定型硅的產(chǎn)生,硅芯從制備工藝使用上都要做到精心管控,同時(shí)加強(qiáng)硅芯安裝過(guò)程潔凈操作管控,這樣才能滿(mǎn)足半導(dǎo)體行業(yè)中的晶圓生產(chǎn)用高純電子級(jí)多晶硅純度要求。

        猜你喜歡
        還原爐沉積層多晶硅
        SiCP添加量對(duì)AZ91D鎂合金表面納米環(huán)保復(fù)合沉積層的影響
        材料工程(2023年2期)2023-02-22 02:32:28
        不同出氣方式時(shí)多晶硅還原爐內(nèi)的流場(chǎng)和熱場(chǎng)模擬
        優(yōu)化粗鎘還原爐的研究與應(yīng)用
        爭(zhēng)議多晶硅擴(kuò)產(chǎn)
        能源(2018年4期)2018-05-19 01:53:41
        多晶硅太陽(yáng)電池光電轉(zhuǎn)換效率模擬分析及驗(yàn)證
        濟(jì)陽(yáng)陸相斷陷湖盆泥頁(yè)巖細(xì)粒沉積層序初探
        基于物理冶金多晶硅太陽(yáng)電池的磷擴(kuò)散工藝
        天然氣水合物沉積層滲流特性的模擬
        多晶硅進(jìn)口量?jī)r(jià)雙重壓制 國(guó)內(nèi)企業(yè)再陷生存困境——2015年3~4月國(guó)內(nèi)多晶硅市場(chǎng)評(píng)述及后市展望
        新型多晶硅還原爐底盤(pán)流動(dòng)與傳熱的數(shù)值模擬
        亚洲综合色丁香婷婷六月图片| 精品女同一区二区三区在线播放器| 蜜桃av在线播放视频| 精品一区二区av天堂色偷偷| 亚洲娇小与黑人巨大交| 野外少妇愉情中文字幕| 亚洲久无码中文字幕热| 国产一区不卡视频在线| 亚洲人成在久久综合网站| 插b内射18免费视频| 国产欧美精品一区二区三区–老狼 | 国产三级在线观看性色av| 高潮内射主播自拍一区| 亚洲精品无码不卡| 国产xxxx99真实实拍| 一区二区韩国福利网站| 免费美女黄网站久久久| 亚洲视频在线免费不卡| 久久久老熟女一区二区三区 | 狠狠色丁香久久婷婷综合蜜芽五月 | 成人国产一区二区三区 | 青青手机在线视频观看| 亚洲av高清一区二区| 日韩精品视频免费网站| 九色九九九老阿姨| 欧美成人免费观看国产| 国产一区二区三区蜜桃| 少妇无码太爽了在线播放| 国产zzjjzzjj视频全免费| 久久精品午夜免费看| 全亚洲高清视频在线观看| 亚洲国产精品久久人人爱| 日中文字幕在线| 亚洲一区亚洲二区中文字幕| 2018天天躁夜夜躁狠狠躁| 蜜桃av噜噜一区二区三区| 亚洲一区二区三区在线中文| 国产精品久久av色婷婷网站| 波多野结衣爽到高潮大喷| 91在线精品老司机免费播放| 亚洲AV无码乱码一区二区三区|