非蟲

2020年10月14日，參觀者在2020中國國際半導(dǎo)體博覽會上觀看中芯國際代工生產(chǎn)的芯片。

浦東新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)規(guī)模于2019年超過1200億元人民幣，相比 2018 年增長 19%。就規(guī)模來說，浦東新區(qū)集成電路產(chǎn)業(yè)占上海該產(chǎn)業(yè)規(guī)模的71.5%、全國該產(chǎn)業(yè)規(guī)模的16.1%。

浦東已成為全國集成電路產(chǎn)業(yè)最集中、綜合技術(shù)水平最高、產(chǎn)業(yè)鏈最為完整的地區(qū)，簡單說——中國芯，于此集群。而這，仍還是“在路上”的一種狀態(tài)。在今年9月28日的上海市政府新聞發(fā)布會上，浦東新區(qū)區(qū)委書記翁祖亮表示：“作為上海科創(chuàng)中心建設(shè)的核心承載區(qū)，浦東新區(qū)堅持統(tǒng)籌推進科學研究、技術(shù)創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)發(fā)展，加快構(gòu)建現(xiàn)代化經(jīng)濟體系?！痹诖梭w系中，集成電路產(chǎn)業(yè)深受矚目。

上海社會科學院日前發(fā)布的《2019年上海電子信息制造業(yè)國際競爭力報告》顯示，2019年，中國集成電路、新型顯示等電子信息行業(yè)完成固定資產(chǎn)投資比上一年增長16.8%。中國正全力補上集成電路產(chǎn)業(yè)短板。

浦東，正在肩負起中國集成電路產(chǎn)業(yè)補短板攻堅破難的重任，同時，也在迎來產(chǎn)業(yè)機遇。

從工序流程上追趕

1997年7月——當東方明珠廣播電視塔剛剛投入使用兩年，當金茂大廈即將結(jié)構(gòu)封頂，當上海中心大廈還沒影兒的時候，上海華虹NEC電子有限公司就成立了——中國除臺灣地區(qū)以外第一條8英寸集成電路芯片生產(chǎn)線于此建立。這就是中國集成電路發(fā)展標志性的“909工程”主題項目。

肖勝安就是那時候從復(fù)旦大學光電子專業(yè)畢業(yè)，獲得理學博士學位，隨后加盟華虹的。當時，他作為華虹NEC第一批科技人員，被派往日本學習。九個月的培訓(xùn)期，說長不長，說短不短。這段日子，中國科技人員打開的是眼界，看到是差距。肖勝安認真學習了當年來說日本先進的半導(dǎo)體制造技術(shù)的關(guān)鍵、細節(jié)、內(nèi)容和管理經(jīng)驗?；貒?，肖勝安不滿足在日本學得的技術(shù)，繼續(xù)勤奮學習器件物理、產(chǎn)品特性及工藝集成等相關(guān)方面的知識，通過各種渠道了解和跟蹤世界各個半導(dǎo)體廠家、光刻技術(shù)的發(fā)展前沿動態(tài)。逐漸地，他成功開發(fā)了當時國內(nèi)唯一、國際領(lǐng)先的超級結(jié)關(guān)鍵技術(shù)，器件導(dǎo)通能耗降低75%;成功研發(fā)了高性能射頻LDMOS工藝，使該類芯片產(chǎn)品性能達到國際先進水平;開發(fā)了國際上首個8英寸的溝槽柵MOSFET工藝，累計銷售超過300萬片8英寸硅片。此外，他擔任國家級企業(yè)技術(shù)中心的主要負責人，先后完成0.25微米、0.18微米多個邏輯工藝平臺開發(fā)和技術(shù)轉(zhuǎn)移。

2020年，浦東集成電路產(chǎn)業(yè)銷售規(guī)模力爭達到 1500 億元。到2025年，浦東集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈銷售規(guī)模將達到4000億元。

肖勝安個人在半導(dǎo)體領(lǐng)域不斷地摸索進步，是浦東集成電路產(chǎn)業(yè)不斷發(fā)展的縮影。2000年4月，中芯國際集成電路制造（上海）有限公司在浦東成立;2002年12月，上海集成電路研發(fā)中心在浦東成立;2007年，中芯國際集成電路制造（上海）有限公司12英寸生產(chǎn)線建成投產(chǎn);2008年12月，中芯國際（上海）的90納米CMOS工藝研發(fā)成功;2010年1月，“909工程”升級項目上海華力微電子有限公司成立……

2013年，同處浦東的中國第二大和第三大晶圓代工廠——上海華虹NEC電子有限公司和上海宏力半導(dǎo)體制造有限公司完成合并，“華虹宏力”正式誕生。

在國際競爭領(lǐng)域，華虹宏力的8英寸集成電路芯片制造，由于逐漸在工序流程上做到最優(yōu)而極富競爭優(yōu)勢——與韓國三星并駕齊驅(qū)，占據(jù)了約30%的國際市場份額，不僅打破了跨國公司的壟斷，甚至讓許多原先的領(lǐng)先者被迫出局。

不嫌起步低的逆襲戰(zhàn)

之后，浦東的芯片企業(yè)將目標瞄準了集成電路設(shè)計。

上海晶豐明源半導(dǎo)體有限公司創(chuàng)始人兼CEO胡黎強稱，當公司有了自己的專利技術(shù)以后，想攬高端產(chǎn)品生意，可費了九牛二虎之力從德國進口了500片特殊工藝晶圓后，因為其他條件沒成熟，說白了一時沒客戶，晶圓在公司一放就是5年。

“國外知名的芯片設(shè)計企業(yè)已經(jīng)在跑道上跑了十幾年，想在同一條跑道上贏它，要么是寄希望于別家遭到重創(chuàng)或者失敗，而這種可能性極小。” 胡黎強說，“要么就是我們自己換腦筋。后來我們找到了應(yīng)對辦法——不斷在新的領(lǐng)域找到新的跑道，然后快速奔跑。在LED的跑道，我們國內(nèi)芯片廠商與全球同行廠商站在差不多的起跑線上，這給了我們國內(nèi)芯片設(shè)計公司跟國際設(shè)計公司一決高下的機會?！?/p>

格科微電子創(chuàng)始人趙立新則稱，公司從低端市場開始打逆襲戰(zhàn)。“我們更強調(diào)我們公司的技術(shù)是真正有競爭力的，而且我們只競爭出貨量最大的產(chǎn)品?！?h3>下一代技術(shù)的研發(fā)穩(wěn)步開展

2004年，被譽為“硅谷最有成就的華人之一”的尹志堯以60歲高齡回國到浦東創(chuàng)立中微，首先瞄準的就是離子刻蝕機的國產(chǎn)化。盡管尹志堯在美國曾參與幾代等離子體刻蝕機的研發(fā)，擁有60多項技術(shù)專利，可即便如此，他也花了足足14年時光，才將中微的刻蝕機賣到國際市場。浦東的芯片產(chǎn)業(yè)，初創(chuàng)時期，確實如大海中一葉扁舟。而如今，“艦隊”初具規(guī)模。當產(chǎn)業(yè)集聚初步形成后，浦東成為全球集成電路領(lǐng)域聚焦之地。

2019 年第三季度，中芯南方集成電路制造有限公司實現(xiàn)第一代 14 納米鰭式場效應(yīng)晶體管（FinFET）工藝量產(chǎn)。12納米技術(shù)也已開始客戶導(dǎo)入，下一代技術(shù)的研發(fā)正穩(wěn)步推進。新生產(chǎn)線將助力未來5G、物聯(lián)網(wǎng)、車用電子等新興應(yīng)用的發(fā)展。

紫光展銳發(fā)布 5G 通信技術(shù)平臺“馬卡魯”及其首款 5G 基帶芯片“春藤 510”;上海兆芯發(fā)布新一代 16 納米 3.0吉赫茲產(chǎn)品，是國內(nèi)首款主頻達到 3.0吉赫茲的國產(chǎn)通用處理器。

浦東這座最先進、最智能化、最高效的“芯工廠”，提前一年完成了國家提出的重要發(fā)展目標。樂鑫科技、安集微電子、中微半導(dǎo)體 3 家集成電路企業(yè)首批在科創(chuàng)板上市，晶晨半導(dǎo)體、晶豐明源等企業(yè)登陸科創(chuàng)板;阿里巴巴上海研發(fā)中心在浦東啟用，平頭哥半導(dǎo)體有限公司首批入駐。

與此同時，上海集成電路設(shè)計產(chǎn)業(yè)園建設(shè)全面推進，深入實施“千億百萬”工程;作為國家重大集成電路項目，總投資 359 億元的上海積塔半導(dǎo)體特色工藝生產(chǎn)線項目預(yù)計正式投產(chǎn)。2020年，浦東集成電路產(chǎn)業(yè)銷售規(guī)模力爭達到 1500 億元。展望未來，到2025年，浦東集成電路全產(chǎn)業(yè)鏈銷售規(guī)模將達到4000億元，集成電路企業(yè)科創(chuàng)板上市數(shù)量實現(xiàn)倍增。隨著《浦東新區(qū)促進重點優(yōu)勢產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展若干政策》正式公布，中國芯聚集浦東的未來，更值得期待！