高生全

摘要：由于單晶爐拉制單晶棒時(shí)需要的是：高溫、高真空度的環(huán)境 ，因此單晶爐的真空維護(hù)也是單晶爐正常生產(chǎn)的重中之重 。

關(guān)鍵詞：單晶爐;真空維修;應(yīng)急

一、下面簡略述敘一下我的單晶爐真空維修經(jīng)驗(yàn)，總結(jié)了以下幾點(diǎn)：1漏水：2靜態(tài)漏氣：3動(dòng)態(tài)漏氣。

1、漏水

漏水是真空維修中占比例最大的維修項(xiàng)目。很簡單也較易撐握。一般判別方法是：真空抽到一定程度時(shí)發(fā)生反彈回升，這時(shí)可大致判別為漏水，當(dāng)然并不是所有反彈都可坐歸根為漏水。例如真空泵存在問題，密封圈漏氣，以及我后面提到的動(dòng)態(tài)漏氣等等，都可能存在真空計(jì)壓力反彈回升。漏水大多明顯易找，但有些漏點(diǎn)卻尋找比較困難，尤其隱蔽的地方，常年不拆卸的地方。查找起來非常困難，讓維修工走了不少彎路，甚是頭痛。一般這些比較隱蔽，讓人不易想到，如排氣管道內(nèi)壁漏水，坩堝軸漏水，翻蓋閥轉(zhuǎn)軸漏水，副室筒以及提拉頭內(nèi)壁漏水等等，當(dāng)然這些反彈的幅度較大。這些要做到快速判斷則需要平日的經(jīng)驗(yàn)積累和縝密的思考合理的分析。例如一例排氣管內(nèi)壁漏水，拉出的晶棒并無肉眼能直觀看到的顏色變化，但拆爐檢漏時(shí)漏氣嚴(yán)重，壓力有漏水時(shí)表現(xiàn)的反彈特征。但卻始終找不到。針對(duì)此現(xiàn)象可以做出仔細(xì)分析：首先晶棒無明顯不正常，大致在爐蓋以下，則可重點(diǎn)對(duì)上下爐筒，兩側(cè)排氣管道，坩堝軸這些部分進(jìn)行查找。上下爐筒顯而易見比較容易查找，查找無果則基本可判斷排氣管有漏水（坩堝軸部分很難漏水），則可對(duì)排氣管逐一堵塞判斷。

2、靜態(tài)漏氣

靜態(tài)漏氣也是較常見的一種?？煞譃槊芊馊龤Ю匣猓饘佘浌苈?，真空泵漏氣，球閥漏氣，人為操作導(dǎo)致漏氣等等。這種漏氣檢修常用方法是用酒精澆之，澆到漏氣之處真空計(jì)壓力會(huì)有明顯的上升或下降變動(dòng)。要快速找到漏氣點(diǎn)主要依據(jù)是平時(shí)多積累多總結(jié)，因?yàn)檫@些漏點(diǎn)不像漏水看得見，它是看不見摸不著的需要對(duì)常漏的地點(diǎn)歸納總結(jié)。針對(duì)人為原因一定要先問清再下手以防走彎路。

3、動(dòng)態(tài)漏氣

動(dòng)態(tài)漏氣指機(jī)器靜態(tài)時(shí)真空良好，運(yùn)轉(zhuǎn)起來就漏氣，這類屬于軟故障。如磁流體漏氣，真空泵熱性能差漏氣，出A，B棒時(shí)對(duì)機(jī)器操作時(shí)漏氣等等。這類漏氣發(fā)生相對(duì)較少，維修也不難，你動(dòng)我也動(dòng)，就讓機(jī)器該運(yùn)動(dòng)的地逐一動(dòng)起來，那部分在動(dòng)時(shí)真空計(jì)壓力有明顯上升或下降變化，則該部分就可能存在漏氣。但是這類漏氣有時(shí)也不易尋找。它在某些爐臺(tái)中只足偶爾有發(fā)生。不可捉模，維修時(shí)需要長時(shí)間觀察耐心推斷。

另外還有一點(diǎn)倒氣除了人為操作還和真空泵性能不好，排氣不暢，熱場(chǎng)系統(tǒng)不合理有著直接關(guān)系，這也導(dǎo)致晶棒氧化。

二、單晶爐應(yīng)急、異常事故處理方法及注意事項(xiàng)

突發(fā)狀況 ，有以下幾點(diǎn)：停電、斷水引起漏硅：當(dāng)單晶爐出現(xiàn)這種現(xiàn)象時(shí)，已經(jīng)是屬于嚴(yán)重的會(huì)危機(jī)人員安全和引起重大財(cái)產(chǎn)損失的事故了。

（一）單晶爐突然停電：

1.首先馬上通知變電所立即啟用柴油發(fā)電機(jī)或循環(huán)水啟動(dòng)冷卻水備用泵，要保證爐內(nèi)冷卻水循環(huán)正常，送水后同操作工注意水壓變化情況上報(bào)段長及相關(guān)部門，同時(shí)也做好來電時(shí)的搶救工作。各爐臺(tái)操作工處理好自己的爐臺(tái)。注意：每人必須會(huì)操作培訓(xùn)演練

2.若爐子運(yùn)行部分加熱或控制斷電：首先手動(dòng)啟動(dòng)主泵（防止?fàn)t內(nèi)氧化嚴(yán)重或常壓）其次本機(jī)給加熱以防結(jié)晶，按照使用說明及操作流程逐一排查設(shè)備故障點(diǎn)。

（二）單晶爐突然斷水：

1、先要關(guān)閉加熱功率，降低堝位升籽晶詢問循環(huán)系統(tǒng)是否正常工作及水壓表的變化及時(shí)找出原因可在。

2、冷卻水管破裂漏水：冷卻水管爆裂和脫落的主要原因：1.水管幫扎松動(dòng)或損壞2.水壓壓力太高3.水管本就損壞或老化。水管爆裂和脫落主要發(fā)生在爐體的某部位運(yùn)動(dòng)中，即停爐后應(yīng)及時(shí)關(guān)閉冷卻水閥門方可更換邦扎水管，切記一定要將關(guān)閉的水閥打開！打開！以防出現(xiàn)大事故。

3、主泵抱死皮帶松動(dòng)或斷裂 ：這就要我們多巡檢發(fā)現(xiàn)問題及時(shí)處理或上報(bào)，因?yàn)橹鞅帽阑蚱嗔眩瑢?huì)引起嚴(yán)重的后果無法拉制單晶，爐壓也會(huì)成為常壓。

4、晶棒掉落 ：1.籽晶、石墨夾頭斷裂、2、鋼絲繩斷裂。

日常狀況，有以下幾點(diǎn)：

4.1水溫過高報(bào)警：在拉制單晶過程中，我們有時(shí)會(huì)發(fā)現(xiàn)水溫報(bào)警其處理方法：水溫高排水排氣，或水管堵賽疏通水管。水溫測(cè)量模塊壞或接線松動(dòng)。（電極水溫報(bào)警及其最為重要）

4.2爐壓過高報(bào)警：真空泵油太臟或油位少、真空管道太臟需清理、真空計(jì)清洗或檢查、主泵本身就存在問題可更換、下軸波紋管有漏氣情況。

4.3晶晃和液抖過大問題：晶晃和液抖這倆種情況發(fā)生在拉晶過程中的各階段：引晶、等晶、收尾甚至穩(wěn)定產(chǎn)生液抖。其產(chǎn)生的原因有很多，主要有：

1）鋼絲繩老化，下軸和提拉頭部位水平對(duì)中不行，2）坩堝軸、絲桿、軌道有問題;3）傳動(dòng)部件有問題; 4）外部引來的震動(dòng);5）熱場(chǎng)、氣流的影響; 6）爐內(nèi)坩堝和石墨鍋綁刮蹭，連桿松動(dòng)等;7）阻尼套、導(dǎo)輪及軸承、側(cè)壓輪、上壓輪檢查;8）晶轉(zhuǎn)磁流體問題。

針對(duì)以上原因我們要一步一步的檢查、重新調(diào)試好爐子。

4.4極限真空抽不下去的問題：拉制過程中，會(huì)發(fā)生一爐正常，而下一爐真空抽不下去的現(xiàn)象這是由于：

1）真空管道有泄漏

2）抽到極限后爐壓緩慢上漲可能真空有問題或爐內(nèi)有漏水情況

3）單晶爐某個(gè)密封部件未有裝好

4）主室球閥內(nèi)漏

5）波紋管道有漏氣

4.5液壓泵的問題：當(dāng)主爐室、爐蓋、副室升不起、降不下來、速度太快或太慢時(shí)我們首先要查看個(gè)限位是否正常，然后排除電氣故障最后就是液壓泵得問題了，其原因有：1.缺油或漏油、2.油位太高、3.油管有空氣可排氣

三、單晶爐維修維護(hù)的安全事項(xiàng)：

1、爐體內(nèi)，維修維護(hù)時(shí)必須打開爐蓋上升主爐室偏移適合位置，是維修操作空間敞開狀態(tài)，避免維修人員處于缺氧狀態(tài)工作造成氬氣窒息。

2、禁止維修人員處于液壓升降部件如：爐蓋、主爐室下方以免液壓控制失靈造成人生傷害，如確需要在上述部件下操作，必須設(shè)置足夠強(qiáng)度和能保證足夠安全空間的支撐部件來支撐因故障時(shí)升降部件的下墜而不造成人員傷亡。

3、積極配合好操作工處理好爐子出現(xiàn)的問題，保證設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)完好。

4、設(shè)備維修完畢后應(yīng)當(dāng)面與操作工做好交接工作做好維修記錄。

5、維修完畢拆下的零配件應(yīng)做好標(biāo)識(shí)，一定要送到規(guī)定的地方。

6、兩人或以上維修時(shí)注意相互配合和提醒搬運(yùn)重物時(shí)注意別閃著腰或砸到手腳。

7、在設(shè)備下面工作室應(yīng)戴好安全帽，站起來應(yīng)慢慢起來，同時(shí)注意頂部和周圍以防碰傷。