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        新型飛秒激光等離子激元光刻技術(shù)可加工石墨烯

        2020-01-11 13:48:56
        科研成果與傳播 2020年2期
        關(guān)鍵詞:光刻飛秒等離子

        石墨烯具有優(yōu)異的光學(xué)、力學(xué)、電學(xué)等性能,被認(rèn)為是一種未來革命性的材料,成為材料領(lǐng)域研究的熱門材料,但在石墨烯的制備微納結(jié)構(gòu)中,現(xiàn)有的自組裝、電子束刻蝕和極紫外光刻等技術(shù),存在著耗時(shí)較長(zhǎng),成本較高,缺乏通用性等問題。因此,急需一種石墨烯微納制備技術(shù),如何利用靈活簡(jiǎn)便的加工手段解決加工精度和加工效率問題是拓展飛秒激光實(shí)用化的關(guān)鍵所在。

        2020年5月10日,中科院長(zhǎng)春光學(xué)精密儀器與物理研究所開發(fā)了一種飛秒激光等離子激元光刻技術(shù)(FPL),相關(guān)成果發(fā)表在《光:科學(xué)與應(yīng)用》上。利用該技術(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)高質(zhì)量納米結(jié)構(gòu)周期制備,根據(jù)飛秒激光的非線性光學(xué)特點(diǎn),F(xiàn)PL技術(shù)加工過程不易受材料表面缺陷、雜質(zhì)等因素的影響,加工基底也不易受到材料種類的限制。通過這項(xiàng)技術(shù),可以進(jìn)行周期性微納結(jié)構(gòu)的靈活制備。這項(xiàng)研究對(duì)推動(dòng)石墨烯材料的應(yīng)用與普及有著非常重要的意義。

        來源:新華網(wǎng)

        http://www.xinhuanet.com/science/2020-05/11/c_139046351.htm

        下載日期:2020-05-12

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