任衛(wèi)朋 劉凱 羅燕 陳靖 余之光

摘? 要：針對(duì)GaAs功率芯片共晶焊接工藝中，因焊接空洞、虛焊致使芯片燒毀的問題，對(duì)AuSn20共晶焊接技術(shù)進(jìn)行研究。通過自動(dòng)共晶設(shè)備，對(duì)共晶溫度曲線參數(shù)進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析。結(jié)果表明，共晶溫度曲線設(shè)置260℃、320℃的溫度梯度可以保證焊料的充分融化、浸潤，共晶熔融時(shí)間控制在15-30s可以形成適量的IMC層。對(duì)優(yōu)化后的共晶焊接面進(jìn)行熱阻分析，在滿負(fù)荷條件下，功率芯片最高節(jié)溫為93℃，滿足小于125℃的要求，說明共晶質(zhì)量良好。

關(guān)鍵詞：功率芯片;AuSn20焊料;共晶焊接

中圖分類號(hào)：TN405 文獻(xiàn)標(biāo)志碼：A 文章編號(hào)：2095-2945（2019）25-0109-03

Abstract： In order to solve the problem of chip burnout caused by welding cavity and virtual welding in the eutectic welding process of GaAs power chip， the technology of AuSn20 eutectic welding is studied. The parameters of eutectic temperature curve are experimentally analyzed by automatic eutectic equipment. The results show that the sufficient melting and infiltration of solder can be ensured by setting the temperature gradient of 260℃ and 320℃ in the eutectic temperature curve， and an appropriate amount of IMC layer can be formed when the eutectic melting time is controlled at 15～30s. The thermal resistance of the optimized eutectic welding surface is analyzed. Under the condition of full load， the maximum temperature saving of the power chip is 93℃， which meets the requirement of less than 125℃， indicating that the eutectic quality is good.

Keywords： power chip; AuSn20 solder; eutectic welding

1 概述

GaAs功率芯片由于具有體積小、帶寬寬、一致性高等優(yōu)點(diǎn)，在相控陣?yán)走_(dá)、微波通信系統(tǒng)等領(lǐng)域發(fā)揮著重要的作用，成為雷達(dá) T/R組件的關(guān)鍵器件[1]。功率芯片與基板的焊接質(zhì)量直接影響組件整體的可靠性與電學(xué)性能，因此必須要有良好的微波接地性能與散熱能力。共晶焊接由于具有焊接強(qiáng)度高、剪切力強(qiáng)、連接電阻小、傳熱效率高等優(yōu)點(diǎn)，因此廣泛應(yīng)用于高頻、大功率器件和LED等高散熱要求的器件焊接中。

共晶是指在相對(duì)較低的溫度下共晶焊料發(fā)生共晶物熔合的現(xiàn)象，共晶合金直接從固態(tài)變化到液態(tài)，而不經(jīng)過塑性階段，其熱導(dǎo)率、電阻、剪切力、可靠性等均優(yōu)于傳統(tǒng)的環(huán)氧粘接[2，3]。本文主要對(duì)微波GaAs功率芯片，AuSn20共晶焊接溫度曲線進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析，通過掃描電鏡研究合金層組織演變及界面，以此為基礎(chǔ)對(duì)共晶焊接工藝進(jìn)行優(yōu)化。

2 試驗(yàn)方法

實(shí)驗(yàn)設(shè)備采用自動(dòng)貼片機(jī)，壓力控制為10g-250g，每次貼放均可編程控制，并具有壓力實(shí)時(shí)反饋系統(tǒng)，熱臺(tái)為脈沖加熱方式，具有實(shí)時(shí)溫度檢測(cè)系統(tǒng)。原材料清洗采用UV紫外光清洗機(jī)、BT等離子清洗機(jī)。

對(duì)于實(shí)驗(yàn)材料，不同尺寸的AuSn20焊料片采用劃片機(jī)進(jìn)行機(jī)械切割[4]，之后進(jìn)行酒精超聲清洗。墊塊采用1：2：1的Cu/Mo/Cu墊塊，表面濺射Ni、Pd、Au作為功率芯片的載體。墊塊濺射完成后，依次經(jīng)過酒精超聲→烘干→紫外光清洗→等離子清洗工序后備用。芯片采用GaAs功率芯片。實(shí)驗(yàn)材料備好后以華夫盒形式放入貼片機(jī)供料臺(tái)上，然后通過編程來控制溫度曲線、壓力、刮擦等參數(shù)，整個(gè)共晶過程由貼片機(jī)自動(dòng)完成，減小人為因素影響。共晶完成之后測(cè)量剪切力。

3 實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析

共晶溫度曲線設(shè)定：

共晶溫度曲線主要包括三個(gè)階段：預(yù)熱階段、共晶階段、冷卻階段。預(yù)熱階段主要作用是去除器件內(nèi)水汽以及減小熱失配應(yīng)力;共晶階段主要作用為共晶層熔融合金的形成，是共晶焊過程最重要的階段;冷卻階段為共晶完成后器件散熱降溫過程，冷卻溫度及速率會(huì)影響器件內(nèi)部殘余應(yīng)力的大小。典型溫度曲線如圖1所示。

其中，T1為預(yù)熱溫度，一般比共晶溫度T2低30-60℃左右。T2為共晶溫度，T3為冷卻溫度，可設(shè)置為200-260℃。由于共晶溫度T2對(duì)共晶層質(zhì)量影響最為顯著，對(duì)于T2采用單因素對(duì)比試驗(yàn)進(jìn)行確定。試驗(yàn)結(jié)果分析可知，熱臺(tái)溫度為320℃時(shí)焊料完全熔融，可進(jìn)行共晶焊接，為了增加AuSn焊料浸潤性、流動(dòng)性，在金錫共晶焊時(shí)將共晶溫度設(shè)為320-330℃。

另外，對(duì)于共晶溫度T2保持時(shí)間，通過對(duì)比試驗(yàn)，使用掃描電子顯微鏡（COXEM EM-30）觀察不同T2時(shí)間下共晶層組織情況，試驗(yàn)結(jié)果如圖2所示。

通過對(duì)比分析發(fā)現(xiàn)，隨著共晶時(shí)間的增加，IMC層厚度由0.373μm逐漸增至1.370μm，共晶160s之后IMC厚度增長緩慢。通過能譜分析可知，在焊料/鎳界面處形成由（Au，Ni）Sn和（Ni，Au）3Sn2組成的IMC復(fù)合層。分析可知，在共晶過程中，合金Ni元素逐漸向AuSn合金層擴(kuò)散，使合金組織中固溶了少量Ni的（Au，Ni）Sn層逐漸增大，這導(dǎo)致IMC層的增長[5]。（Ni，Au）3Sn2層的增長會(huì)消耗焊料中的（Au，Ni）Sn，因此到一定時(shí)間后，（Au，Ni）Sn層含量不再明顯變化而（Ni，Au）3Sn2逐漸增加。固態(tài)反應(yīng)時(shí)金屬間化合物（IMC）的厚度與共晶熔融時(shí)間的平方根成正比，如下式所示，其中K為比例系數(shù)。

共晶焊接中異質(zhì)金屬的連接需要IMC來實(shí)現(xiàn)，因此一定厚度的IMC層有助于提高焊接質(zhì)量。但是IMC層為一種脆性化合物，過厚的IMC層會(huì)顯著降低焊接的剪切強(qiáng)度[6]。為保證形成適量厚度的IMC層，控制整體共晶時(shí)間為2-3min，其中共晶熔融時(shí)間為15-30s，此條件下IMC層厚度可控制在0.3μm-0.9μm之間，共晶芯片剪切強(qiáng)度超過9.15kgf，符合GJB548B-2005要求。

4 測(cè)試驗(yàn)證

共晶焊接相對(duì)于環(huán)氧焊接優(yōu)勢(shì)在于其熱阻更小，能滿足大功率芯片的散熱要求，因此共晶焊接的熱阻情況十分重要。對(duì)于共晶焊結(jié)構(gòu)的熱阻，可通過熱阻公式進(jìn)行分析[7]：

其中，R為熱阻值，h為焊料層厚度，K為AuSn20焊料熱導(dǎo)率，S為焊料橫截面積。

對(duì)于整體結(jié)構(gòu)熱阻，其模型如圖3所示。分析過程按有源區(qū)擴(kuò)散傳熱計(jì)算，按45°擴(kuò)散計(jì)算，截面積按有效面積計(jì)算，即梯形面的中間剖面長寬積計(jì)算（粗實(shí)線所示），焊料面按有效面積計(jì)算，最后可得整體熱阻為3.2259℃/W，比環(huán)氧貼片熱阻減少58%。

共晶完成后，進(jìn)行實(shí)際加電檢測(cè)，測(cè)量共晶結(jié)構(gòu)的散熱性能。對(duì)共晶芯片進(jìn)行加電檢測(cè)，通過熱成像儀測(cè)試芯片表面節(jié)溫，如圖4所示。芯片三級(jí)放大區(qū)域產(chǎn)熱較集中，因此此區(qū)域溫度較高。在滿負(fù)荷條件下，功率芯片最高節(jié)溫為93℃，滿足小于125℃的要求，說明共晶質(zhì)量良好。

5 結(jié)論

本文針對(duì)GaAs功率芯片共晶焊接中空洞、虛焊問題，通過掃描電鏡分析合金層組織演變及界面，對(duì)共晶溫度曲線進(jìn)行實(shí)驗(yàn)分析，結(jié)果表明，共晶溫度曲線設(shè)置260℃、320℃的溫度梯度可以保證焊料的充分融化、浸潤，共晶熔融時(shí)間控制在15-30s可以形成適量的IMC層。對(duì)優(yōu)化的共晶焊接面進(jìn)行熱阻分析，在滿負(fù)荷條件下，功率芯片最高節(jié)溫為93℃，滿足小于125℃的要求，說明共晶質(zhì)量良好。

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