畢 超 鄂瑪蘭 郝 雪 劉 勇

(北京航空精密機(jī)械研究所精密制造技術(shù)航空科技重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，北京100076)

1 引言

航空工業(yè)作為“工業(yè)之花”，是國家的戰(zhàn)略性高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，其發(fā)展水平直接關(guān)系到國民經(jīng)濟(jì)命脈與國防安全，并且已經(jīng)成為衡量一個(gè)國家的國際競爭力與科學(xué)技術(shù)發(fā)展水平的重要標(biāo)志[1]。近年來，隨著一系列新機(jī)理、新技術(shù)、新方法和新工藝的不斷涌現(xiàn)，我國的航空工業(yè)進(jìn)入了全速發(fā)展的新時(shí)期，呈現(xiàn)出了蓬勃向上的整體態(tài)勢，正在向建立新型航空工業(yè)、趕超世界先進(jìn)水平的道路邁進(jìn)。

在航空領(lǐng)域中，發(fā)動(dòng)機(jī)是飛機(jī)最為關(guān)鍵和最為復(fù)雜的部件，它的性能優(yōu)劣和安全性等級，直接關(guān)系到整架飛機(jī)的性能和安全性。在航空發(fā)動(dòng)機(jī)的工作過程中，燃燒室是將燃料的化學(xué)能轉(zhuǎn)化為熱能的重要能量轉(zhuǎn)換裝置，從而保證飛機(jī)的各種飛行狀態(tài)。其中，燃油噴嘴是燃燒室中的核心零件之一，主要作用是將燃油霧化或氣化，以加速油氣混合氣的形成，然后向火焰筒內(nèi)噴射，從而確保燃燒室的正常與穩(wěn)定工作[2]。作為發(fā)動(dòng)機(jī)燃油供給系統(tǒng)的典型核心組件，噴嘴類零件具有數(shù)量大、種類多、幾何尺寸小、結(jié)構(gòu)和形狀復(fù)雜以及制造精度要求高等特點(diǎn)[3]，并且其加工后的真實(shí)幾何技術(shù)狀態(tài)會(huì)對燃燒室內(nèi)的燃油霧化質(zhì)量和燃油濃度分布等產(chǎn)生很大影響，進(jìn)而影響到發(fā)動(dòng)機(jī)的推重比、耗油率和經(jīng)濟(jì)性等[4]。

因此，為了確保加工后的燃油噴嘴符合設(shè)計(jì)要求，從而為燃燒室提供高質(zhì)量的油氣混合氣，必須對此類零件的重要幾何元素和特征實(shí)施監(jiān)控。近年來，對于噴嘴類零件的幾何技術(shù)狀態(tài)的精密、高效檢測已經(jīng)引起了歐美等航空發(fā)達(dá)國家的高度關(guān)注。例如，美國的National Jet公司為了保證微小型孔的鉆削質(zhì)量，應(yīng)用Nikon視覺系統(tǒng)實(shí)現(xiàn)了對噴嘴微小孔的尺寸精度和表面粗糙度的快速精確檢測[5]；奧地利的Alicona公司研制出了自動(dòng)變焦三維表面測量儀InfiniteFocus G5，是集微型三坐標(biāo)測量和表面形貌檢測于一體的3D光學(xué)測量系統(tǒng)，可以應(yīng)用于噴嘴類零件的形位參數(shù)的自動(dòng)掃描與測量[6]。而在國內(nèi)的大多數(shù)航空發(fā)動(dòng)機(jī)研制和生產(chǎn)單位，僅具備圓孔塞規(guī)、游標(biāo)卡尺和螺旋測微器等常規(guī)測量器具，無法高效、精確地獲取諸如噴嘴旋流器上的螺旋槽的槽深、螺旋角和槽寬等重要特征的尺寸信息。這就導(dǎo)致了國內(nèi)在應(yīng)對燃油噴嘴生產(chǎn)線上的零件尺寸檢驗(yàn)與質(zhì)量控制時(shí)，只能通過定性判斷或修配測試來對噴嘴類零件進(jìn)行篩選，而無法實(shí)現(xiàn)定量且一致的檢測。

為了實(shí)現(xiàn)航空發(fā)動(dòng)機(jī)燃油噴嘴上的螺旋槽特征的精密與高效檢測，本文提出了其槽深、螺旋角和槽寬等幾何參數(shù)的測量與計(jì)算方法，并基于此搭建了非接觸式的燃油噴嘴螺旋槽精密測量系統(tǒng)，從而將光學(xué)掃描與四軸聯(lián)動(dòng)相結(jié)合以應(yīng)對螺旋槽的檢測任務(wù)。測量系統(tǒng)采用模塊化的設(shè)計(jì)思想，其機(jī)械主體為立柱移動(dòng)型三坐標(biāo)測量機(jī)的結(jié)構(gòu)形式；基座采用泰山青花崗石材料制成；運(yùn)動(dòng)模塊由三個(gè)直線運(yùn)動(dòng)軸和一個(gè)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸構(gòu)成，能夠?qū)崿F(xiàn)各軸單獨(dú)運(yùn)動(dòng)和四軸聯(lián)動(dòng)；傳感器模塊選用新型的錐光偏振全息激光測頭，測量精度高，并且可以實(shí)現(xiàn)掃描測量；電氣控制模塊采用上位機(jī)與下位機(jī)相結(jié)合的二級位置閉環(huán)數(shù)字復(fù)合控制方式。

2 測量與計(jì)算原理

在航空發(fā)動(dòng)機(jī)中，燃油噴嘴是一類結(jié)構(gòu)緊湊、形狀復(fù)雜且精度要求高的零件，其典型的幾何特征有螺旋槽、小孔和內(nèi)錐面等[7]。其中，螺旋槽大多分布在燃油噴嘴的旋流器上，數(shù)目一般為3～6個(gè)，如圖1所示，多呈現(xiàn)為螺旋狀凹槽的形態(tài)特征，其作用是使燃油高速旋轉(zhuǎn)后噴出，從而產(chǎn)生高質(zhì)量的、旋轉(zhuǎn)著的圓錐狀油霧層[8，9]，進(jìn)而與經(jīng)過壓氣機(jī)增壓后的空氣相撞、混合。因此，螺旋槽在航空發(fā)動(dòng)機(jī)的供油環(huán)節(jié)中發(fā)揮著非常重要的節(jié)流作用，而且其加工質(zhì)量會(huì)對燃油噴嘴的流量與霧化錐角等產(chǎn)生很大影響，因而對其尺寸精度和形狀精度的要求很高。

根據(jù)燃油噴嘴旋流器的設(shè)計(jì)指標(biāo)，要求螺旋角α的單次測量極限誤差≤±0.5°。

從圖1中可以看出，旋流器為回轉(zhuǎn)體零件，在其周向均勻分布著多個(gè)螺旋槽。根據(jù)燃油噴嘴性能的對比試驗(yàn)研究，對其供油特性產(chǎn)生很大影響的螺旋槽尺寸參數(shù)包括槽深、螺旋角和槽寬等[10]。因此，迫切需要實(shí)現(xiàn)對這些尺寸參數(shù)的快速、精確測量，以滿足批量噴嘴類零件的檢測需求。在這樣的背景下，本文在深入研究螺旋槽的幾何結(jié)構(gòu)特征的基礎(chǔ)上，并結(jié)合光學(xué)掃描測量與多軸運(yùn)動(dòng)控制的特點(diǎn)，提出了各項(xiàng)參數(shù)的具體測量與解算方法。

圖1 噴嘴旋流器上的螺旋槽特征Fig.1 Swirl slots of the swirler

2.1 槽深d

選取一個(gè)與燃油噴嘴中心軸線垂直的截面，使其與槽頂圓柱面和槽底圓柱面相交，從而得到兩條間斷連續(xù)的圓周曲線，并將圓周曲線離散為測量點(diǎn)。然后，在測量系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)與光學(xué)掃描測頭的相互配合下，采集各個(gè)截面上的槽頂圓周和槽底圓周的實(shí)測點(diǎn)云數(shù)據(jù)，并通過擬合分別得到槽頂圓周半徑R和槽底圓周半徑r，則槽深d的測量結(jié)果可以采用R與r之差來表示，即

根據(jù)燃油噴嘴旋流器的設(shè)計(jì)指標(biāo)，要求槽深d的單次測量極限誤差≤±0.03mm。

2.2 螺旋角α

為了驗(yàn)證本文所提出的燃油噴嘴螺旋槽的精密測量方法以及所設(shè)計(jì)和搭建的測量系統(tǒng)的各項(xiàng)功能，選取了某型航空發(fā)動(dòng)機(jī)的燃油噴嘴樣件作為被測物，測量系統(tǒng)和測量過程如圖7所示。在測量開始前，通過標(biāo)定獲取回轉(zhuǎn)軸A在由測量系統(tǒng)的X、Y和Z軸構(gòu)成的空間直角坐標(biāo)系中的位置，然后將用于裝夾燃油噴嘴的專用夾具安裝在測量系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)軸A上，并借助于千分表或者電感測微儀等對專用夾具的位置進(jìn)行調(diào)整與找正。

圖2 螺旋槽的展開示意圖Fig.2 Schematic diagram of the swirl slot

設(shè)兩個(gè)平行截面與兩條槽頂螺旋線的交點(diǎn)分別為A、B和C、D，然后過D點(diǎn)作線段DE，使其垂直于AB，則DE=H。設(shè)展開前的圓弧AE所對應(yīng)的圓心角為γ(單位：rad)，則圓弧AE的長度為

術(shù)中導(dǎo)絲斷裂，無不良并發(fā)癥時(shí)不建議刻意取出，一般對愈后無明顯影響。血管損傷若為導(dǎo)絲所致，可抗休克同時(shí)密切觀察，暫停手術(shù)操作，待病情穩(wěn)定后進(jìn)行CT造影確定損傷部位及大?。蝗魹槁葆斔?，建議輸血同時(shí)立即進(jìn)行前路手術(shù)翻修［20］。術(shù)中硬膜損傷時(shí)應(yīng)調(diào)整釘?shù)篮笾匦轮萌肼葆敚话隳軌蚍舛?，術(shù)后注意觀察傷口及顱內(nèi)壓變化。

韓國在2004年就先于發(fā)起了U-City計(jì)劃，希望能通過普及化的信息通信技術(shù)提高城市的綜合競爭力。并于2011年6月以首都首爾為試點(diǎn)，發(fā)起“智慧首爾2015”計(jì)劃，通過持續(xù)的發(fā)展投入在“2016智慧城市博覽會(huì)（Smart City Expo World Congress）”獲得了“全球智慧城市獎(jiǎng)”城市領(lǐng)域大獎(jiǎng)。

在直角ΔADE中，直角邊AE的長度與圓弧AE相同，則螺旋角α為

鹽城地區(qū)年平均日太陽輻照量達(dá)13 582kJ/m2，全年大部分時(shí)間太陽光照充分，6層商業(yè)裙房屋頂面積大，除放置機(jī)電各專業(yè)機(jī)房及設(shè)備，太陽能集熱板布置條件好。

2.3 槽寬w

如圖2所示，槽寬w可以表示為螺旋槽的兩條槽頂螺旋線之間的距離，即DF。在計(jì)算與求解過程中，圓弧CD位于半徑為R的槽頂圓周上，設(shè)其在槽頂圓柱面展開之前所對應(yīng)的圓心角為 θ(單位：rad)，因而圓弧CD的長度可以表示為

傳感器是整個(gè)測量系統(tǒng)的核心部件，主要用于工件坐標(biāo)系的建立與整個(gè)測量過程的實(shí)現(xiàn)。為了快速而精確地采集螺旋槽特征的形貌數(shù)據(jù)，本文選用了以色列OPTIMET公司的ConoProbe系列錐光偏振全息激光測頭作為測量系統(tǒng)的前端傳感器，如圖6所示。

根據(jù)燃油噴嘴旋流器的設(shè)計(jì)指標(biāo)，要求槽寬w的單次測量極限誤差≤±0.03mm。

3 系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與搭建

3.1 總體機(jī)械結(jié)構(gòu)

根據(jù)以上提出的螺旋槽特征的測量與解算方法，本文基于多軸運(yùn)動(dòng)機(jī)構(gòu)和光學(xué)測頭等，設(shè)計(jì)并搭建了模塊化的燃油噴嘴螺旋槽精密測量系統(tǒng)。如圖3所示，該測量系統(tǒng)的總體布局為立柱移動(dòng)型的三坐標(biāo)測量機(jī)結(jié)構(gòu)，主要由基座、直線運(yùn)動(dòng)軸、回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸和光學(xué)掃描測頭等模塊組成。其中，基座采用具有變形小、不生銹和穩(wěn)定性好等優(yōu)點(diǎn)的泰山青花崗石材料制成，用以作為整個(gè)測量系統(tǒng)的承載部件；直線運(yùn)動(dòng)軸和回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸用于實(shí)現(xiàn)預(yù)定的測量軌跡；而光學(xué)掃描測頭則用于測量數(shù)據(jù)的采集。

測量系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)模塊由三個(gè)直線運(yùn)動(dòng)軸X、Y、Z和一個(gè)回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸A構(gòu)成。其中，X、Y和Z軸集成在一起，而A軸單獨(dú)布置，因而被測的燃油噴嘴零件可以通過專用夾具裝夾在A軸上。為了保證系統(tǒng)的運(yùn)動(dòng)精度和平穩(wěn)性，X軸和A軸的運(yùn)動(dòng)模塊均直接安裝到基座上，并且將X軸運(yùn)動(dòng)模塊設(shè)計(jì)為寬臺(tái)面的結(jié)構(gòu)形式，然后再將Y軸運(yùn)動(dòng)模塊安裝到X軸托板上。而Z軸運(yùn)動(dòng)模塊則先安裝在花崗石立柱上，而后再整體安裝到Y(jié)軸托板上。最后，將光學(xué)測頭支架安裝在Z軸運(yùn)動(dòng)模塊的托板上。

圖3 測量系統(tǒng)的總體機(jī)械結(jié)構(gòu)Fig.3 Mechanical structure of the measuring system

在直線運(yùn)動(dòng)模塊中，X、Y和Z軸均采用了“伺服電機(jī)+滾珠絲杠”的傳動(dòng)形式，并且配置了奧地利RSF Elektronik公司的MS 30.83 MA型單場掃描場敞開式的直線光柵尺。該型光柵尺的信號質(zhì)量對時(shí)間和溫度不敏感，并且支持高速運(yùn)動(dòng)，經(jīng)過50倍細(xì)分后的分辨率可以達(dá)到0.1μm，從而確保了X、Y和Z三個(gè)直線運(yùn)動(dòng)軸能夠?qū)崿F(xiàn)精確的位置閉環(huán)控制。同時(shí)，為了平衡Z軸負(fù)載的重量以便于通過控制獲得較高的定位精度，本文對Z軸做了配重設(shè)計(jì)，根據(jù)實(shí)際測量值選用了恒力彈簧(2×3kg)的配重形式，以使Z軸托板在上升和下降過程中的負(fù)載是均衡的。相對于配重塊，恒力彈簧的慣性較小，因而會(huì)相應(yīng)地減小伺服電機(jī)的輸入慣量，從而使測量系統(tǒng)的Z軸可以更快地到達(dá)預(yù)定位置，有效提高了系統(tǒng)的運(yùn)行效率。

隨著環(huán)保要求的日益提高，當(dāng)前涂料行業(yè)需要從兩個(gè)方面防治VOCs：第一要大力發(fā)展水性涂料，并且在涂料生產(chǎn)中采用先進(jìn)的密閉設(shè)備和工藝，從源頭上減少VOCs的產(chǎn)生；第二要不斷進(jìn)行技術(shù)研發(fā)，積極研究如何降低VOCs的凈化成本并且提高凈化效率，從而能夠切實(shí)地減少環(huán)境污染，為人民身體健康和國家環(huán)境保護(hù)作出積極貢獻(xiàn)。

在回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)模塊中，采用了日本Yaskawa公司的SGMCS型直接驅(qū)動(dòng)伺服電機(jī)作為系統(tǒng)的回轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)軸，該型電機(jī)可以在不帶減速器的狀態(tài)下直接驅(qū)動(dòng)負(fù)載，額定轉(zhuǎn)矩為4.0N·m，并且內(nèi)置了20位的高分辨率編碼器，轉(zhuǎn)角定位精度可以達(dá)到1″，因而可以將被測零件精確定位到所需的角度位置。為了進(jìn)一步降低系統(tǒng)誤差，還需要通過機(jī)械調(diào)整與找正以使A軸的回轉(zhuǎn)軸線與Z軸的運(yùn)動(dòng)方向平行。

3.2 電氣控制模塊

為了使所搭建的燃油噴嘴螺旋槽精密測量系統(tǒng)的配置、運(yùn)動(dòng)和操作等更具快速性、靈活性和實(shí)時(shí)性特點(diǎn)，本文采用了二級位置閉環(huán)的數(shù)字復(fù)合控制架構(gòu)形式，由上位機(jī)與下位機(jī)組成主從控制方式，其技術(shù)方案如圖4所示。

圖4 基于PMAC的多軸運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)Fig.4 Multi-axis motion control system based on PMAC

該光學(xué)測頭的測量精度可以達(dá)到亞微米級，激光光斑的直徑小至6μm，重復(fù)測量精度小于0.2μm(1σ)，魯棒測量頻率最高可達(dá)3000Hz，并且可以進(jìn)行大角度測量，其最大可測角度范圍為空間170°(±85°)。同時(shí)，其發(fā)射光束與接收光束是共線的，因而尤其適用于深徑比達(dá)1∶10的孔和槽等深凹特征的檢測。因此，應(yīng)用該傳感器可以最大程度地真實(shí)還原出被測燃油噴嘴表面的微小細(xì)節(jié)。

圖5 專用上位機(jī)軟件Fig.5 Special measuring software

3.3 傳感器模塊

在直角ΔCDF中，∠DCF=α，而斜邊CD的長度與圓弧CD相同，則槽寬w為

圖7 實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場Fig.7 Experimental scene

在圖4中，為了加快數(shù)據(jù)的處理速度，上位機(jī)與下位機(jī)之間采用工業(yè)以太網(wǎng)進(jìn)行通訊。上位機(jī)為主流工控機(jī)，主要用于運(yùn)行測量軟件、人機(jī)交互、發(fā)布各項(xiàng)控制指令、監(jiān)控各軸的運(yùn)動(dòng)狀態(tài)以及接收和處理反饋信號等，同時(shí)也配備了基于噴嘴CAD模型的專用上位機(jī)軟件，如圖5所示；下位機(jī)為專用運(yùn)動(dòng)控制器，其核心為可編程的多軸運(yùn)動(dòng)控制器，主要用于接收上位機(jī)發(fā)出的運(yùn)動(dòng)指令并進(jìn)行實(shí)時(shí)控制與插補(bǔ)運(yùn)算，同時(shí)也對各軸的角擺誤差、直線度誤差、垂直度誤差等進(jìn)行補(bǔ)償，以實(shí)現(xiàn)精確的伺服運(yùn)動(dòng)控制，使經(jīng)過誤差補(bǔ)償后的四軸運(yùn)動(dòng)模塊的空間定位精度達(dá)到了5.0μm。

4 實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證

選取兩個(gè)與燃油噴嘴中心軸線垂直且相互距離為H的平行截面，并與槽頂圓柱面相交。為了便于觀察和顯示，將槽頂圓柱面繞中心軸線展開在平面上，如圖2所示，則其螺旋角α即為槽頂螺旋線的螺旋升角。

在測量過程中，首先，根據(jù)回轉(zhuǎn)軸A的位置標(biāo)定結(jié)果，通過上位機(jī)程序控制測量系統(tǒng)的X、Y和Z軸帶動(dòng)光學(xué)測頭運(yùn)動(dòng)，使其測量光束與噴嘴零件的中心軸線垂直相交。然后，按照規(guī)劃好的測量軌跡開始測量并進(jìn)行實(shí)測點(diǎn)云數(shù)據(jù)的采集和傳輸，再利用上位機(jī)軟件中的最小二乘擬合功能模塊計(jì)算出所需要的R、r、H、γ和 θ等參數(shù)。最后，根據(jù)式(1)～(5)即可解算得到被測螺旋槽的槽深d、螺旋角α和槽寬w的數(shù)值。

1260型HPLC儀，包括四元泵、二極管陣列檢測器、在線脫氣裝置、自動(dòng)進(jìn)樣器、Openl AB色譜工作站（美國安捷倫公司）；CP225D型電子天平、BSA224S-CW型電子天平（德國賽多利斯公司）。

如圖8所示為測量過程中，測量系統(tǒng)采集到的該燃油噴嘴樣件的螺旋槽在相距為0.5mm的兩個(gè)平行截面上的槽頂圓周的三維點(diǎn)云數(shù)據(jù)，對其進(jìn)行最小二乘圓周擬合即可得到槽頂圓周半徑R的測量結(jié)果，而r、H、γ和θ等參數(shù)的獲取過程與此類似。在實(shí)驗(yàn)過程中，本文對沿周向均勻分布于該燃油噴嘴上的6個(gè)螺旋槽的槽深d、螺旋角α和槽寬w依次進(jìn)行了10次等精度重復(fù)測量，如圖9所示為其中的一個(gè)螺旋槽特征的測量結(jié)果。

健脾化濕清熱通絡(luò)藥對活動(dòng)期強(qiáng)直性脊柱炎患者血小板參數(shù)影響的數(shù)據(jù)挖掘……………………… 方妍妍 劉健 萬磊 等（2）210

圖8 槽頂圓周的三維點(diǎn)云Fig.8 3D Point cloud of the circumference of slot top

對圖9中所示的測量結(jié)果進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與誤差分析，可以進(jìn)一步得出：對于該螺旋槽來說，槽深d的平均值為1.210mm，標(biāo)準(zhǔn)差為0.003mm，單次測量的極限誤差為±0.009mm；螺旋角α的平均值為30.98°，標(biāo)準(zhǔn)差為0.11°，單次測量的極限誤差為±0.33°；槽寬w的平均值為1.716mm，標(biāo)準(zhǔn)差為0.008mm，單次測量的極限誤差為±0.024mm。根據(jù)此類燃油噴嘴組件的精度指標(biāo)要求，該系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)既定的測量任務(wù)，并且測量精度可以滿足生產(chǎn)現(xiàn)場的使用需求。

財(cái)政、稅務(wù)等部門依法行使監(jiān)督職能，還可以《會(huì)計(jì)法》為依托，創(chuàng)立經(jīng)濟(jì)聯(lián)合執(zhí)法體系，建立以檢查和處罰的聯(lián)動(dòng)機(jī)制和規(guī)范的信息共享制度為基礎(chǔ)的統(tǒng)一的綜合報(bào)告平臺(tái)以及企業(yè)和會(huì)計(jì)人員誠信系統(tǒng)，接受社會(huì)的監(jiān)督。同時(shí)，每6個(gè)月對會(huì)計(jì)單位的信息質(zhì)量聯(lián)合審核一次，杜絕違法造假的通道，加大對企業(yè)會(huì)計(jì)違法行為的查辦力度，并依法追究違法者的法律責(zé)任。

研究結(jié)果表明，以小檗堿和生物總堿為指標(biāo)，興隆小檗藥材質(zhì)量最好，其次是野雞河，再次是足納。小壩產(chǎn)小檗藥材無論是根、根皮及莖皮，小檗堿和生物總堿的含量均最低，具體原因尚需進(jìn)一步研究。小檗藥材在畢節(jié)市分布廣，數(shù)量大，具有很高的開發(fā)利用價(jià)值。興隆是小檗栽培的最適宜種植區(qū)，小壩不適合小檗的栽培。

圖9 測量結(jié)果Fig.9 Measuring results

5 結(jié)束語

本文提出了燃油噴嘴螺旋槽的槽深、螺旋角和槽寬的測量與解算方法，并采用了光學(xué)掃描測量技術(shù)與四軸聯(lián)動(dòng)技術(shù)相結(jié)合的方式以應(yīng)對這些幾何參數(shù)的快速、精確檢測。所設(shè)計(jì)和搭建的燃油噴嘴螺旋槽精密測量系統(tǒng)，由四軸運(yùn)動(dòng)模塊、錐光偏振全息激光測頭、多軸運(yùn)動(dòng)控制器和專用夾具等部分構(gòu)成，并且具有四軸聯(lián)動(dòng)測量功能。通過對某個(gè)燃油噴嘴樣件的螺旋槽特征進(jìn)行多次重復(fù)測量實(shí)驗(yàn)，并解算得到槽深、螺旋角和槽寬的幾何尺寸，所得實(shí)驗(yàn)結(jié)果能夠滿足此類噴嘴零件的檢測需求，因而可以作為一項(xiàng)燃油噴嘴結(jié)構(gòu)尺寸的檢測方案。