竇義坤，方 芳，江昌俊

（合肥鑫晟光電科技有限公司，安徽合肥 230012）

0 引言

本研究基于液晶面板制造設備信息數(shù)據(jù)庫，建立知識庫，收集故障經(jīng)驗，加快推理機制，盡快在知識庫中找到相關規(guī)則，最后完成液晶面板生產(chǎn)設備的故障診斷。此外，專家系統(tǒng)在該領域擁有深厚的產(chǎn)品積累，對設備故障的診斷規(guī)則，以常用方法進行有效表達。其中，故障診斷規(guī)則是對液晶面板生產(chǎn)設備故障進行診斷的一種系統(tǒng)方法，其內(nèi)容應用神經(jīng)網(wǎng)絡、傳感技術方面的知識，表示自然簡單，易于推理，邏輯清晰。故障診斷和處理系統(tǒng)的設備是處理具有隨機性和突發(fā)性，通過使用生產(chǎn)規(guī)則來描述系統(tǒng)對象的狀態(tài)關系，可以描述設備故障診斷的原因和結(jié)果，在過程中間優(yōu)化實驗知識，保證診斷過程中的產(chǎn)品設備得到有效運行，使其成為關鍵突破點，快速解決故障并恢復生產(chǎn)，提高液晶面板設備的故障檢測效率。

1 液晶面板生產(chǎn)設備概況

（1）液晶面板生產(chǎn)設備投資量大，涉及廠商眾多，設備分類極為細化，機構(gòu)復雜，需要專業(yè)的設備管理人員進行管理和運營。普通的TFT-LCD（Thin film transistor-liquid crystal display，薄膜晶體管液晶顯示器），工廠按照工藝分段主要有Array、CF、CELL 和Module 工廠。其中，Array 為陣列，其分廠主要完成TFT（薄膜晶體管）陣列各層的曝光、顯影、刻蝕、剝離，CF 分廠主要完成彩膜的制作，CELL 為單元的含義，其分廠主要是完成TFT基板和CF 基板的對合，Module 為模塊的含義，其分廠主要是完成切割后的Panel Bonding（板鍵合）等整機組裝。

（2）從設備主要分類來看，主要有工藝設備和傳送設備?；镜耐ㄐ啪W(wǎng)絡骨架為設備-CIM（Computer Integrated Manu-facturing，計算機集成制造）PC EIS（Equipment Interface System）MES-（Manufacturing Execution System，制造企業(yè)生產(chǎn)過程執(zhí)行系統(tǒng)）-MDW（Manufacturing Data Warehouse）。其中PC 指personal computer，即個人電腦。

（3）MDW 系統(tǒng)的龐大數(shù)據(jù)根據(jù)不同的需求可以做成不同的辦公軟件，以實現(xiàn)在辦公室就可以監(jiān)控潔凈間內(nèi)生產(chǎn)狀況。例如，設備狀態(tài)監(jiān)控，可在辦公室看到設備是否正常運轉(zhuǎn)；可以對生產(chǎn)中的數(shù)據(jù)進行篩選和輸出，得到產(chǎn)能數(shù)據(jù)；可以實現(xiàn)從線外對線內(nèi)設備的遠程操作，避免人員直接暴露在有害輻射中等；可以看到設備的溫度、壓力、水流量等技術參數(shù)，便于判斷設備本身的參數(shù)穩(wěn)定性。

（4）除去設備和工藝的參數(shù)，對于設備本身零部件的壽命判斷、問題診斷、疑難報警分析，還沒有系統(tǒng)的處理方法。但是現(xiàn)場作業(yè)人員早已經(jīng)積累了足夠的處理問題履歷，設備零部件也已經(jīng)有了成熟的壽命管理規(guī)則，報警內(nèi)容和零部件問題的對應也得到了一定程度的積累。這時候通過大數(shù)據(jù)和設備軟件相結(jié)合，理論上可以實現(xiàn)對液晶面板設備故障的診斷。

2 液晶面板生產(chǎn)設備故障診斷

某機電設備的電氣系統(tǒng)荷載運行的壓力過大，使得機電設備的運載負擔也越來越大，故障率明顯上升，給供電運行的安全性和穩(wěn)定性帶來影響。對此，可應用一種新型遠程監(jiān)控的診斷手段來呈現(xiàn)。遠程視頻監(jiān)控系統(tǒng)能夠通過標準電話線，網(wǎng)絡，移動寬帶和ISDN 數(shù)據(jù)線或直接連接到達世界任何角落，并可控制云臺、存儲和存儲視頻監(jiān)控圖像。遠程傳輸監(jiān)控系統(tǒng)通過普通電話線將遠程活動場景傳輸?shù)接^眾的計算機屏幕，并具有在觸發(fā)報警時將報警撥號到接收端的功能。該系統(tǒng)由兩部分組成：“監(jiān)控”主機和接收軟件。用戶提供的設備包括相機，普通PC 和寬帶線。滾珠絲杠所產(chǎn)生故障是多種多樣的，沒有固定的模式，有的故障是漸發(fā)性故障，均有一個發(fā)展的過程，隨著使用時間的增加越來越嚴重；有時是突發(fā)性故障，一般沒有明顯的征兆，而突然發(fā)生，這種故障是各種不利因素及外界共同作用而產(chǎn)生的。所以通過正確的檢測來確定真正的故障原因，是快速準確維修的前提。此外，滾珠絲杠螺母副及支撐系統(tǒng)間隙的檢測與修理，當數(shù)控機床出現(xiàn)反向誤差大，定位精度不穩(wěn)定，過象限出現(xiàn)刀痕時，首先要檢測絲杠系統(tǒng)有沒有間隙，檢測方法有：用百分表配合鋼球放在絲杠的一端中心孔中，測量絲杠的軸向竄動，另一塊百分表測量工作臺移動。正反轉(zhuǎn)動絲杠，觀察2 塊百分表上反映的數(shù)值，根據(jù)數(shù)值不同的變化確認故障部位。

3 液晶面板生產(chǎn)設備故障檢測方法

3.1 應用現(xiàn)場和遠程監(jiān)控相結(jié)合的方法

（1）根據(jù)液晶機械中電源設備故障，可應用現(xiàn)場和遠程監(jiān)控相結(jié)合的方法，通過通信技術實現(xiàn)面板設備故障部分的智能識別、問題定位等。為了規(guī)范液晶面板設備故障管理，提高管理效率，減少事故，電子視頻監(jiān)控系統(tǒng)應用于液晶面板設備故障。在監(jiān)控系統(tǒng)下，機電工程師能夠以直觀地形式，對應用現(xiàn)場的面板設備，達到有效了解和掌握，并通過對項目液晶面板設備故障關鍵環(huán)節(jié)和關鍵部位的監(jiān)控，施工液晶面板設備故障的質(zhì)量和施工期間的施工質(zhì)量，已經(jīng)達到了監(jiān)督的作用。液晶面板設備故障遠程無線監(jiān)控管理系統(tǒng)由圖像采集終端系統(tǒng)，能夠滿足管理人員對每個監(jiān)控現(xiàn)場的現(xiàn)場進行控制和管理的需要。從而更全面、科學的施工管理。作為核心設備，無線視頻終端負責通過壓縮和解碼將攝像機捕獲的每個監(jiān)測點的視頻圖像傳輸?shù)奖O(jiān)控中心，然后采用視頻壓縮算法，因為壓縮算法具有小的傳輸流和高圖像清晰度。可以根據(jù)用戶的實際情況調(diào)整視頻文件的大小，可對系統(tǒng)故障進行精確判定。

（2）在施工過程中，液晶面板生產(chǎn)設備的監(jiān)控參數(shù)多、設備種類多、潔凈間稼動率要求高，對此更需要設備故障診斷系統(tǒng)。液晶面板設備故障監(jiān)控系統(tǒng)應用可以有效地可視化項目，不僅可以直觀地了解現(xiàn)場施工管理過程中的情況。還可以將視頻管理元素集成到現(xiàn)有管理系統(tǒng)中以實現(xiàn)動態(tài)管理機制。通過監(jiān)控系統(tǒng)，監(jiān)控人員可以實時直接監(jiān)控液晶面板設備故障，不僅可以直觀地監(jiān)控和記錄液晶面板設備故障的施工進度，施工質(zhì)量和安全生產(chǎn)情況，還可以及早發(fā)現(xiàn)和早期預防施工質(zhì)量和安全事故。此外，各級管理人員隨時可以在網(wǎng)絡中看到現(xiàn)場的建設和施工，掌握項目的建設進度，實現(xiàn)遠程協(xié)調(diào)和指導。在此遠程監(jiān)控中，增加了項目液晶面板設備故障管理系統(tǒng)的安全支持能力，使新的視頻監(jiān)控管理系統(tǒng)具有更強的管理能力。

3.2 建立完整的故障診斷專家系統(tǒng)

（1）對于液晶機械中電源設備故障問題，應建立一個完整的故障診斷專家系統(tǒng)，保證機電工程師具有專業(yè)的技能知識，促使液晶面板設備故障得到有效解決。專家系統(tǒng)，包含不同專家領域的知識內(nèi)容，其覆蓋豐富的知識系統(tǒng)和前人留下的寶貴經(jīng)驗，屬于一種智能性程序化的系統(tǒng)。機電工程師可以利用這些專家的知識和經(jīng)驗來解決該領域的難題。從信號測量，狀態(tài)分析，決策制定到干預實施，都需要體現(xiàn)出機電工程師的專業(yè)性，這有利于液晶機械中電源設備故障的有效診斷。因此，這個專家系統(tǒng)應具有的基本功能包括：故障檢測和危險警告功能；故障診斷和潛在故障分析功能；錯誤決策和必要的操作建議；吸收、更新和做出明智的決策信息，以及及時制定新規(guī)則的自學功能。

（2）對于機電工程師的專業(yè)性，其本身應具有高層次知識系統(tǒng)，以便對液晶面板設備中的每個故障問題都有所掌握，并對故障進行有效診斷。知識庫產(chǎn)生了現(xiàn)場專家在判斷故障方面的知識和經(jīng)驗構(gòu)建規(guī)則，推理基于實時數(shù)據(jù)庫中的知識，進行邏輯推理和結(jié)論，由數(shù)據(jù)庫用于存儲。每個設備狀態(tài)和故障信息由數(shù)據(jù)庫軟件和硬件服務器和存儲器組成；知識獲取分為動機和主動學習，設備的第一階段根據(jù)故障診斷和自學習，人機交互界面被鎖入和退出系統(tǒng)。大量的生產(chǎn)設備將用于生產(chǎn)液晶面板，許多設備根據(jù)其功能和結(jié)構(gòu)被分成不同的類別，例如，涂層，曝光等。根據(jù)設備的組件和組成，使用分層描述和規(guī)則描述方法，設計知識規(guī)則。此外，液晶面板生產(chǎn)設備故障診斷可通過監(jiān)控參數(shù)異常或者趨勢圖分析，判斷設備是否有異常，從而優(yōu)化PM 周期，減少宕機概率。

4 結(jié)論

對于液晶面板生產(chǎn)設備故障的診斷研究，首先應用現(xiàn)場和遠程監(jiān)控相結(jié)合的方法，對故障進行精確判斷；其次建立完整的故障診斷專家系統(tǒng)，保證機電工程師具有專業(yè)的技能知識，促使液晶面板設備故障得到有效解決。在過程中間要不斷優(yōu)化實驗知識，快速解決故障并恢復生產(chǎn)。故障診斷和處理系統(tǒng)的設備是處理具有隨機性和突發(fā)性的多種復雜故障設計一個實時、智能的知識系統(tǒng)，由知識庫、服務器、實時數(shù)據(jù)庫和知識獲取組成。對此，液晶面板設備管理部門應是改進和概括領域?qū)＜姨峁┑闹R以形成規(guī)則庫，然后通過障礙特征描述符合規(guī)則以完成故障診斷。