申請(qǐng)?zhí)? 201720038083.2

【公開號(hào)】CN206540633U

【公開日】2017.10.03

【分類號(hào)】G01J9/02

【申請(qǐng)日】2017.01.13

【申請(qǐng)人】杭州晶耐科光電技術(shù)有限公司

【發(fā)明人】曹頻

【摘 要】本實(shí)用新型公開了一種基于隨機(jī)編碼混合光柵的可變剪切率的波前傳感器。本實(shí)用新型包括由振幅光柵和相位光柵所組成的隨機(jī)編碼混合光柵，CCD及機(jī)械調(diào)節(jié)裝置。待測(cè)波前經(jīng)光柵后衍射產(chǎn)生四個(gè)子波，產(chǎn)生的四波前干涉圖由CCD接收。技術(shù)特點(diǎn)是實(shí)現(xiàn)了剪切率隨光柵與CCD之間距離改變而連續(xù)變化，使波前傳感器通用性更強(qiáng)。橫向剪切干涉中，剪切率選取小檢測(cè)精度高，但靈敏度低，剪切率過大則精度下降，因此在檢測(cè)中實(shí)現(xiàn)任意剪切率選擇具有重要意義。本實(shí)用新型基于共路橫向剪切干涉原理，無額外參考光路，抗干擾能力強(qiáng)，抗震性好，穩(wěn)定性高，能在一般的環(huán)境中實(shí)現(xiàn)高精度檢測(cè)。