申請?zhí)? 201710032686.6

【公開號】CN106698323A

【公開日】2017.05.24

【分類號】B81B7/02; B81C1/00; H01L31/0203; H01L31/09【申請日】2017.01.16

【申請人】北京芯創(chuàng)睿勝科技有限公司

【發(fā)明人】趙柱;毛海央

【摘 要】本發(fā)明涉及一種紅外吸收結(jié)構(gòu)及集成方法，尤其是一種基于燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)的紅外吸收結(jié)構(gòu)及其與紅外傳感器件的集成方法，屬于紅外傳感探測的技術(shù)領(lǐng)域。紅外吸收結(jié)構(gòu)，包括襯底以及設(shè)置于襯底上的燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)層。本發(fā)明利用燭灰納米顆粒結(jié)構(gòu)層能實現(xiàn)對紅外輻射的有效吸收，能在較寬的紅外波段內(nèi)具有較高的吸收效率，制備方法簡單，兼容性以及可控性好，在與紅外傳感器裸芯片集成后，能提高紅外探測的精度，集成方法簡單，適用范圍廣，安全可靠。