李 棟， 吳校生

(上海交通大學 電子信息與電氣工程學院 微納電子學系，上海 200240)

研究與探討

金屬多環(huán)振動盤MEMS微陀螺及其微加工工藝*

李 棟， 吳校生

(上海交通大學電子信息與電氣工程學院微納電子學系，上海200240)

基于硅基振動盤微陀螺采用金屬材料作為振子，提出了一種金屬結構多環(huán)振動盤MEMS微陀螺，通過使用電鍍工藝，實現(xiàn)了金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺的低成本低溫加工方法。通過研究振動盤式微陀螺的工作原理及檢測和驅動方法，設計了多環(huán)振動盤微陀螺的結構。使用有限元方法對陀螺金屬振子進行了動力學仿真，驗證了金屬結構多環(huán)振動盤陀螺的可行性，并對微陀螺的加工工藝流程進行了微加工制作，獲得了微陀螺芯片。研究解決了實現(xiàn)金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺的關鍵技術。

金屬振子； 多環(huán)結構； 科式效應； 微陀螺； 動力學仿真； 微加工工藝

0 引 言

本文研究了一種金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺，采用電鍍鎳結構材料和犧牲層材料獲得。鎳金屬具有較大的密度(為硅的3.87倍)，有利于提高科氏力，從而提高微陀螺的性能。同時，采用低成本低溫電鍍制造工藝，結構制作在玻璃基體上，可消除硅基體存在的寄生效應。

1 微陀螺結構及工作原理

1.1 微陀螺結構

金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺內(nèi)部俯視簡圖如圖1所示。主要由振子、支撐、檢測電極和驅動電極組成。振子由多個同心金屬圓環(huán)及相鄰圓環(huán)之間連接的輻條組成，振子通過最內(nèi)圈的輻條與支撐形成固定連接[1]。驅動電極位于多環(huán)振子結構的內(nèi)圈，檢測電極位于振子結構外圈，該陀螺共有四圈電極，每圈有8對電極對，外圈電極用于檢測振動信號，記為檢測電極；內(nèi)圈電極用于驅動陀螺，記為驅動電極。圖1中以極坐標角度θ表示電極軸上的電極，如電極對S1為0°電極，同時，檢測電極以S，驅動電極以D，加以描述。支撐為振子與基座的連接處，通過互聯(lián)層引出引腳，可以施加偏置電壓。

圖1 多環(huán)振動盤微陀螺內(nèi)部俯視圖

金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺器件剖面圖如圖2所示。微陀螺依托于基片，金屬振子的支撐部分直接鍵合在基片上，并且通過互聯(lián)層將信號引出到外圍的焊點；密封蓋連接在基片上，在密封蓋的中心位置制作有吸氣部件。

圖2 多環(huán)振動盤微陀螺剖面圖

1.2 微陀螺工作機理

金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺是一種振動式陀螺，基于科式效應工作。如圖3所示，振子在共振頻率下呈酒杯型四波腹振型，即振動模態(tài)一[2]。此時波幅軸(形變最大處所在軸)位于0°處，當振子在面外方向上發(fā)生大小為α的旋轉量時，陀螺產(chǎn)生感應振動，振子的整體振動是振動模態(tài)一和感應振動的疊加，表現(xiàn)為波幅軸向旋轉方向發(fā)生大小為β的轉動，由于科式效應，α與β存在一個駐波進動角θ，α與θ存在關系

α=Kθ

(1)

式中α為輸入的旋轉量;θ為陀螺駐波進動角;K為定值。

圖3所示,多環(huán)振動盤式微陀螺有兩種工作模式：全角模式和力平衡模式。力平衡模式通過閉環(huán)檢測電路和力反饋激勵實現(xiàn)。通過檢測陀螺振子進動情況，向力平衡電極施加一個交變的激勵電壓，抑制陀螺振子因旋轉而產(chǎn)生的進動，該電壓與外部輸入的角速率成正比關系，從而推算出旋轉的角速度。本文采用了力平衡模式。

圖3 多環(huán)振動盤微陀螺工作機理

該多環(huán)振動盤式陀螺主要通過電容檢測的方式檢測振子的振動情況。當陀螺處于某一振動模態(tài)時，振子整體為酒杯型四波腹振動，針對振子上的某個特定質點來說，其振動為徑向往復運動。振子與電極的平行平面形成電容效應，兩者的距離隨著振子的振動而變化，產(chǎn)生電容充放電現(xiàn)象，通過檢測這一現(xiàn)象，計算在該向上陀螺的振動情況，從而檢測陀螺的整個振動。本文，由4個不同模塊組成完整的陀螺測控回路，分別為頻率跟蹤回路、幅值控制回路、正交控制回路和力平衡回路[3]。其中，頻率跟蹤回路和幅值控制回路以電極S1作為輸入信號，通過解調(diào)模塊獲得信號的頻率及幅值，并且兩者的輸出信號施加在驅動電極D1上對陀螺進行激勵；正交控制回路以S1，S2電極作為輸入信號，通過兩路信號的頻率和相位判斷其是否存在正交漂移，并對驅動電極D3，D4施加直流電壓來補償正交漂移；而力平衡回路以S2的檢測信號為輸入信號，判斷陀螺振子的進動情況，并將輸出信號施加在驅動電極D2上，抑制陀螺的進動。

2 微陀螺振動有限元分析

1)對金屬振子進行建模并網(wǎng)格化，在固定位置施加約束，進行模態(tài)分析，觀察其振動模態(tài)，獲得該振子在共振模態(tài)下的共振頻率。

2)建立電極模型，在陀螺振子90°電極D1處及振子的相應位置，施加共振頻率的交變載荷，對該模型進行瞬態(tài)分析，得到結果如圖4所示?？梢钥闯?，陀螺在共振頻率激勵下，呈酒杯型四波腹振動。

圖4 金屬結構多環(huán)圓盤振子諧振分析

取陀螺振子波幅軸上左外側檢測點，即45°檢測電極S2的中點，觀察其在X，Y軸上的位移曲線，如圖5所示。

圖5 金屬振子波幅軸節(jié)點位移曲線

由圖4、圖5可以看出：該節(jié)點在平面趨向于周期性運動，與酒杯型四波腹振動情形相符。由此得知，金屬陀螺振子在共振頻率下呈酒杯型振動。

3 微陀螺加工工藝

金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺的加工流程如圖6所示[4～6]。微加工工藝分2個部分，分別為振子及電極的加工和密封蓋的加工與鍵合。

圖6 金屬多環(huán)振動盤陀螺加工工藝

如圖6，振子和電極的加工工藝為步驟A～G。首先，在基片上準備鋪設互聯(lián)層的區(qū)域通過光刻刻蝕凹槽，增加互聯(lián)層在基片上的附著力。A在基片上濺射一層金屬薄膜，作為互聯(lián)層，對其進行光刻圖形化，形成互聯(lián)層；B在互聯(lián)層上濺射一層絕緣層，通過光刻圖形化，開出生長振子及電極的窗口，并打開外部電路與電極及振子的焊點；C在絕緣層上濺射一層金屬種子層薄膜，為后續(xù)電鍍工藝做準備；D在種子層上電鍍一層犧牲層實現(xiàn)金屬振子的二層結構，并考慮金屬振子、電極及密封圈的位置對其進行光刻圖形化；E在犧牲層上旋涂光刻膠，并進行圖形化，然后進行電鍍工藝，制成金屬振子的結構、內(nèi)外圈電極和密封圈(用于密封蓋的鍵合)，完成后進行磨平及去膠工藝；F釋放犧牲層，完成金屬振子的懸空結構；G去除多余的種子層，此時底座的加工工藝完成。

步驟H～J：H在另一基片上通過光刻膠的圖形化，電鍍出與步驟E中所述密封圈對應的結構；I通過微加工方法在密封蓋中央部位制作吸氣部件；J通過金屬鍵合底座和封裝蓋，完成整個微振動陀螺器件的加工[7]。

圖7所示為鎳結構多環(huán)振動盤微陀螺實物。陀螺芯片制作在玻璃基片上，圖中由內(nèi)到外可以看到支撐、振子、互聯(lián)以及焊點。

圖7 鎳結構多環(huán)振動盤陀螺實物

4 結 論

提出了一種鎳結構多環(huán)振動盤微陀螺，建立了微陀螺的結構模型，并采用有限元分析方法對振子的振動力學進行了分析，驗證了陀螺模型有效性。采用低成本低溫電鍍鎳及犧牲層制造工藝，在玻璃基體上制作了陀螺芯片。研究解決了實現(xiàn)金屬結構多環(huán)振動盤微陀螺的關鍵技術。

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Metallicmulti-ringdiscresonatorMEMSmicro-gyroscopeanditsmicromachiningtechnology*

LI Dong, WU Xiao-sheng

(DepartmentofMicro-NanoElectronics,SchoolofElectronicInformationandElectricalEngineering,ShanghaiJiaoTongUniversity,Shanghai200240,China)

Based on silicon-based disc resonator gyroscope,a kind of metallic multi-ring disc resonator gyroscope(MMDRG) is presented,which can be achieved at a lower cost and under lower temperature by using electroplating technology.Through researching on working principle,as well as detecting and driving methods of microgyro,structure of metallic multi-ring DRG is designed.The dynamic simulation is applied on the gyroscope to verify feasibility by using the finite element method.The process flow is designed to achieve the micro gyroscope chip.The research solves the key technology to realize the metallic multi-ring disc resonator gyroscope.

metallic resonator; multi-ring disc resonator; Coriolis effect; micro gyroscopes;dynamic simulation; micromachining process

10.13873/J.1000—9787(2017)12—0007—03

V 241.5

A

1000—9787(2017)12—0007—03

2017—01—16

微米/納米加工技術重點實驗室基金資助項目(9140C790402150C79005)；上海市科委浦江人才計劃項目( 14PJD022)

李 棟(1991- )，男，碩士研究生，主要研究方向為MEMS傳感器。