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        基于液態(tài)金屬的柔性導線的制備方法研究進展

        2017-04-20 09:12:55劉宜偉王永剛李潤偉
        電子元件與材料 2017年4期
        關(guān)鍵詞:流管襯底液態(tài)

        秦 琴,劉宜偉,王永剛,李潤偉

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        基于液態(tài)金屬的柔性導線的制備方法研究進展

        秦 琴1,2,劉宜偉2,王永剛1,李潤偉2

        (1. 寧波大學機械工程與力學學院,浙江寧波 315211;2. 中國科學院寧波材料技術(shù)與工程研究所,浙江寧波 315201)

        柔性導線是柔性電子的重要組成部分,以液態(tài)金屬為導電材料的柔性導線不僅具備高的變形、適形能力,還具備高的電導率(104~105S/cm),而掌握液態(tài)金屬基導線的制備方法是其應用的關(guān)鍵。鑒于此,總結(jié)和分析了近年來基于液態(tài)金屬的柔性導線制備方法的研究進展,介紹了液態(tài)金屬的物理化學特性,重點闡述了液態(tài)金屬柔性導線的制備方法,并對基于液態(tài)金屬柔性導線的現(xiàn)有制備方法的特點以及未來的發(fā)展方向進行了深入分析。

        柔性電子;柔性導線;綜述;液態(tài)金屬;微流管;印刷制備;機械燒結(jié)

        柔性電子器件是以柔性材料為襯底的新型電子器件,具備輕質(zhì)、適形的特性,在諸多方面都具有廣泛的應用前景。因此,柔性電子學發(fā)展迅速,取得了先進的研究成果,例如柔性電路板[1-2]、柔性顯示屏[3-5]、柔性電池[6]、柔性天線[7]、柔性憶阻器[8]以及柔性傳感器[9]等。所有這些柔性電子器件都是由柔性的襯底、電子元件和柔性導線構(gòu)成的,其中,柔性導線是實現(xiàn)電子元件互連的關(guān)鍵,是實現(xiàn)柔性器件功能的前提,其重要性不言而喻,因此,對柔性導線制備和性能的研究顯得尤為重要。

        柔性導線主要由兩部分構(gòu)成:柔性的襯底和柔性的導體。首先,作為導線,柔性導線要具備高的電導率。作為柔性電子的一部分,要求柔性導線在變形條件下仍能可靠工作。因此,柔性導線的制備要求襯底材料具備適宜的柔性和絕緣特性,導體材料具備高的電導率以及能夠與襯底材料相匹配的柔性。

        據(jù)現(xiàn)有文獻報道,目前,柔性電子使用的襯底材料以高分子為主,而使用的導體材料主要包括以下四種:①導電高分子材料(正常使用條件下,電導率≤200 S/cm)[10];②碳基小分子導電材料(CNT,石墨烯等)(<20 S/cm)[11-14];③固體金屬(約105S/cm)[15-16];④液態(tài)金屬(104~105S/cm)[17]。導電高分子材料以及碳基小分子導電材料的電導率低,不適合用作導線的導體材料。固體金屬的電導率很高,也很穩(wěn)定,但是固態(tài)金屬材料因其柔性較差,與柔性襯底材料的結(jié)合性能較差,在變形條件下與柔性襯底材料不能夠很好匹配,容易與襯底發(fā)生層離、斷裂,不是柔性導體的最佳材料選擇。液態(tài)金屬材料,具備高的電導率(104~105S/cm),常溫下為液態(tài),具備流動性?;谝簯B(tài)金屬的柔性導線在變形條件下,液態(tài)金屬能夠與襯底材料的柔性相匹配,其流動性使其不會出現(xiàn)斷裂、斷流的現(xiàn)象,能夠保證柔性導線在變形條件下工作的可靠性。因此,在當前柔性導線所采用的導體材料中,液態(tài)金屬是制備柔性導線的最佳導體材料之一。

        鑒于液態(tài)金屬作為柔性導線導體材料的所具備的優(yōu)良特性,將液態(tài)金屬運用于柔性導線勢在必行。首當其沖,就是如何制備液態(tài)金屬柔性導線。顯然,當前液態(tài)金屬柔性導線研究的核心就是其制備方法的研究。鑒于此,本文綜述液態(tài)金屬的基本性質(zhì),闡明了液態(tài)金屬用于柔性導體的優(yōu)良特性,并基于此,探討了利用液態(tài)金屬制備柔性導線的方法,深入分析了現(xiàn)有的制備方法的優(yōu)勢和不足,提出了未來液態(tài)金屬柔性導線制備需要改進的關(guān)鍵點,對未來液態(tài)金屬柔性導線的應用前景進行了一定的展望。

        1 液態(tài)金屬的基本性質(zhì)

        1.1 定義

        液態(tài)金屬通常是指熔點低于200℃的低熔點合金[18]。最初,液態(tài)金屬因其熱導率遠高于水、空氣以及許多非金屬介質(zhì),不易蒸發(fā),安全無毒,物化性質(zhì)穩(wěn)定,極易回收等優(yōu)良特性,常被用于散熱行業(yè)[19-21]。后來,隨著柔性電子學的迅速發(fā)展,液態(tài)金屬獨特的物理性質(zhì)逐漸受到各界的關(guān)注,開始將其應用于柔性電子器件的研究中。

        并不是所有熔點低于200℃的液態(tài)金屬都可以滿足柔性電子器件的應用需求。實際上,應用于柔性電子器件中的液態(tài)金屬僅僅指那些熔點更低,常溫條件下為液態(tài)的液態(tài)金屬合金。目前,自然界存在的液態(tài)金屬合金有汞、銫、鈁和鎵,熔點分別為–38.87,28.65,27和29.8℃。汞的揮發(fā)性強,毒性大;銫和鈁屬于性質(zhì)活潑的堿金屬,銫在空氣中極易被氧化,和水發(fā)生劇烈反應,鈁則是一種不穩(wěn)定的放射性元素;金屬鎵對人體無害,是一種安全金屬。其他幾種元素及其合金都不適合應用于柔性電子器件。但是,鎵金屬在常溫甚至更低的溫度下,并非為液態(tài)。因此,通常選擇常溫條件下為液態(tài)的鎵基合金作為柔性器件中的導體材料。

        目前,柔性器件中所使用的液態(tài)金屬材料主要包括鎵銦錫合金(GaInSn,其中,Ga、In、Sn的質(zhì)量分數(shù)分別為62.5%,21.5%,16%)、共晶鎵銦合金(EGaIn、Ga、In的質(zhì)量分數(shù)分別是75.5%,24.5%),文章中所提到的液態(tài)金屬特指的就是這種室溫下為液態(tài)的鎵基合金。

        1.2 鎵基合金的主要性質(zhì)

        1.2.1 鎵基合金的物理性質(zhì)和化學性質(zhì)

        表1中列出了鎵及其合金與水對比的物理性質(zhì),可以看出,鎵基液態(tài)金屬的電導率普遍較高,高于104S/cm,熔點普遍低于室溫,最低甚至達到–19℃,粘度低,表面張力0.5~0.7 N/m,比水的表面張力大近一個數(shù)量級,不易在襯底材料上涂覆。

        表1 幾種典型液態(tài)金屬和水的物理性質(zhì)比較[18]

        Tab.1 A comparison of the physical properties between several typical liquid metals and water[18]

        鎵及其合金暴露于空氣中時,極易與空氣反應,在其表面生成鎵的氧化物(氧化膜厚度2~3 nm),生成的氧化物不僅阻止其內(nèi)部進一步氧化[30],還增大了其粘度和表面張力,對其形貌結(jié)構(gòu)的穩(wěn)定有重要作用。圖1是Dickey等[25]等對鎵基液態(tài)金屬表面氧化膜對其形貌結(jié)構(gòu)穩(wěn)定作用的驗證實驗,采用適當?shù)膲毫Ψ謩e將鎵基液態(tài)金屬和汞注入并充滿PDMS微流管后,撤銷壓力,發(fā)現(xiàn)汞會快速從微流管中完全撤出,鎵基液態(tài)金屬卻仍能保持充滿微流管的穩(wěn)定狀態(tài),這兩者行為的差異正是由于鎵基液態(tài)金屬表面存在氧化膜而汞不存在所導致的,進而證明了鎵基液態(tài)金屬氧化膜對其形貌結(jié)構(gòu)具有穩(wěn)定性的作用。這種特性十分有利于接下來提到的微流管注入法制備液態(tài)金屬導線,能夠使得注入微流管中的液態(tài)金屬保持充滿微流管的穩(wěn)定狀態(tài),保證液態(tài)金屬導線的質(zhì)量。

        圖1 EGaIn和Hg在微流管中的粘附行為對比[25]

        1.2.2 鎵基合金與襯底材料的浸潤性

        液態(tài)金屬在不同襯底材料上的浸潤性影響液態(tài)金屬在該襯底材料上的接觸形貌,如果液態(tài)金屬在某種襯底材料上浸潤,在該材料表面液態(tài)金屬容易涂覆和粘附形成導線,反之,則不能夠在襯底材料表面涂覆和粘附,不利于形成穩(wěn)定連續(xù)的液態(tài)金屬導線。

        因此,研究液態(tài)金屬在襯底材料上的浸潤性對于液態(tài)金屬導線的制備具有重大意義。

        影響液態(tài)金屬在襯底材料上的浸潤性的因素很多。當前研究表明,液態(tài)金屬表面氧化物的含量、液態(tài)金屬與襯底材料的反應程度、壓力、電壓、對液態(tài)金屬進行的改性摻雜等都會影響其浸潤性。

        Gao等[31]研究了不同含量的氧化物對液態(tài)金屬浸潤性的影響,研究表明,液態(tài)金屬表面氧化物含量越高,液態(tài)金屬的粘度越大,與襯底材料的浸潤性越好。Kramer等[32]研究了EGaIn、GaInSn在金屬膜上的浸潤性,其中主要研究了在錫膜和不同表面結(jié)構(gòu)的銦膜上的浸潤性情況,實驗結(jié)果表明,襯底材料相同時,液態(tài)金屬在表面粗糙度較大的襯底材料上的浸潤性更大,液態(tài)金屬能夠在銦膜和錫膜上的浸潤是由于液態(tài)金屬合金與銦膜和錫膜發(fā)生反應造成的。Zheng等[33]研究了液態(tài)金屬在不同襯底材料的浸潤性以及施加不同壓力對液態(tài)金屬浸潤性的影響,如圖2,研究表明,液態(tài)金屬在不同襯底材料上的浸潤性是不同的,對液態(tài)金屬施加壓力能夠促進液態(tài)金屬在襯底材料上的浸潤,并且,施加壓力越大,液態(tài)金屬的浸潤性越強。Tsai等[34]、Khan等[35]研究了對液態(tài)金屬施加電壓條件下液態(tài)金屬浸潤性的變化情況,研究表明,在施加電壓小于1V時,施加電壓越大,液態(tài)金屬的浸潤性越好。

        圖2 EGaIn在不同襯底(PVC、不銹鋼、紙)、不同壓力條件下的接觸角(a)及浸潤性(b)的變化情況[33]

        此外,Xiong等[36]、Jeon等[37]研究了磁場對摻雜了Ni納米顆粒的液態(tài)金屬浸潤性的影響,研究表明,在施加磁場的條件下,摻雜了Ni納米顆粒的液態(tài)金屬的浸潤性明顯高于未摻雜Ni納米顆粒的液態(tài)金屬浸潤性。

        2 液態(tài)金屬導線的制備方法

        由于液態(tài)金屬在各種襯底材料上的浸潤性不同,為了在不同的襯底材料上制備出穩(wěn)定連續(xù)的液態(tài)金屬導線,采用的制備方法各不相同??偟膩碚f,可大致歸結(jié)為以下三種方法:微流管注入法、印刷制備法以及液態(tài)金屬微粒機械燒結(jié)法。

        2.1 微流管注入法

        微流管注入法是指在預先制備出的微管道中注入液態(tài)金屬的方法。2008年Dickey等[25]闡明了在一定壓強的條件下,將液態(tài)金屬注入PDMS微流管道,撤銷壓強后,液態(tài)金屬仍能保持充滿微流管道的穩(wěn)定狀態(tài),證明了液態(tài)金屬在微流管中狀態(tài)的穩(wěn)定性,這種特性有利于制備出穩(wěn)定連續(xù)的液態(tài)金屬導線。同時隨著微加工技術(shù)(MEMS)的迅速發(fā)展,在柔性襯底上制備出微流管道,注入液態(tài)金屬,可以獲得尺寸更小的液態(tài)金屬導線,這使得微流管注入法得到更為廣泛的應用。

        微流管注入法制備液態(tài)金屬導線通??梢苑譃閮刹剑旱谝徊?,制備微流管道;第二步,注入液態(tài)金屬。

        目前,制備微流管道的方法主要包括以下兩種方法:采用熔融等加工方法制備中空的管束;Zhu等[17]在2008年采用熔融加工的方法制備了SEBS纖維管,然后在纖維管中注入液態(tài)金屬,制備成了可拉伸8倍的超彈性液態(tài)金屬導線。采用微加工技術(shù),例如光刻等,在襯底材料上刻蝕出微型管道;Jin等[38]在2015年采用光刻的方法在由脂肪族-芳香族無規(guī)共聚酯(Ecoflex)和聚二甲基硅氧烷(PDMS)混合制備成的彈性襯底上制備出“螺旋形”微流管道,然后注入液態(tài)金屬,形成液態(tài)金屬線圈,通過添加其他電子元件進一步制備成具備可拉伸性能的揚聲器,制備的具體過程如圖3。

        圖3 可拉伸液態(tài)金屬揚聲器制備過程[38]

        微流管注入法制備液態(tài)金屬有時亦可一步完成,即同時進行微流管道的制備和液態(tài)金屬的注入工序,Yan等[39]就采用了微流管道制備和液態(tài)金屬的注入同時進行的制備方法來制備液態(tài)金屬導線。

        除此之外,Khan等[35]提出采用電化學方法可以使液態(tài)金屬從微流管道中選擇性或者完全撤出。這個方法的提出不僅可以對制備好的液態(tài)金屬導線線路進行調(diào)整,還可以對閑置或者廢置的液態(tài)金屬導線中的液態(tài)金屬進行回收,實現(xiàn)原材料的最大化利用,降低原材料的損耗。

        總的來說,微流管注入法制備導線是采用壓力注入的方法將液態(tài)金屬注入微流管,在這個過程中,可以克服液態(tài)金屬浸潤性差對導線的制備帶來的不利因素;液態(tài)金屬導線在使用完成后,可通過電化學的方法實現(xiàn)液態(tài)金屬的回收,減少原材料的浪費。

        但是,微流管制備法制備導線也存在一定的不足,首先,一般情況下,制備導線時需要預先制備管道,而采用MEMS加工技術(shù)制備管道,要求在襯底材料上刻蝕出微流管,這對襯底材料的機械性能有一定的削弱,其次,采用此法制備液態(tài)金屬導線不利于實現(xiàn)液態(tài)金屬導線的高效率大規(guī)模制備,因此,液態(tài)金屬導線的制備方法仍需進一步改進。

        2.2 印刷制備法

        當前,國內(nèi)外研究人員不斷探索和嘗試采用新的方法來實現(xiàn)液態(tài)金屬導線的大規(guī)模制備,進而推進柔性電子器件的實際應用。研究發(fā)現(xiàn),采用印刷制備法無疑能夠?qū)崿F(xiàn)液態(tài)金屬導線的高效制備。

        這里提到的印刷制備法是指所有可以通過電腦編程、模具或者其他方法控制導線的路徑,并在襯底材料表面上直接制備出液態(tài)金屬導電線路的制備方法的總和,包括筆寫法[40]、轉(zhuǎn)印法[41]、噴墨法[42-46]以及其他符合條件的制備方法[39]。從印刷制備法的定義中可以看出,采用印刷法制備液態(tài)金屬導線,是在襯底材料表面上直接制備出具有固定路徑的導電線路,不需要預先制備微流管道,不會削弱襯底材料的機械性能,只需按照設(shè)定的程序自動印刷出既定的線路,基于此,液態(tài)金屬導線的制備效率大大提高。正是由于印刷制備法在液態(tài)金屬導電線路制備方面表現(xiàn)出的顯著優(yōu)勢,大量的研究因此展開,其中主要包括筆寫法、噴墨法等。

        筆寫法,如圖4所示,是指將液態(tài)金屬直接作為導電墨水,使用圓珠筆直接在襯底材料上寫出導線的方法。由于液態(tài)金屬在襯底材料表面并不浸潤,需要使用較大的壓力才能書寫出連續(xù)的液態(tài)金屬導線,并且寫出的導線的分辨率較低。為了進一步提高液態(tài)金屬導線的制備效率和導線的分辨率,提出了噴墨打印法。

        圖4 圓珠筆直接書寫液態(tài)金屬導線[40]

        噴墨法是指在計算機等設(shè)備上預先設(shè)定導線的路徑程序,然后運行程序,使載有液態(tài)金屬的噴頭在按固定路徑運行的同時噴射液態(tài)金屬,形成液態(tài)金屬導線,如圖5。噴墨法制備出的液態(tài)金屬導線通常為全自動印刷,制備效率明顯提高,并且可以通過調(diào)整噴頭噴孔的大小來調(diào)整液態(tài)金屬導線的分辨率,但是,同樣受到液態(tài)金屬對襯底材料浸潤性差的影響,采用噴墨法需要配備加壓設(shè)備,在防止液態(tài)金屬堵塞噴頭的同時將液態(tài)金屬墨水順利噴出,增加了設(shè)備的復雜性。此外,還需考慮到在噴射速度較高時,液態(tài)金屬與襯底材料的撞擊導致液態(tài)金屬導線分辨率差的問題[47]。

        圖5 直接書寫液態(tài)導線系統(tǒng)制備液態(tài)金屬導線原理圖[42]

        總的來說,印刷制備法提高了液態(tài)金屬導線的制備效率,但是液態(tài)金屬浸潤性差的問題尚沒有解決,仍然制約著印刷制備法的發(fā)展。因此,在保證高效高質(zhì)制備液態(tài)金屬導線的同時,為克服液態(tài)金屬對襯底材料浸潤性差所帶來的不利影響,印刷制備法仍需不斷改善。

        2.3 液態(tài)金屬微粒機械燒結(jié)法

        本文提到的“機械燒結(jié)法”不同于大家所熟知的傳統(tǒng)燒結(jié)法,是指采用機械的方法,在常溫或者低溫條件下采用機械的方式(壓力等)作用于導電性差或者不導電的材料致使其導電的方法,是Boley等[48]提出的一種制備液態(tài)金屬導線的新方法。該方法不同于微流管注入法和印刷制備法,并未直接使用液態(tài)金屬來制備導線,而是通過間接的方式,將液態(tài)金屬制備成微粒懸濁液,在襯底材料上沉積生成絕緣的液態(tài)金屬薄膜。利用機械燒結(jié)設(shè)備對絕緣的液態(tài)金屬薄膜進行選擇性的燒結(jié),燒結(jié)出液態(tài)金屬導線或者薄膜。如圖6所示,機械燒結(jié)液態(tài)金屬薄膜,即為采用機械的方式對液態(tài)金屬薄膜進行壓縮、刻畫,致使液態(tài)金屬微粒表面氧化膜破裂,釋放出未被氧化的液態(tài)金屬,使液態(tài)金屬顆粒之間連通形成導線,而且,如果選擇合適的燒結(jié)方式,液態(tài)金屬導線的分辨率可達到很高(1mm)。

        (a)??????????????(b)

        相對于傳統(tǒng)的燒結(jié)需要高溫,此方法在常溫或者低溫的條件下就可以實現(xiàn)對液態(tài)金屬微粒的燒結(jié),改善導線導電性,因此,非常適合應用于高溫條件下燒結(jié)易變形的襯底材料。Lin等[49]采用此方法制備了柔性電路板和天線,電路板和天線的導線結(jié)構(gòu)和形狀可以自由設(shè)計,并通過機械燒結(jié)的方式制備。

        總的來說,使用液態(tài)金屬微粒制備液態(tài)金屬導線的方法是一種新的制備方法,在一定程度上改善了液態(tài)金屬對襯底材料普遍浸潤性差的問題,為液態(tài)金屬導線的制備提出了新思路。但是由于導線是微粒在表面氧化膜破裂后形成的導電通路,因此,液態(tài)金屬導線的分辨率在某種程度上取決于液態(tài)金屬微粒的尺寸,此外,液態(tài)金屬薄膜由液態(tài)金屬微粒溶液在襯底表面沉積而成,表面存在大量的裂縫,機械燒結(jié)過程中,會嚴重影響液態(tài)金屬導線的質(zhì)量,因此,液態(tài)金屬微粒燒結(jié)法仍需不斷改進。

        3 結(jié)論

        目前,柔性電子學的研究正處于發(fā)展階段,尚不成熟。液態(tài)金屬作為柔性導體,應用前景廣闊,若基于液態(tài)金屬的柔性導線能夠?qū)崿F(xiàn)大規(guī)模制備,并在柔性電子器件中得到合理的應用,對于促進柔性電子學的發(fā)展具有重大意義。而從當前對液態(tài)金屬在柔性導線當中的應用來看,據(jù)現(xiàn)有方法,液態(tài)金屬柔性導線的制備已然能夠初步實現(xiàn)高效制備,但是其制備方法仍然存在以下問題需要改進:

        液態(tài)金屬對襯底材料的浸潤性是制備高質(zhì)量高分辨率導線的關(guān)鍵因素,目前人們已提出多種方法來改善,諸如氧化、壓力、電壓、磁性粒子改性等方法,但是并不能從根本上解決液態(tài)金屬的浸潤性問題,因此,如何提高液態(tài)金屬對襯底材料的浸潤性,實現(xiàn)液態(tài)金屬對各種襯底材料的浸潤、涂覆仍是亟待解決的難題。

        微粒燒結(jié)法在一定程度上克服了液態(tài)金屬浸潤性差的問題,并可以通過控制微粒的尺寸來達到控制液態(tài)金屬導線的分辨率的目的,得到分辨率較高的導線,但是如何減少液態(tài)金屬薄膜的表面裂紋,改善薄膜的均勻性,提高液態(tài)金屬導線的質(zhì)量,是微粒機械燒結(jié)法目前需要改進的重要方面。

        將高分辨率的液態(tài)金屬導線與功能性器件結(jié)合形成微型化、集成化的功能性電路,是液態(tài)金屬導線在柔性電子學中的主要應用形式,對于更輕、更薄、更小的柔性電子具有重要意義。但是目前大多數(shù)功能性器件都為剛性的固體器件,如何實現(xiàn)液態(tài)金屬導線與這些剛性器件的連接仍是液態(tài)金屬導線實現(xiàn)最終應用面臨的一個難題。

        綜上所述,在制備液態(tài)金屬導線過程中,最亟待解決的核心問題是液態(tài)金屬與柔性襯底的浸潤性問題。如果液態(tài)金屬能夠在任何襯底材料上實現(xiàn)浸潤,液態(tài)金屬就可以直接用作導電墨水,采用類似于印刷文字的方式印刷柔性導電線路,實現(xiàn)液態(tài)金屬導線高效高分辨制備。與此同時,探索液態(tài)金屬柔性導線與剛性功能性器件的結(jié)合方法,推動液態(tài)金屬導線在柔性電子學領(lǐng)域的應用便輕而易舉。此外,結(jié)合液態(tài)金屬的優(yōu)勢,還可以探索液態(tài)金屬導線在新領(lǐng)域的研究。

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        (編輯:陳豐)

        Recent progress of methods for fabricating flexible conductive wires based on liquid metals

        QIN Qin1, 2, LIU Yiwei2, WANG Yonggang1, LI Runwei2

        (1. College of Mechanical Engineering and Mechanics, Ningbo University, Ningbo 315211, Zhejiang Province, China; 2. Ningbo Institute of Materials Technology and Engineering, Chinese Academy of Sciences, Ningbo 315201, Zhejiang Province, China)

        Flexible conductive wires are the core of flexible electronics. Liquid metal based flexible conductive wires not only have high conductivity (104-105S/cm), but also can work properly under large deformation. However, the methods for the fabrication of the liquid metal based flexible conductive wires are the key for the applications. Therefore, recent progress of the methods for fabricating liquid metal based flexible conductive wires is summarized and analyzed. The physical and chemical properties of liquid metals are introduced. The preparing methods of liquid-metal conductive wires are emphasized. The characteristics of current preparing methods of liquid-metal conductive wires are deeply analyzed and their future developing direction is discussed.

        flexible electronics; flexible conductive wires; review; liquid metals; microchannel; printing preparation; mechanical sintering

        10.14106/j.cnki.1001-2028.2017.04.001

        TN605

        A

        1001-2028(2017)04-0001-08

        2017-01-23

        王永剛、劉宜偉

        國家自然科學基金資助(No. 11304326;51525103;11474295);寧波市國際合作項目(No. 2014D10005);寧波市重大科技專項(No. 2015B11027;2014B11011)

        秦琴(1991-),女,山西長治人,研究生,研究方向為柔性可穿戴設(shè)備及傳感器,E-mail: qinqin@nimte.ac.cn ;劉宜偉(1983-),男,吉林白山人,副研究員,研究方向為柔性敏感材料與可穿戴器件,E-mail: liuyw@nimte.ac.cn;王永剛(1976-),男,江蘇淮安人,教授,研究方向主要為沖擊動力學,E-mail: wangyonggang@nbu.edu.cn。

        網(wǎng)絡(luò)出版時間:2017-04-11 10:47

        http://kns.cnki.net/kcms/detail/51.1241.TN.20170411.1047.001.html

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