◆張 堅(jiān)/ 文

信息化建設(shè)提升現(xiàn)場(chǎng)管理績(jī)效
——全國(guó)“五星級(jí)現(xiàn)場(chǎng)管理”上海華虹宏力案例介紹

◆張 堅(jiān)/ 文

上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司，是世界領(lǐng)先的8英寸純晶圓代工廠(chǎng),擁有3條8英寸集成電路生產(chǎn)線(xiàn)，每月產(chǎn)能達(dá)到14.3萬(wàn)片。華虹宏力的工藝技術(shù)覆蓋從1微米至90納米各節(jié)點(diǎn)，在標(biāo)準(zhǔn)邏輯、嵌入式非易失性存儲(chǔ)器、電源管理、功率器件、射頻、模擬和混合信號(hào)等領(lǐng)域形成了具有競(jìng)爭(zhēng)力的先進(jìn)工藝平臺(tái)。

華虹宏力先后通過(guò)了ISO9001質(zhì)量管理體系、ISO14001環(huán)境管理體系、OHSAS18001職業(yè)健康安全管理體系、ISO27001信息安全管理體系、ISO/TS16949汽車(chē)業(yè)管理體系、QC080000有害物質(zhì)過(guò)程管理體系認(rèn)證，獲得Sony Green Partner證書(shū)，并獲得由APQO（亞太質(zhì)量組織）授予的全球卓越績(jī)效獎(jiǎng)最高級(jí)別World Class獎(jiǎng)項(xiàng)。

華虹宏力的產(chǎn)品品質(zhì)和高信息安全性，與華虹宏力通過(guò)不斷升級(jí)優(yōu)化信息化平臺(tái)功能，推動(dòng)生產(chǎn)控制集成系統(tǒng)更加嚴(yán)謹(jǐn)分不開(kāi)。獲得2016年全國(guó)“五星級(jí)現(xiàn)場(chǎng)管理”稱(chēng)號(hào)的華虹宏力二廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)充分說(shuō)明了這一點(diǎn)。

一、信息化滲透每個(gè)生產(chǎn)控制環(huán)節(jié)

華虹宏力的整個(gè)生產(chǎn)控制集成系統(tǒng)，從功能分類(lèi)上分為生產(chǎn)計(jì)劃、設(shè)備管理、安全管理、人員管理、文件管理以及物料管理系統(tǒng)六個(gè)部分。在系統(tǒng)分類(lèi)上，信息化平臺(tái)由控制設(shè)備自動(dòng)化運(yùn)轉(zhuǎn)的EAP系統(tǒng)、生產(chǎn)制造執(zhí)行系統(tǒng)MES、數(shù)據(jù)分析整合編制生產(chǎn)報(bào)表的Cimpress系統(tǒng)和相關(guān)的子系統(tǒng)平臺(tái)組成。各個(gè)系統(tǒng)環(huán)環(huán)相扣，緊密連接，實(shí)時(shí)采集“人機(jī)料法環(huán)”各要素所產(chǎn)生的相關(guān)數(shù)據(jù)，并配備相關(guān)的工程技術(shù)人員（圖1）。

1.擁有強(qiáng)大的控制集成系統(tǒng)

生產(chǎn)線(xiàn)配置了強(qiáng)大的IT硬件和軟件，使得數(shù)據(jù)的收集處理得心應(yīng)手。在硬件方面，配備了15臺(tái)服務(wù)器，29臺(tái)PC Server服務(wù)器。在數(shù)據(jù)庫(kù)方面，生產(chǎn)線(xiàn)上擁有Promis、SemiSuite、ODS報(bào)表、EDC工程數(shù)據(jù)、CIMDB外聯(lián)、ARC歸檔數(shù)據(jù)查詢(xún)等數(shù)據(jù)庫(kù)。在工廠(chǎng)內(nèi)，配置有2臺(tái)CIM專(zhuān)用網(wǎng)絡(luò)核心交換機(jī)，以及15臺(tái)1000Mbps網(wǎng)絡(luò)交換機(jī)，強(qiáng)大的網(wǎng)絡(luò)配置使得數(shù)據(jù)交換的速度高效便捷（圖2）。

據(jù)統(tǒng)計(jì)，生產(chǎn)線(xiàn)上平均每分鐘產(chǎn)生數(shù)據(jù)量25G，數(shù)據(jù)總量相當(dāng)于500本辭海的容量。大數(shù)據(jù)處理有嚴(yán)密的路徑和備份流程，從而高效有序地完成數(shù)據(jù)的收集整理及分析！

2.有預(yù)測(cè)能力的PPS生產(chǎn)計(jì)劃系統(tǒng)

圖1

圖2

產(chǎn)品按期交貨OTDO是滿(mǎn)足客戶(hù)需求的重要指標(biāo)，生產(chǎn)線(xiàn)的制品出貨計(jì)劃尤為重要。根據(jù)客戶(hù)的需求結(jié)合實(shí)際生產(chǎn)能力，通過(guò)生產(chǎn)計(jì)劃系統(tǒng)，優(yōu)化產(chǎn)品投入，制定出對(duì)應(yīng)的月生產(chǎn)計(jì)劃制定周作業(yè)計(jì)劃、在線(xiàn)制品數(shù)、每日進(jìn)步數(shù)，再通過(guò)系統(tǒng)分解出現(xiàn)場(chǎng)重點(diǎn)設(shè)備需要每日完成的作業(yè)指標(biāo)。該系統(tǒng)可以預(yù)測(cè)未來(lái)一個(gè)月產(chǎn)品的出貨情況，根據(jù)時(shí)間和客戶(hù)以及產(chǎn)品種類(lèi)生成不同的分析報(bào)表。

3.包含6大子系統(tǒng)的設(shè)備管理系統(tǒng)

華虹宏力通過(guò)設(shè)備運(yùn)行監(jiān)控系統(tǒng)對(duì)設(shè)備作業(yè)情況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)控，根據(jù)周和日生產(chǎn)計(jì)劃確定當(dāng)日重點(diǎn)設(shè)備，進(jìn)行工事作業(yè)和維護(hù)的合理安排。通過(guò)產(chǎn)品優(yōu)先級(jí)調(diào)整系統(tǒng)實(shí)時(shí)進(jìn)行等級(jí)調(diào)整，通過(guò)PUSH排程，提高作業(yè)效率。當(dāng)客戶(hù)產(chǎn)品有緊急需求時(shí)，配有特殊產(chǎn)品跟蹤系統(tǒng)進(jìn)行進(jìn)度管控。通過(guò)該系統(tǒng)，可以保證產(chǎn)品在生產(chǎn)線(xiàn)的正常流通，相同產(chǎn)品的DPML在同行業(yè)也屬于領(lǐng)先水平，生產(chǎn)線(xiàn)的按期交貨率始終保證在98%以上。

華虹宏力的設(shè)備管理系統(tǒng)包含6大子系統(tǒng)，通過(guò)各子系統(tǒng)的不同功能來(lái)支持設(shè)備管理運(yùn)營(yíng)全過(guò)程。

（1）Chart Board（預(yù)警系統(tǒng)）：支持日常點(diǎn)檢數(shù)據(jù)的控制。對(duì)每臺(tái)設(shè)備設(shè)定日常點(diǎn)檢頻度、點(diǎn)檢項(xiàng)目以及控制規(guī)格。當(dāng)點(diǎn)檢數(shù)據(jù)、項(xiàng)目不符合規(guī)格時(shí)自動(dòng)關(guān)閉設(shè)備作業(yè)，發(fā)出警報(bào)。對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分類(lèi)整理和趨勢(shì)預(yù)警自動(dòng)計(jì)算指標(biāo)結(jié)果，設(shè)備點(diǎn)檢參數(shù)在測(cè)定后被判定為超規(guī)格時(shí)，每筆超規(guī)格會(huì)自動(dòng)統(tǒng)計(jì)。

（2）Equipment Constraint System（ECS設(shè)備限制系統(tǒng)）：是設(shè)備及設(shè)備腔體條件限制系統(tǒng)，負(fù)責(zé)設(shè)備條件限制，與EAP系統(tǒng)連接，實(shí)時(shí)監(jiān)控設(shè)備、工藝腔室的加工作業(yè)情況。

（3）Internal E-RunCard（電子簽核系統(tǒng)）：對(duì)制品異常、分批等操作實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)操作。節(jié)約了人力資源，無(wú)需人為管控，制定程序站點(diǎn)可自動(dòng)跑貨，同時(shí)電子檔可保留處置履歷，方便查詢(xún)分析。使用在跨廠(chǎng)區(qū)的作業(yè)中，使不同命名規(guī)則下的條件能夠統(tǒng)一有效的進(jìn)行識(shí)別和管理！

（4）PM M S（設(shè)備維護(hù)系統(tǒng)）：是支持設(shè)備定期維護(hù)保養(yǎng)管理的系統(tǒng)。根據(jù)設(shè)置信息提前通知相關(guān)責(zé)任人對(duì)設(shè)備安排保養(yǎng)作業(yè)，超過(guò)時(shí)間未做保養(yǎng)的會(huì)自動(dòng)禁止該設(shè)備進(jìn)行制品加工并發(fā)出警報(bào)提醒，保障了設(shè)備保養(yǎng)的時(shí)效，對(duì)制品的良率起到了監(jiān)控作用。

（5）EQP Alarm（設(shè)備報(bào)警系統(tǒng)）：當(dāng)設(shè)備報(bào)警時(shí)，系統(tǒng)根據(jù)用戶(hù)設(shè)置的各類(lèi)預(yù)警信息，對(duì)設(shè)備運(yùn)行時(shí)產(chǎn)生的預(yù)警信息進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分類(lèi)處理，并且提醒相關(guān)人員，由此提高對(duì)設(shè)備各類(lèi)狀況的深度把握，提前對(duì)設(shè)備做出非計(jì)劃性和非預(yù)見(jiàn)性的設(shè)備保養(yǎng)，降低設(shè)備故障率，提高產(chǎn)品的穩(wěn)定性。

（6）Trouble System系統(tǒng)：對(duì)設(shè)備故障發(fā)生的原因和修復(fù)過(guò)程以及對(duì)制品的影響進(jìn)行監(jiān)控記錄，通過(guò)對(duì)設(shè)備故障以及后續(xù)維修記錄的統(tǒng)計(jì)分析實(shí)現(xiàn)對(duì)設(shè)備故障的管理提升。

除了上述6大子系統(tǒng)以外，華虹宏力還擁有Knowledge Management System（知識(shí)管理系統(tǒng)）。工程技術(shù)人員會(huì)定期將設(shè)備修理和維護(hù)過(guò)程中的新發(fā)現(xiàn)，頻發(fā)故障的原因調(diào)查，設(shè)備部品失效分析，零部件的更換工藝和校準(zhǔn)手法，新型部品或新增供應(yīng)商的評(píng)價(jià)數(shù)據(jù)等經(jīng)驗(yàn)以文檔形式上傳至該系統(tǒng)。文件也可在授權(quán)范圍內(nèi)水平展開(kāi)到其他的工廠(chǎng)，實(shí)現(xiàn)資源共享。這也為公司多個(gè)FMEA項(xiàng)目的推進(jìn)提供了基礎(chǔ)。

4.人員管理系統(tǒng)

華虹宏力的人員管理系統(tǒng)主要在“電子化考核”和“人均作業(yè)效率管理”這兩大塊。

1、電子化考核：在線(xiàn)培訓(xùn)考核系統(tǒng)通過(guò)電子化考核避免人為考核標(biāo)準(zhǔn)變動(dòng)，考核成績(jī)與設(shè)備操作權(quán)限的聯(lián)動(dòng)確保上機(jī)操作權(quán)限控制。電子考核系統(tǒng)通過(guò)大量題庫(kù)以隨機(jī)抽取方式進(jìn)行電子化考核，并通過(guò)考核成績(jī)與所有設(shè)備操作權(quán)限連鎖，讓只有通過(guò)考核的人員才有權(quán)限操作現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備并進(jìn)行作業(yè)。所有設(shè)備都會(huì)先從系統(tǒng)中確認(rèn)操作人員權(quán)限才接受該工號(hào)發(fā)出的操作指令進(jìn)行工作。電子考核系統(tǒng)從第一次考核記錄開(kāi)始，定期重復(fù)提交該員工的考核需求，如果沒(méi)按時(shí)參加再考核，過(guò)期后系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉現(xiàn)場(chǎng)設(shè)備操作權(quán)限，考核不通過(guò)需在48小時(shí)內(nèi)進(jìn)行重新測(cè)定，離崗6個(gè)月以上的員工操作設(shè)備需重新進(jìn)行考核。以此確?，F(xiàn)場(chǎng)人員作業(yè)資質(zhì)安全有效。

2、人均作業(yè)效率管理：華虹宏力有整條生產(chǎn)線(xiàn)每個(gè)職能班組人員的作業(yè)量統(tǒng)計(jì)，并使用E f f i c i e n c y核算公式（Efficiency=Active WPH/ Standard WPH=Actual Prod Move ＊ (1-Rework Rate)/ Uptime/∑(Daily Prod Move by Recipe ＊ IE specified WPH)/ Actual Prod Move）精準(zhǔn)統(tǒng)計(jì)每個(gè)員工的人均作業(yè)效率，以此確保生產(chǎn)線(xiàn)上的人員配備充足。

5.DCC文件管理系統(tǒng)

依據(jù)華虹宏力文書(shū)管理規(guī)程和DCC文件管理系統(tǒng)對(duì)公司所有文書(shū)實(shí)現(xiàn)在線(xiàn)管理，使管理步驟明確化、使信息傳遞更順暢。文書(shū)作成人通過(guò)DCC文件管理系統(tǒng)上傳和審核，并選擇對(duì)應(yīng)的上級(jí)主管進(jìn)行查閱承認(rèn)，審核通過(guò)后發(fā)行。標(biāo)準(zhǔn)作業(yè)指導(dǎo)書(shū)的各個(gè)管理環(huán)節(jié)都有相關(guān)人員負(fù)責(zé)實(shí)施（包括作成人、審批人、文書(shū)控制人等）。通過(guò)該系統(tǒng)每個(gè)崗位的文書(shū)回覽記錄在線(xiàn)管理，不同崗位設(shè)定不同的文書(shū)閱覽權(quán)限，每臺(tái)設(shè)備配備一對(duì)一的設(shè)備操作指導(dǎo)書(shū)和作業(yè)條件表，所有文書(shū)定期更新，到期的廢版文書(shū)會(huì)自動(dòng)提醒部門(mén)文書(shū)管理員處置。

6.物料管理系統(tǒng)和STOCKER自動(dòng)搬送系統(tǒng)

生產(chǎn)線(xiàn)的原材料管控通過(guò)物料管理系統(tǒng)來(lái)實(shí)現(xiàn)。做到從領(lǐng)用、配送、放置、使用都有據(jù)可循。例如硅片的領(lǐng)用流程，由制造部?jī)?nèi)生產(chǎn)計(jì)劃組給出相關(guān)基片信息，物料管理組會(huì)根據(jù)對(duì)應(yīng)品名到系統(tǒng)內(nèi)開(kāi)領(lǐng)料單，在倉(cāng)庫(kù)確認(rèn)后臺(tái)相關(guān)信息都正確后發(fā)放基片。系統(tǒng)采用FIFO先入先出的原則管理物料，實(shí)現(xiàn)原材料的時(shí)效管控。生產(chǎn)線(xiàn)上還配備了擁有5個(gè)STOCKER的自動(dòng)搬送系統(tǒng)，可容納的制品容量為1240個(gè)單位，所有搬送系統(tǒng)里的制品可隨時(shí)調(diào)取和放置，并通過(guò)搬送通道進(jìn)行運(yùn)輸，提高了制品搬送的效率，降低了搬送風(fēng)險(xiǎn)，確保制品安全。

7.安全管理系統(tǒng)

考慮到集成電路生產(chǎn)線(xiàn)是使用特殊氣體和化學(xué)品比較集中的場(chǎng)所，因此安全管理非常重要。為此，工廠(chǎng)配備了大量的氣體檢測(cè)裝置和煙感檢測(cè)裝置等安全技防裝備，通過(guò)安全智能集中管理系統(tǒng)，可以早期發(fā)現(xiàn)災(zāi)害點(diǎn)以利于應(yīng)急搶險(xiǎn)隊(duì)伍及時(shí)有效的采取對(duì)應(yīng)處置。有機(jī)化學(xué)品的設(shè)備也都配置了自動(dòng)化智能滅火系統(tǒng)，如果發(fā)生異常，系統(tǒng)將自動(dòng)中止設(shè)備運(yùn)行，啟動(dòng)滅火動(dòng)作，確保生產(chǎn)線(xiàn)的安全運(yùn)行。

二、信息化貫穿整個(gè)品質(zhì)管理網(wǎng)絡(luò)

華虹宏力建立了各類(lèi)功能緊密配合的信息化管控質(zhì)量的網(wǎng)絡(luò)（圖3）。

（1）AIT在線(xiàn)缺陷監(jiān)控系統(tǒng)

在線(xiàn)缺陷監(jiān)控系統(tǒng)分為監(jiān)測(cè)和管控兩個(gè)方面：一是通過(guò)在產(chǎn)品工藝流程中的關(guān)鍵步驟增加缺陷監(jiān)測(cè)步驟，從而發(fā)現(xiàn)產(chǎn)品生產(chǎn)過(guò)程中的突發(fā)缺陷和慢性缺陷。二是對(duì)檢測(cè)出來(lái)的缺陷進(jìn)行分析及管控。日常工作中，缺陷監(jiān)測(cè)設(shè)備將監(jiān)測(cè)到的缺陷信息匯總到強(qiáng)大的缺陷管理系統(tǒng)（Defect Data Management System）中，良率工程師可以借助系統(tǒng)中缺陷的光學(xué)影像、電子影像、成分以及晶圓上缺陷分布情況等信息來(lái)分析缺陷產(chǎn)生的原因，從而大大縮短缺陷分析的時(shí)間。當(dāng)有了分析結(jié)果良率工程師還會(huì)及時(shí)和各工藝部門(mén)合作改善缺陷，達(dá)到缺陷控管的目的，避免后續(xù)產(chǎn)品發(fā)生相同的缺陷問(wèn)題，進(jìn)而提高產(chǎn)品質(zhì)量。

（2）SPC管理系統(tǒng)

圖3

系統(tǒng)按照工藝工程師對(duì)每臺(tái)設(shè)備的關(guān)鍵工藝參數(shù)設(shè)定的檢測(cè)頻度進(jìn)行數(shù)據(jù)處理。在有效作業(yè)時(shí)間內(nèi)，當(dāng)檢測(cè)數(shù)據(jù)正常時(shí)，設(shè)備繼續(xù)制品作業(yè)；當(dāng)檢測(cè)數(shù)據(jù)超出管理規(guī)格和技術(shù)規(guī)格時(shí)，系統(tǒng)立即自動(dòng)停止正在作業(yè)運(yùn)行的設(shè)備，切換設(shè)備狀態(tài)，并短信通知設(shè)備和工藝工程師，檢驗(yàn)設(shè)備的運(yùn)行狀態(tài)。當(dāng)?shù)竭_(dá)有效作業(yè)時(shí)間點(diǎn)時(shí)如果沒(méi)有新的檢測(cè)數(shù)據(jù)輸入系統(tǒng)，系統(tǒng)自動(dòng)關(guān)閉制品作業(yè)，并且發(fā)出警報(bào)。當(dāng)檢測(cè)數(shù)據(jù)發(fā)生傾向性波動(dòng)異常時(shí)，系統(tǒng)能夠及時(shí)將異常數(shù)據(jù)短信告知該設(shè)備和工藝工程師，提醒相關(guān)人員進(jìn)行檢驗(yàn)。

（3）CP/CPK監(jiān)控系統(tǒng)

CPK工程能力是Complex Process Capability index的縮寫(xiě)，是現(xiàn)代企業(yè)用于衡量生產(chǎn)制程達(dá)成客戶(hù)要求規(guī)格之能力，衡量工程能力的穩(wěn)定與可靠性的指標(biāo)。制成能力是過(guò)程性能允許的最大變化范圍與過(guò)程的正常偏差的比值，CPK越大表示品質(zhì)越佳。華虹宏力二廠(chǎng)所有項(xiàng)目的CPK都必須達(dá)到1.33以上。現(xiàn)場(chǎng)所有的CPK數(shù)據(jù)都由系統(tǒng)自動(dòng)收集數(shù)據(jù)，采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行分類(lèi)整理，對(duì)運(yùn)行趨勢(shì)預(yù)警，自動(dòng)計(jì)算。系統(tǒng)可自動(dòng)進(jìn)行運(yùn)算，實(shí)時(shí)分類(lèi)整理，對(duì)數(shù)據(jù)趨勢(shì)進(jìn)行預(yù)警，監(jiān)控超規(guī)格的設(shè)備和工序。

（4）PCCB過(guò)程變更系統(tǒng)

PCCB：過(guò)程變更控制委員會(huì)，(Process Change Control B o a r d)。包括EC C P:工程變更計(jì)劃(Engineering Change Certification Plan)、STR:特殊實(shí)驗(yàn)要求(Special Test Request)、T E C N:短期工程變更通知(Temporary Engineering Change Notice)和ECN:工程變更通知(Engineering Change Notice)。通過(guò)申請(qǐng)需求，確認(rèn)核準(zhǔn)，評(píng)審?fù)ㄟ^(guò)后進(jìn)入風(fēng)險(xiǎn)評(píng)價(jià)階段，得到終端客戶(hù)的認(rèn)證方可變更條件，確保產(chǎn)品的良率提升客戶(hù)的滿(mǎn)意度相結(jié)合，全面把握工程條件變更控制各個(gè)環(huán)節(jié)。

三、回顧以及展望

華虹宏力根據(jù)各相關(guān)方的需求推動(dòng)了各功能塊的信息化建設(shè)，并且堅(jiān)持系統(tǒng)的開(kāi)放性以利于后期的持續(xù)改善。在這些信息系統(tǒng)的有效運(yùn)行后，推動(dòng)了現(xiàn)場(chǎng)的管理水平，使得二廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)的相關(guān)生產(chǎn)指標(biāo)取得了很大的進(jìn)步。華虹宏力二廠(chǎng)的產(chǎn)品合格率、按期交貨率、每層光刻進(jìn)步度、每層光刻平均成本等處于業(yè)界的領(lǐng)先地位，獲得了國(guó)內(nèi)外客戶(hù)的肯定和信賴(lài)。二廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)先后榮獲了“青年文明號(hào)”“工人先鋒號(hào)”、上海市“五星級(jí)現(xiàn)場(chǎng)管理”等榮譽(yù)，并榮獲2016年全國(guó)“五星級(jí)現(xiàn)場(chǎng)管理”的光榮稱(chēng)號(hào)！

華虹宏力二廠(chǎng)生產(chǎn)線(xiàn)的努力方向是依托現(xiàn)有的強(qiáng)大信息化平臺(tái)不斷完善優(yōu)化，做強(qiáng)“特色化”工藝，打造高端的功率半導(dǎo)體器件，構(gòu)建一個(gè)信息化和工業(yè)化深度融合，持續(xù)提升現(xiàn)場(chǎng)管理水平和產(chǎn)品質(zhì)量，致力成為“中國(guó)制造2025”宏偉計(jì)劃的智能工廠(chǎng)。

（作者單位：上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司）