摘 要:隨著現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的不斷突破,與電子相關(guān)的元器件的分門別類越趨多樣化,制備工藝和產(chǎn)品的外觀形貌以及內(nèi)部結(jié)構(gòu)都愈趨高端和復(fù)雜,所以對采用封接工藝制成的產(chǎn)品的可靠性和氣密性的標(biāo)準(zhǔn)愈來愈高。作為擁有良好的耐熱性、氣密性和電絕緣性的封接玻璃,其應(yīng)用領(lǐng)域十分廣泛。文章主要介紹了封接玻璃的應(yīng)用、分類以及發(fā)展?fàn)顩r,重點(diǎn)對無鉛封接玻璃的專利現(xiàn)狀進(jìn)行了分析。
關(guān)鍵詞:封接玻璃;無鉛;專利;綜述
引言
現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)日新月異,特別是能源、電能、航空航天工業(yè)、汽車、電子真空技術(shù)、工業(yè)檢測、紅外與激光技術(shù)、化工、微電子技術(shù)等領(lǐng)域的設(shè)備小型化,不斷提高精密度的結(jié)構(gòu)元素,越來越多的電子元件,產(chǎn)品和密封產(chǎn)品的形狀復(fù)雜,環(huán)保要求、可靠性、氣密性和越來越高。密封材料種類繁多,從化學(xué)成分可分為金屬材料、無機(jī)材料和有機(jī)材料三類,玻璃、搪瓷是典型的無機(jī)材料,特別適用于氣密性密封、高溫封接。密封材料中的玻璃基材料,在耐熱性和氣密性上強(qiáng)于有機(jī)材料,特別優(yōu)于有機(jī)材料中的高分子材料,此外,玻璃基材料在電絕緣性能上好于金屬材料,基于以上兩點(diǎn),玻璃基材料的用途廣泛。
1 封接玻璃概述
封接玻璃是能夠連接不同材料或相同材料并密封的特種玻璃,能夠封接的材料可以包括特種玻璃、陶瓷和金屬。低熔點(diǎn)封接玻璃是使用較為廣泛的封接玻璃,普通玻璃的熔點(diǎn)明顯高于低熔點(diǎn)封接玻璃,而低熔點(diǎn)封接玻璃的封接溫度不高于600度,具有機(jī)械強(qiáng)度高、化學(xué)穩(wěn)定性強(qiáng)和耐熱性好等優(yōu)點(diǎn),因此,低熔點(diǎn)封接玻璃被廣泛應(yīng)用于能源、電能、航空航天工業(yè)、汽車、電子真空技術(shù)、工業(yè)檢測、紅外與激光技術(shù)、化工、微電子技術(shù)等領(lǐng)域。
含鉛玻璃是非常典型的傳統(tǒng)無機(jī)封接玻璃,且應(yīng)用廣泛。但當(dāng)今社會,環(huán)境污染程度不斷增加,民眾對于環(huán)境的態(tài)度已經(jīng)發(fā)生重大轉(zhuǎn)變,環(huán)保的旗幟格外鮮明,含鉛玻璃和其他有污染的封接玻璃及其衍生產(chǎn)品將被摒棄。類似于18或18+2的稀有氣體的電子外層結(jié)構(gòu)的元素可以取代鉛,與此結(jié)構(gòu)類似的元素有鉍、錫和鍶等。目前,不管是國內(nèi)還是國外的科學(xué)家,都對這類元素的氧化物產(chǎn)生了濃厚的興趣,并實(shí)施了大量的試驗(yàn),并取得了一定進(jìn)展。最近幾年,學(xué)術(shù)界已經(jīng)對無鉛封接玻璃的性能基本達(dá)成了一致的看法,即對鉍酸鹽系統(tǒng)、釩酸鹽系統(tǒng)、磷酸鹽發(fā)展前景比較看好。
2 無鉛封接玻璃專利技術(shù)現(xiàn)狀分析
2.1 磷酸鹽封接玻璃的研究現(xiàn)狀
國外很多大型企業(yè)對磷酸鹽低熔玻璃進(jìn)行了深入的早期研究,例如,1993年美國康寧公司就公開了一種磷酸鹽低熔點(diǎn)玻璃封接的專利[1],這種軟化溫度290-325℃的封接玻璃,熱膨脹系數(shù)(130-160)×10-7/℃,盡管其軟化溫度不高,但熱膨脹系數(shù)很大,對于低、中膨脹系數(shù)基板來說,無法滿足其封接要求。此外,該公司還公開了主要用于陰極射線管的面板和椎骨之間的封接玻璃[2-3],前者為R2O-ZnO-P2O5系封接玻璃(R2O為堿金屬氧化物),熱膨脹系數(shù)為(120-140)×10-7/℃,封接溫度為450-600℃,加入填料可降低熱膨脹系數(shù)至(100-105)×10-7/℃,由于該系統(tǒng)玻璃成分中含有氯元素,長期使用會釋放少量的氯氣,降低設(shè)備的真空密封度,縮短設(shè)備的壽命;后者為SnO-ZnO-P2O5系微晶玻璃,熱膨脹系數(shù)(95-115)×10-7/℃,封接溫度為450-500℃,加入填料可減少熱膨脹系數(shù)至(85-95)×10-7/℃,但在高溫下,氧化亞錫在空氣中容易氧化成氧化錫,所以系統(tǒng)必須在還原氣氛或惰性氣體下制備和使用封接玻璃,從而造成產(chǎn)生過程的極為復(fù)雜,成本相應(yīng)提高。對于成本低的磷酸鹽玻璃,國內(nèi)一些研究機(jī)構(gòu)進(jìn)行了廣泛的研究,低熔點(diǎn)磷酸鹽封接玻璃引起了東華大學(xué)的重視[4-5],東華大學(xué)采用了封接溫度約550℃的磷酸鹽玻璃,加入填料可將熱膨脹系數(shù)調(diào)至(75-100)×10-7/℃范圍,主要應(yīng)用于金屬合金、電真空玻璃、加熱管和大功率管的封接。
中國計量科學(xué)研究院公布了P2O5-SnO-RO系封接玻璃(RO為堿土金屬氧化物)[6],該系統(tǒng)玻璃的熱膨脹系數(shù)(90-140)×10-7/℃,封接溫度低于550℃,適用于封接各種電子元器件。盡管如此,磷酸鹽玻璃具有較差的化學(xué)穩(wěn)定性和較高的膨脹系數(shù),雖然可以通過增加填料來減小膨脹系數(shù),但由此帶來密封溫度的升高。
2.2 釩酸鹽封接玻璃的研究現(xiàn)狀
日本大和電子有限公司在中國提交了一系列釩酸鹽低熔點(diǎn)封接玻璃專利[7-9],專利中公開的釩酸鹽玻璃體系為B2O3-V2O5-ZnO-BaO-P2O5,熱膨脹系數(shù)(80-120)×10-7/℃,玻璃化轉(zhuǎn)變溫度280-500℃。陜西科技大學(xué)公布了對V2O5-B2O3-ZnO系封接玻璃的研究[10],上述體系玻璃的室溫電阻率高于1014Ω·m(1000V下測量),膨脹系數(shù)小,封接溫度低于530℃;中國建筑材料科學(xué)研究院提交的V2O5-P2O5-Sb2O3系封接玻璃專利[11],通過在玻璃粉里加入一種或多種稀土氧化物,將玻璃的封接溫度控制在360-430℃,又通過加入低膨脹填料,將玻璃的膨脹系數(shù)降低到(70-75)×10-7/℃。盡管釩酸鹽封接玻璃具有合適的膨脹系數(shù)和較低的封接溫度,應(yīng)用廣泛,但釩酸鹽封接玻璃存在以下三個致命的缺陷:(1)對被封接器件的絕緣性能產(chǎn)生負(fù)面影響,玻璃中的V2O5屬于半導(dǎo)體材料,其能使玻璃的電導(dǎo)率升高;(2)在對人體存在慢性毒害作用,主要是由于玻璃中存在V2O5;(3)釩酸鹽玻璃玻璃的化學(xué)穩(wěn)定性差,在使用過程中極易析晶。以上缺點(diǎn)極大地限制了釩酸鹽封接玻璃應(yīng)用于高性能的電子設(shè)備和電氣設(shè)備中。
2.3 鉍酸鹽封接玻璃的研究現(xiàn)狀
日本松下電器實(shí)業(yè)有限公司在中國提交了SiO2-B2O3-ZnO-Bi2O3低熔點(diǎn)封接玻璃專利[12],其玻璃組份中添加了大量的BaO、SrO、CaO、MgO、K2O、Na2O、Li2O等堿土金屬氧化物和堿金屬,膨脹系數(shù)為(70-130)×10-7/℃,封接溫度為450-650℃,該體系玻璃的缺陷是:(1)玻璃的導(dǎo)電性較高,由于堿金屬離子的大量摻入;(2)封接后強(qiáng)度較差;(3)較差的流動性;(4)極易析晶,尤其在封接過程。東華大學(xué)對Bi2O3-B2O3-ZnO系低熔點(diǎn)封接玻璃的進(jìn)行了研究[13],該體系玻璃的膨脹系數(shù)為(68-90)×10-7/℃,封接溫度為510-600℃,雖然能夠滿足最苛刻的密封基板,但由于玻璃成分中大量的堿金屬離子的加入,玻璃不僅存在易析晶的缺點(diǎn),而且電導(dǎo)率高。
參考文獻(xiàn)
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[12]專利公開號CN1372532A,公開日20021002.
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