【摘要】本實(shí)驗(yàn)通過在玻璃襯底上，采用溶膠-凝膠法制備K+、Mg2+共摻雜ZnO薄膜，固定K+與Zn2+摩爾比，改變Mg2+的摻雜含量，實(shí)驗(yàn)表明隨著Mg2+摻雜量增加，薄膜的致密性更好，透光率不斷提高，說明薄膜隨著Mg2+濃度增加，結(jié)晶性能提高，Mg2+的摻入有利于薄膜的結(jié)晶，摻入薄膜中的離子濃度增大，從而增大了載流子濃度，但是當(dāng)濃度過高時(shí)，過多的Mg2+進(jìn)入間隙位會阻礙離子的運(yùn)輸，不利于薄膜的擇優(yōu)取向生長。

【關(guān)鍵詞】玻璃襯底；溶膠-凝膠法；ZnO薄膜；擇優(yōu)取向