MgAl/PbPc/Cu有機(jī)薄膜二極管的制備與氣敏特性分析
2015-01-04 13:42:37王東興等
哈爾濱理工大學(xué)學(xué)報(bào) 2014年4期
王東興等
摘要：選用酞菁鉛作為有機(jī)半導(dǎo)體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結(jié)構(gòu)為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導(dǎo)體測試儀與氣敏測量系統(tǒng)分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對(duì)電流一電壓特性的實(shí)測數(shù)據(jù)進(jìn)行深入的理論分析，比較出器件對(duì)不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint
摘要：選用酞菁鉛作為有機(jī)半導(dǎo)體氣敏材料，用真空熱蒸鍍、磁控濺射等鍍膜方法制備器件，所制備薄膜二極管的結(jié)構(gòu)為MgAl/PbPc/cu，使用Keithley 4200半導(dǎo)體測試儀與氣敏測量系統(tǒng)分析器件肖特基二極管的氣敏特性，通過對(duì)電流一電壓特性的實(shí)測數(shù)據(jù)進(jìn)行深入的理論分析，比較出器件對(duì)不同濃度NO2氣體的敏感程度。endprint
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