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        一種非接觸式平面應(yīng)變測量傳感器的設(shè)計

        2014-11-07 21:14:43袁航周徐海俠
        科技資訊 2014年10期

        袁航周++徐海俠

        摘 要:設(shè)計了一款應(yīng)變測量傳感器,該應(yīng)變測量傳感器由安裝在同一印制板上的三個專用芯片組成,每一個專用芯片上的CMOS感光器用于測量所在位置上的平面位移量。通過對傳感器的建模分析,確定了傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計,并針對設(shè)計傳感器的誤差來源,研究了傳感器與被測表面的粘貼方式和誤差修正方法。實驗表明,設(shè)計的傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)毫米級形變范圍內(nèi)的應(yīng)變測量要求,同時設(shè)計的傳感器可以作為一個傳感器節(jié)點,應(yīng)用于無線傳感的應(yīng)變監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)中。

        關(guān)鍵詞:非接觸傳感器 平面應(yīng)變測量 誤差修正

        中圖分類號:TH741 文獻(xiàn)標(biāo)識碼:A 文章編號:1672-3791(2014)04(a)-0021-02

        凡是由材料構(gòu)筑起來的物體,在外力作用下都會發(fā)生應(yīng)變、變形甚至斷裂。目前,應(yīng)變測量已成為監(jiān)測飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩等使用條件和使用狀態(tài)的一種有效的手段[1]。應(yīng)變監(jiān)測離不開應(yīng)變傳感器。目前已有的應(yīng)變傳感器,按測量維度分為兩類:(1)單維度傳感器,如電阻應(yīng)變片、振弦傳感器、光纖光柵傳感器。這類傳感器為接觸式測量,主要測量一個維度方向上的應(yīng)變量。(2)多維度傳感器,如基于散斑測量原理的光學(xué)測量系統(tǒng)。這類傳感器為非接觸式測量,但測量系統(tǒng)體積龐大、測量復(fù)雜且安裝條件苛刻,不適應(yīng)飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩等多節(jié)點的現(xiàn)場測量[3~4]。

        為了實現(xiàn)傳感器小型化,并滿足多維度應(yīng)變測量的要求,提出了一種非接觸式平面應(yīng)變測量方法,其中的傳感器由三個帶有CMOS感光器的專用芯片構(gòu)成,通過讀取三個CMOS感光器中的平面坐標(biāo)值,再經(jīng)過坐標(biāo)值變換和計算,來獲取被測件的平面應(yīng)變測量值及變形量。由于傳感器具有小型化的特點,且測量數(shù)據(jù)可以通過無線網(wǎng)絡(luò)傳輸,因而可以通過多傳感器測量節(jié)點組網(wǎng),構(gòu)建飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩、壓力容器等的在線應(yīng)變監(jiān)測系統(tǒng)[5~6]。

        1 應(yīng)變傳感器的測量模型

        式(1)和式(2)中的x1、y1,x2、y2,x3、y3分別為三個專用芯片的CMOS感光器感知的平面坐標(biāo)值,Lx和Ly為三個專用芯片的CMOS感光器中心點在x和y方向上的距離,θ1和θ2為三個專用芯片測量時所在物理坐標(biāo)軸不一致的偏轉(zhuǎn)角。Lx和Ly以及θ1和θ2均需標(biāo)定,以便通過誤差修正得到正確的平面應(yīng)變測量值。

        2 θ1和θ2的測量

        為了得到θ1和θ2的值,使傳感器在未受力的平面上沿三角形直角頂點上的光學(xué)感應(yīng)器攝像頭的某一坐標(biāo)軸方向進(jìn)行平動測量。把傳感器安裝在移動工作臺面上,比對傳感器選用的是光柵位移傳感器,其測量分辨率為1 nm,量程為50 mm。選擇x坐標(biāo)軸正方向進(jìn)行平行移動,分別在光柵位移傳感器的位移值為10 mm、15 mm、20 mm、25 mm、30 mm處分別對三個光學(xué)鼠標(biāo)傳感器的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄。數(shù)據(jù)如表1所示。

        從表1中的數(shù)據(jù)可以得出:x2的位移值并沒有與光柵傳感器的位移值完全一致,這是因為光學(xué)鼠標(biāo)芯片的分辨率低于光柵式位移傳感器;三個光學(xué)感應(yīng)器的x坐標(biāo)軸和y坐標(biāo)軸方向上的數(shù)據(jù)不相等,因此三個坐標(biāo)軸之間存在一定的偏轉(zhuǎn)角。對表中數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理可以得到各組實驗中的坐標(biāo)軸相對偏轉(zhuǎn)角θ1和θ2,如表2所示。

        從表2的數(shù)據(jù)可以得出偏轉(zhuǎn)角θ1的值約為9.7度,偏轉(zhuǎn)角θ2的約為10.2度。把θ1和θ2的值代入到應(yīng)變計算公式(1)和(2)中,就可進(jìn)行對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。

        3 傳感器的標(biāo)定

        由于任何傳感器在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在不可避免的誤差,這會使得傳感器的測量值與被測量的真實值存在一定的偏差。為了保證傳感器的測量值更好的反應(yīng)被測件的情況,我們一般會選擇更高精度的測量裝置并將其與待標(biāo)定傳感器同步獲得的測量值進(jìn)行處理比較,對傳感器進(jìn)行標(biāo)定實驗,從而進(jìn)一步改進(jìn)傳感器,使得被測量得以更為準(zhǔn)確的傳遞。

        本課題中的二維應(yīng)變傳感器在測量被測件的應(yīng)變時由于多種因素的影響必然也存在著無法避免的測量誤差,所以我們也需要對大形變應(yīng)變傳感器進(jìn)行標(biāo)定實驗。標(biāo)定實驗采用的是傳感器測量分辨率實驗的裝置,在傳感器測量范圍內(nèi)任選一個比對點,連續(xù)調(diào)節(jié)壓電陶瓷驅(qū)動電壓,同步測量獲得比對傳感器測量值和設(shè)計傳感器測量值,比對曲線如圖2所示,位移測量比對曲線最大誤差小于20 um。比較二維應(yīng)變傳感器的測量值與比對傳感器的測量值,分析二者之間的關(guān)系,進(jìn)而得到一系列能夠表征兩者之間對應(yīng)關(guān)系的標(biāo)定曲線,得出二維應(yīng)變傳感器性能指標(biāo)的實測情況。通過綜合上述傳感器的各項實驗得出傳感器的各項性能指標(biāo)為:傳感器的分辨率小于10 um,線性誤差為3.74%,最大測量行程為3 mm。

        4 誤差分析

        從傳感器的設(shè)計和組裝到安裝測量過程中,都會產(chǎn)生相應(yīng)的誤差。這些誤差對傳感器的性能和測量精度造成一定的影響。在試驗的過程中,由于實驗室條件有限,試驗平臺搭建存在一定的結(jié)構(gòu)誤差,在測量操作中不可避免引入人為誤差。通過大量試驗可以得出主要影響因素為傳感器的安裝誤差和傳感器本身產(chǎn)生的誤差。

        5 結(jié)語

        本文根據(jù)光學(xué)鼠標(biāo)芯片的工作原理進(jìn)行對平面二維應(yīng)變測量傳感器的設(shè)計,對傳感器的標(biāo)定實驗及數(shù)據(jù)分析,本傳感器實現(xiàn)了對二維平面的非接觸式測量。本設(shè)計的測量方法對國際上測量應(yīng)變方法的研究提供了一定的參考。

        參考文獻(xiàn)

        [1] 林健富,程瀛,黃建亮,等.大型建筑結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測的海量數(shù)據(jù)處理與數(shù)據(jù)庫開發(fā)研究[A].振動與沖擊,2010-12.

        [2] 張紅冉.紡織機紗線張力與速度檢測系統(tǒng)的研究與設(shè)計[D].武漢理工大學(xué),2010.

        [3] 唐偉.基于CMOS光電傳感器的運動捕捉系統(tǒng)[J].硅谷,2012.

        [4] 劉冬冬,姜煒,張?zhí)旌?基于光學(xué)鼠標(biāo)傳感器的轉(zhuǎn)速測量方法研究[J].傳感器與微系統(tǒng),2008.

        [5] 張洪偉,姬升紅.光電鼠標(biāo)芯片在無接觸測距中的應(yīng)用[J].中國電子商務(wù),2009(8).endprint

        摘 要:設(shè)計了一款應(yīng)變測量傳感器,該應(yīng)變測量傳感器由安裝在同一印制板上的三個專用芯片組成,每一個專用芯片上的CMOS感光器用于測量所在位置上的平面位移量。通過對傳感器的建模分析,確定了傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計,并針對設(shè)計傳感器的誤差來源,研究了傳感器與被測表面的粘貼方式和誤差修正方法。實驗表明,設(shè)計的傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)毫米級形變范圍內(nèi)的應(yīng)變測量要求,同時設(shè)計的傳感器可以作為一個傳感器節(jié)點,應(yīng)用于無線傳感的應(yīng)變監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)中。

        關(guān)鍵詞:非接觸傳感器 平面應(yīng)變測量 誤差修正

        中圖分類號:TH741 文獻(xiàn)標(biāo)識碼:A 文章編號:1672-3791(2014)04(a)-0021-02

        凡是由材料構(gòu)筑起來的物體,在外力作用下都會發(fā)生應(yīng)變、變形甚至斷裂。目前,應(yīng)變測量已成為監(jiān)測飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩等使用條件和使用狀態(tài)的一種有效的手段[1]。應(yīng)變監(jiān)測離不開應(yīng)變傳感器。目前已有的應(yīng)變傳感器,按測量維度分為兩類:(1)單維度傳感器,如電阻應(yīng)變片、振弦傳感器、光纖光柵傳感器。這類傳感器為接觸式測量,主要測量一個維度方向上的應(yīng)變量。(2)多維度傳感器,如基于散斑測量原理的光學(xué)測量系統(tǒng)。這類傳感器為非接觸式測量,但測量系統(tǒng)體積龐大、測量復(fù)雜且安裝條件苛刻,不適應(yīng)飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩等多節(jié)點的現(xiàn)場測量[3~4]。

        為了實現(xiàn)傳感器小型化,并滿足多維度應(yīng)變測量的要求,提出了一種非接觸式平面應(yīng)變測量方法,其中的傳感器由三個帶有CMOS感光器的專用芯片構(gòu)成,通過讀取三個CMOS感光器中的平面坐標(biāo)值,再經(jīng)過坐標(biāo)值變換和計算,來獲取被測件的平面應(yīng)變測量值及變形量。由于傳感器具有小型化的特點,且測量數(shù)據(jù)可以通過無線網(wǎng)絡(luò)傳輸,因而可以通過多傳感器測量節(jié)點組網(wǎng),構(gòu)建飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩、壓力容器等的在線應(yīng)變監(jiān)測系統(tǒng)[5~6]。

        1 應(yīng)變傳感器的測量模型

        式(1)和式(2)中的x1、y1,x2、y2,x3、y3分別為三個專用芯片的CMOS感光器感知的平面坐標(biāo)值,Lx和Ly為三個專用芯片的CMOS感光器中心點在x和y方向上的距離,θ1和θ2為三個專用芯片測量時所在物理坐標(biāo)軸不一致的偏轉(zhuǎn)角。Lx和Ly以及θ1和θ2均需標(biāo)定,以便通過誤差修正得到正確的平面應(yīng)變測量值。

        2 θ1和θ2的測量

        為了得到θ1和θ2的值,使傳感器在未受力的平面上沿三角形直角頂點上的光學(xué)感應(yīng)器攝像頭的某一坐標(biāo)軸方向進(jìn)行平動測量。把傳感器安裝在移動工作臺面上,比對傳感器選用的是光柵位移傳感器,其測量分辨率為1 nm,量程為50 mm。選擇x坐標(biāo)軸正方向進(jìn)行平行移動,分別在光柵位移傳感器的位移值為10 mm、15 mm、20 mm、25 mm、30 mm處分別對三個光學(xué)鼠標(biāo)傳感器的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄。數(shù)據(jù)如表1所示。

        從表1中的數(shù)據(jù)可以得出:x2的位移值并沒有與光柵傳感器的位移值完全一致,這是因為光學(xué)鼠標(biāo)芯片的分辨率低于光柵式位移傳感器;三個光學(xué)感應(yīng)器的x坐標(biāo)軸和y坐標(biāo)軸方向上的數(shù)據(jù)不相等,因此三個坐標(biāo)軸之間存在一定的偏轉(zhuǎn)角。對表中數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理可以得到各組實驗中的坐標(biāo)軸相對偏轉(zhuǎn)角θ1和θ2,如表2所示。

        從表2的數(shù)據(jù)可以得出偏轉(zhuǎn)角θ1的值約為9.7度,偏轉(zhuǎn)角θ2的約為10.2度。把θ1和θ2的值代入到應(yīng)變計算公式(1)和(2)中,就可進(jìn)行對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。

        3 傳感器的標(biāo)定

        由于任何傳感器在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在不可避免的誤差,這會使得傳感器的測量值與被測量的真實值存在一定的偏差。為了保證傳感器的測量值更好的反應(yīng)被測件的情況,我們一般會選擇更高精度的測量裝置并將其與待標(biāo)定傳感器同步獲得的測量值進(jìn)行處理比較,對傳感器進(jìn)行標(biāo)定實驗,從而進(jìn)一步改進(jìn)傳感器,使得被測量得以更為準(zhǔn)確的傳遞。

        本課題中的二維應(yīng)變傳感器在測量被測件的應(yīng)變時由于多種因素的影響必然也存在著無法避免的測量誤差,所以我們也需要對大形變應(yīng)變傳感器進(jìn)行標(biāo)定實驗。標(biāo)定實驗采用的是傳感器測量分辨率實驗的裝置,在傳感器測量范圍內(nèi)任選一個比對點,連續(xù)調(diào)節(jié)壓電陶瓷驅(qū)動電壓,同步測量獲得比對傳感器測量值和設(shè)計傳感器測量值,比對曲線如圖2所示,位移測量比對曲線最大誤差小于20 um。比較二維應(yīng)變傳感器的測量值與比對傳感器的測量值,分析二者之間的關(guān)系,進(jìn)而得到一系列能夠表征兩者之間對應(yīng)關(guān)系的標(biāo)定曲線,得出二維應(yīng)變傳感器性能指標(biāo)的實測情況。通過綜合上述傳感器的各項實驗得出傳感器的各項性能指標(biāo)為:傳感器的分辨率小于10 um,線性誤差為3.74%,最大測量行程為3 mm。

        4 誤差分析

        從傳感器的設(shè)計和組裝到安裝測量過程中,都會產(chǎn)生相應(yīng)的誤差。這些誤差對傳感器的性能和測量精度造成一定的影響。在試驗的過程中,由于實驗室條件有限,試驗平臺搭建存在一定的結(jié)構(gòu)誤差,在測量操作中不可避免引入人為誤差。通過大量試驗可以得出主要影響因素為傳感器的安裝誤差和傳感器本身產(chǎn)生的誤差。

        5 結(jié)語

        本文根據(jù)光學(xué)鼠標(biāo)芯片的工作原理進(jìn)行對平面二維應(yīng)變測量傳感器的設(shè)計,對傳感器的標(biāo)定實驗及數(shù)據(jù)分析,本傳感器實現(xiàn)了對二維平面的非接觸式測量。本設(shè)計的測量方法對國際上測量應(yīng)變方法的研究提供了一定的參考。

        參考文獻(xiàn)

        [1] 林健富,程瀛,黃建亮,等.大型建筑結(jié)構(gòu)健康監(jiān)測的海量數(shù)據(jù)處理與數(shù)據(jù)庫開發(fā)研究[A].振動與沖擊,2010-12.

        [2] 張紅冉.紡織機紗線張力與速度檢測系統(tǒng)的研究與設(shè)計[D].武漢理工大學(xué),2010.

        [3] 唐偉.基于CMOS光電傳感器的運動捕捉系統(tǒng)[J].硅谷,2012.

        [4] 劉冬冬,姜煒,張?zhí)旌?基于光學(xué)鼠標(biāo)傳感器的轉(zhuǎn)速測量方法研究[J].傳感器與微系統(tǒng),2008.

        [5] 張洪偉,姬升紅.光電鼠標(biāo)芯片在無接觸測距中的應(yīng)用[J].中國電子商務(wù),2009(8).endprint

        摘 要:設(shè)計了一款應(yīng)變測量傳感器,該應(yīng)變測量傳感器由安裝在同一印制板上的三個專用芯片組成,每一個專用芯片上的CMOS感光器用于測量所在位置上的平面位移量。通過對傳感器的建模分析,確定了傳感器的結(jié)構(gòu)設(shè)計,并針對設(shè)計傳感器的誤差來源,研究了傳感器與被測表面的粘貼方式和誤差修正方法。實驗表明,設(shè)計的傳感器能夠?qū)崿F(xiàn)毫米級形變范圍內(nèi)的應(yīng)變測量要求,同時設(shè)計的傳感器可以作為一個傳感器節(jié)點,應(yīng)用于無線傳感的應(yīng)變監(jiān)測網(wǎng)絡(luò)中。

        關(guān)鍵詞:非接觸傳感器 平面應(yīng)變測量 誤差修正

        中圖分類號:TH741 文獻(xiàn)標(biāo)識碼:A 文章編號:1672-3791(2014)04(a)-0021-02

        凡是由材料構(gòu)筑起來的物體,在外力作用下都會發(fā)生應(yīng)變、變形甚至斷裂。目前,應(yīng)變測量已成為監(jiān)測飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩等使用條件和使用狀態(tài)的一種有效的手段[1]。應(yīng)變監(jiān)測離不開應(yīng)變傳感器。目前已有的應(yīng)變傳感器,按測量維度分為兩類:(1)單維度傳感器,如電阻應(yīng)變片、振弦傳感器、光纖光柵傳感器。這類傳感器為接觸式測量,主要測量一個維度方向上的應(yīng)變量。(2)多維度傳感器,如基于散斑測量原理的光學(xué)測量系統(tǒng)。這類傳感器為非接觸式測量,但測量系統(tǒng)體積龐大、測量復(fù)雜且安裝條件苛刻,不適應(yīng)飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩等多節(jié)點的現(xiàn)場測量[3~4]。

        為了實現(xiàn)傳感器小型化,并滿足多維度應(yīng)變測量的要求,提出了一種非接觸式平面應(yīng)變測量方法,其中的傳感器由三個帶有CMOS感光器的專用芯片構(gòu)成,通過讀取三個CMOS感光器中的平面坐標(biāo)值,再經(jīng)過坐標(biāo)值變換和計算,來獲取被測件的平面應(yīng)變測量值及變形量。由于傳感器具有小型化的特點,且測量數(shù)據(jù)可以通過無線網(wǎng)絡(luò)傳輸,因而可以通過多傳感器測量節(jié)點組網(wǎng),構(gòu)建飛行器、水下探測器、石油平臺、橋梁、水壩、壓力容器等的在線應(yīng)變監(jiān)測系統(tǒng)[5~6]。

        1 應(yīng)變傳感器的測量模型

        式(1)和式(2)中的x1、y1,x2、y2,x3、y3分別為三個專用芯片的CMOS感光器感知的平面坐標(biāo)值,Lx和Ly為三個專用芯片的CMOS感光器中心點在x和y方向上的距離,θ1和θ2為三個專用芯片測量時所在物理坐標(biāo)軸不一致的偏轉(zhuǎn)角。Lx和Ly以及θ1和θ2均需標(biāo)定,以便通過誤差修正得到正確的平面應(yīng)變測量值。

        2 θ1和θ2的測量

        為了得到θ1和θ2的值,使傳感器在未受力的平面上沿三角形直角頂點上的光學(xué)感應(yīng)器攝像頭的某一坐標(biāo)軸方向進(jìn)行平動測量。把傳感器安裝在移動工作臺面上,比對傳感器選用的是光柵位移傳感器,其測量分辨率為1 nm,量程為50 mm。選擇x坐標(biāo)軸正方向進(jìn)行平行移動,分別在光柵位移傳感器的位移值為10 mm、15 mm、20 mm、25 mm、30 mm處分別對三個光學(xué)鼠標(biāo)傳感器的輸出數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄。數(shù)據(jù)如表1所示。

        從表1中的數(shù)據(jù)可以得出:x2的位移值并沒有與光柵傳感器的位移值完全一致,這是因為光學(xué)鼠標(biāo)芯片的分辨率低于光柵式位移傳感器;三個光學(xué)感應(yīng)器的x坐標(biāo)軸和y坐標(biāo)軸方向上的數(shù)據(jù)不相等,因此三個坐標(biāo)軸之間存在一定的偏轉(zhuǎn)角。對表中數(shù)據(jù)進(jìn)行分析處理可以得到各組實驗中的坐標(biāo)軸相對偏轉(zhuǎn)角θ1和θ2,如表2所示。

        從表2的數(shù)據(jù)可以得出偏轉(zhuǎn)角θ1的值約為9.7度,偏轉(zhuǎn)角θ2的約為10.2度。把θ1和θ2的值代入到應(yīng)變計算公式(1)和(2)中,就可進(jìn)行對測量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析。

        3 傳感器的標(biāo)定

        由于任何傳感器在生產(chǎn)制造和裝配過程中都存在不可避免的誤差,這會使得傳感器的測量值與被測量的真實值存在一定的偏差。為了保證傳感器的測量值更好的反應(yīng)被測件的情況,我們一般會選擇更高精度的測量裝置并將其與待標(biāo)定傳感器同步獲得的測量值進(jìn)行處理比較,對傳感器進(jìn)行標(biāo)定實驗,從而進(jìn)一步改進(jìn)傳感器,使得被測量得以更為準(zhǔn)確的傳遞。

        本課題中的二維應(yīng)變傳感器在測量被測件的應(yīng)變時由于多種因素的影響必然也存在著無法避免的測量誤差,所以我們也需要對大形變應(yīng)變傳感器進(jìn)行標(biāo)定實驗。標(biāo)定實驗采用的是傳感器測量分辨率實驗的裝置,在傳感器測量范圍內(nèi)任選一個比對點,連續(xù)調(diào)節(jié)壓電陶瓷驅(qū)動電壓,同步測量獲得比對傳感器測量值和設(shè)計傳感器測量值,比對曲線如圖2所示,位移測量比對曲線最大誤差小于20 um。比較二維應(yīng)變傳感器的測量值與比對傳感器的測量值,分析二者之間的關(guān)系,進(jìn)而得到一系列能夠表征兩者之間對應(yīng)關(guān)系的標(biāo)定曲線,得出二維應(yīng)變傳感器性能指標(biāo)的實測情況。通過綜合上述傳感器的各項實驗得出傳感器的各項性能指標(biāo)為:傳感器的分辨率小于10 um,線性誤差為3.74%,最大測量行程為3 mm。

        4 誤差分析

        從傳感器的設(shè)計和組裝到安裝測量過程中,都會產(chǎn)生相應(yīng)的誤差。這些誤差對傳感器的性能和測量精度造成一定的影響。在試驗的過程中,由于實驗室條件有限,試驗平臺搭建存在一定的結(jié)構(gòu)誤差,在測量操作中不可避免引入人為誤差。通過大量試驗可以得出主要影響因素為傳感器的安裝誤差和傳感器本身產(chǎn)生的誤差。

        5 結(jié)語

        本文根據(jù)光學(xué)鼠標(biāo)芯片的工作原理進(jìn)行對平面二維應(yīng)變測量傳感器的設(shè)計,對傳感器的標(biāo)定實驗及數(shù)據(jù)分析,本傳感器實現(xiàn)了對二維平面的非接觸式測量。本設(shè)計的測量方法對國際上測量應(yīng)變方法的研究提供了一定的參考。

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