LED設(shè)備國產(chǎn)化推動LED產(chǎn)業(yè)加速發(fā)展

備，也都進(jìn)入了大生產(chǎn)線，國產(chǎn)設(shè)備的高性價(jià)比贏得了越來越多LED生產(chǎn)企業(yè)的歡迎。如北京北方微電子生產(chǎn)的干法刻蝕機(jī)和沈陽芯源生產(chǎn)的勻膠顯影設(shè)備在國內(nèi)市場的占有率都已達(dá)到60%。

根據(jù)中國電子專用設(shè)備工業(yè)協(xié)會對國內(nèi)7家LED設(shè)備制造商統(tǒng)計(jì)，2013年LED設(shè)備銷售收入達(dá)到5.05億元，出口交貨值540萬元。而今年1-6月已實(shí)現(xiàn)銷售收入3.26億元，出口交貨值達(dá)到576萬元。

目前國產(chǎn)LED生產(chǎn)線設(shè)備存在的主要問題是設(shè)備可靠性和智能化、自動化有待提高。

目前，我國中晟光電設(shè)備（上海）有限公司、中微半導(dǎo)體設(shè)備（上海）有限公司等企業(yè)已經(jīng)成功攻克生產(chǎn)LED外延芯片的關(guān)鍵設(shè)備-MOCVD，并在2013年進(jìn)入大生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了MOCVD銷售6腔的業(yè)績，向國產(chǎn)MOCVD產(chǎn)業(yè)化邁出了一大步，這不僅擺脫了長期依賴國外進(jìn)口的被動局面，也降低了LED芯片制造的成本。

在LED上下游生產(chǎn)線設(shè)備中，還有藍(lán)寶石晶體生長爐、多線切割機(jī)、研磨機(jī)、拋光機(jī)、清洗甩干機(jī)、勻膠顯影設(shè)備、ITO濺射臺、刻蝕機(jī)、PECVD、AIN PVD、激光劃切機(jī)、點(diǎn)測機(jī)等國產(chǎn)設(shè)