英國劍橋大學(xué)項目2014-LI-JQ-004基于微機(jī)械系統(tǒng)（MEMS）的體聲波（BAW）傳感器

(2014-127-英國-63)

該系統(tǒng)顯著優(yōu)于石英晶體微天平（QCM）的特性，具有緊湊的尺寸、電子相容性、更低的功耗、更低的成本和更高的可靠性。然而，其廣泛應(yīng)用仍然受限于對溫度的依賴性。最近劍橋大學(xué)研究人員已經(jīng)開發(fā)出一種新穎的薄膜體聲波諧振器（FBAR）裝置，該裝置通過使溫度和質(zhì)量負(fù)荷在一個單一設(shè)備同時進(jìn)行測量，而不增加其尺寸或復(fù)雜性，克服對溫度的依賴。通過使用一種新穎的多層器件結(jié)構(gòu)和電極材料，具有較高的工作頻率（1-2 GHz）和世界領(lǐng)先的Q-因子（＞1500）。FBAR諧振器為在現(xiàn)實世界中使用FBAR傳感器監(jiān)控開拓了新道路。該技術(shù)的優(yōu)勢在于同一單元傳感器內(nèi)對幾個物理量進(jìn)行并行檢測，尺寸?。s150微米×150微米），靈敏度高（在10-14～10-15G），具有可調(diào)諧頻率驅(qū)動方式（適用于＞1 GHz應(yīng)用）。

編號：Fle-2629-11

該實驗室成果在國內(nèi)和國際上有很大的市場，已具有專利，外方期望以許可合作等方式開展合作。