張 鳳 孫曉冬 馬青玉

(南京師范大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院，江蘇 南京 210023)

0 引言

藍(lán)寶石是氧化鋁的單晶形態(tài)，因具有優(yōu)良的機(jī)械和光學(xué)性能而被廣泛應(yīng)用[1]。近年來(lái)，半導(dǎo)體照明產(chǎn)業(yè)的發(fā)展帶動(dòng)了藍(lán)寶石襯底材料需求的迅速增長(zhǎng)。在泡生法晶體生長(zhǎng)過(guò)程中[2]，需要在一定的溫度條件下進(jìn)行籽晶的接種、旋轉(zhuǎn)、提拉等一系列操作，合適的溫度場(chǎng)和穩(wěn)定可靠的運(yùn)動(dòng)控制是制備合格晶體的必要條件，而運(yùn)動(dòng)參數(shù)設(shè)置的不合理會(huì)使晶體產(chǎn)生多晶、氣泡和晶體裂縫等缺陷，降低生產(chǎn)效率和藍(lán)寶石晶體質(zhì)量[3－4]。當(dāng)前業(yè)內(nèi)泡生法藍(lán)寶石生長(zhǎng)系統(tǒng)大多采用分立儀表或組態(tài)軟件的生長(zhǎng)測(cè)量控制方案[5]，存在數(shù)據(jù)傳輸種類多、抗干擾能力差、生產(chǎn)成品率低和能源消耗大等缺點(diǎn)[6]。

本文設(shè)計(jì)了一種基于RS-485總線控制的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)[7]。系統(tǒng)采用STC89C52單片機(jī)實(shí)現(xiàn)對(duì)伺服電機(jī)的提拉和旋轉(zhuǎn)控制，以及爐體溫度的精確調(diào)節(jié)和控制;系統(tǒng)以計(jì)算機(jī)智能控制軟件為中心，通過(guò)多條RS-485總線實(shí)現(xiàn)對(duì)加工過(guò)程中的電流、電壓、水溫、提拉位移以及晶體質(zhì)量等加工參數(shù)的監(jiān)控，完成加工流程的數(shù)據(jù)分析、參數(shù)傳遞和指令控制。在泡生法藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)中的成功應(yīng)用證明了所設(shè)計(jì)的系統(tǒng)具有結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功能完善、工作穩(wěn)定可靠、可擴(kuò)展性和抗干擾能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)。

1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)

藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)以計(jì)算機(jī)為中心，通過(guò)四條RS-485總線實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)溫度測(cè)量、電壓和電流采集、藍(lán)寶石晶體的實(shí)時(shí)稱重和智能控制器的控制[8]。藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)結(jié)構(gòu)如圖1所示。

圖1 系統(tǒng)結(jié)構(gòu)圖Fig.1 Structure of the system

六臺(tái)溫度傳感器分別安裝于晶體生長(zhǎng)爐的大蓋、整桿、正極、負(fù)極、爐體和電源處，并共同連接至溫度采集儀表AI-706M。AI-706M將溫度傳感器獲取的信號(hào)轉(zhuǎn)換為數(shù)字信號(hào)，再通過(guò)RS-232/485轉(zhuǎn)換器傳送至計(jì)算機(jī)，實(shí)現(xiàn)對(duì)冷卻水溫度的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。電壓電流傳感器分別安裝于可控功率電源輸出回路，并共同連接至電壓電流采集儀表AI-702M，在計(jì)算機(jī)上實(shí)現(xiàn)對(duì)可控功率電源輸出電壓和輸出電流的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。質(zhì)量傳感器安裝于籽晶桿上，并連接至稱重儀表，在計(jì)算機(jī)上可實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)地顯示晶體質(zhì)量，方便對(duì)晶體的生長(zhǎng)情況進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)。

智能控制器模擬歐陸表輸出控制電源來(lái)實(shí)現(xiàn)熱場(chǎng)的控制，同時(shí)對(duì)伺服電機(jī)進(jìn)行提拉和旋轉(zhuǎn)控制，并實(shí)現(xiàn)提拉位移的光柵測(cè)量，同時(shí)提供手動(dòng)控制和行程檢測(cè)功能。智能控制器選用STC89C52單片機(jī)作為微處理器，其通過(guò)RS-232/485轉(zhuǎn)換器與計(jì)算機(jī)通信。智能控制器結(jié)構(gòu)如圖2所示。

圖2 智能控制器結(jié)構(gòu)圖Fig.2 Structure of the smart controller

智能控制器在上電啟動(dòng)后自動(dòng)對(duì)EEPROM進(jìn)行密鑰匹配，匹配成功后開(kāi)始工作。旋轉(zhuǎn)電機(jī)手動(dòng)開(kāi)關(guān)通過(guò)光電耦合電路向智能控制器提供外部輸入信號(hào)，智能控制器查詢?cè)撔盘?hào)并對(duì)旋轉(zhuǎn)電機(jī)做出相應(yīng)的控制。提拉電機(jī)行程開(kāi)關(guān)通過(guò)光電耦合電路向智能控制器提供輸入信號(hào)，智能控制器查詢判斷提拉電機(jī)是否運(yùn)動(dòng)到極限，并控制提拉電機(jī)的運(yùn)行。光柵尺的滑塊與提拉電機(jī)的提拉桿固定在一起，滑塊移動(dòng)過(guò)程中產(chǎn)生的位移脈沖經(jīng)光柵信號(hào)調(diào)理電路后輸入微處理器，微處理器對(duì)兩路脈沖信號(hào)的電參量進(jìn)行分析以獲取運(yùn)動(dòng)信息，并計(jì)算位移。

智能控制器輸出的電機(jī)控制信號(hào)分別經(jīng)旋轉(zhuǎn)、提拉控制信號(hào)驅(qū)動(dòng)電路后，以線驅(qū)動(dòng)輸出方式與對(duì)應(yīng)的伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器相連，控制旋轉(zhuǎn)、提拉伺服電機(jī)的運(yùn)行。此外，智能控制器通過(guò)改變D/A轉(zhuǎn)換和隔離緩沖電路的輸出電壓來(lái)控制可調(diào)功率電源的輸出功率，從而實(shí)現(xiàn)爐溫的精確調(diào)控。

在晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，智能控制器提供指示電源、提拉脈沖、提拉方向、旋轉(zhuǎn)脈沖、旋轉(zhuǎn)方向、光柵脈沖、串口通信和報(bào)警狀態(tài)的工作狀態(tài)指示燈，并控制蜂鳴器進(jìn)行聲音提示，以便操作者更好地了解智能控制器的工作狀態(tài)，以滿足藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)過(guò)程中的控制需求。

2 智能控制器設(shè)計(jì)

藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)過(guò)程復(fù)雜，需使用多種儀器儀表進(jìn)行監(jiān)控。當(dāng)前業(yè)內(nèi)廠家大多采用分立儀表或組態(tài)軟件的生長(zhǎng)測(cè)量控制方案來(lái)監(jiān)控藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)，但分立儀表的測(cè)控方案不便于生產(chǎn)者的觀察和操作。而組態(tài)軟件的測(cè)控方案則是將數(shù)據(jù)采集和外設(shè)控制集于一體。由于系統(tǒng)內(nèi)部有大量數(shù)據(jù)處理、存儲(chǔ)和通信任務(wù)，計(jì)算機(jī)易出現(xiàn)死機(jī)的情況，容易造成操作失控、存儲(chǔ)數(shù)據(jù)丟失、藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)失敗等嚴(yán)重后果。因此，本文設(shè)計(jì)了智能控制器，實(shí)現(xiàn)外設(shè)的控制和光柵位移的檢測(cè)，減輕了計(jì)算機(jī)的工作負(fù)擔(dān)，使得生產(chǎn)操作更為穩(wěn)定和便捷。智能控制器的主要功能是在計(jì)算機(jī)的控制下實(shí)現(xiàn)光柵位移的檢測(cè)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)提拉電機(jī)的控制以及功率電源的調(diào)節(jié)。

2.1 智能控制器的RS-485控制

智能控制器與計(jì)算機(jī)之間通過(guò)RS-232/RS-485轉(zhuǎn)換器進(jìn)行互聯(lián)，實(shí)現(xiàn)控制指令與數(shù)據(jù)的傳輸。RS-485總線采用平衡發(fā)送和差分接收的通信方式，具有極強(qiáng)的抗共模干擾能力和較長(zhǎng)的通信距離，能夠很好地滿足工業(yè)環(huán)境下的通信要求，有效抑制晶體生長(zhǎng)車間的電磁干擾，提高通信的可靠性[9]。本設(shè)計(jì)中，STC89C52采用工作方式1，波特率為9 600 bit/s的10位異步通信方式。系統(tǒng)控制采用串口中斷方式，根據(jù)不同的指令完成電機(jī)轉(zhuǎn)速設(shè)定、運(yùn)行狀態(tài)檢測(cè)、光柵位移測(cè)量和控制電壓輸出等加工操作。

2.2 光柵位移檢測(cè)

在光柵位移檢測(cè)中，光柵尺滑塊與提拉電機(jī)帶動(dòng)的提拉桿固定在一起，提拉電機(jī)運(yùn)轉(zhuǎn)的同時(shí)帶動(dòng)滑塊作垂直運(yùn)動(dòng)[10]。光柵尺上電后，滑塊在運(yùn)動(dòng)的過(guò)程中會(huì)產(chǎn)生兩路相位相差為90°的脈沖信號(hào)，脈沖信號(hào)的頻率反映光柵尺的運(yùn)動(dòng)速度，脈沖的個(gè)數(shù)反映光柵尺的位移距離，相位的先后反映不同的運(yùn)動(dòng)方向[11]。兩路脈沖信號(hào)通過(guò)光柵信號(hào)調(diào)理電路輸入至智能控制器。智能控制器通過(guò)對(duì)兩路脈沖信號(hào)電參量的判別獲取運(yùn)動(dòng)信息并計(jì)算當(dāng)前滑塊的位置。在定時(shí)中斷過(guò)程中，智能控制器通過(guò)RS-485總線將數(shù)據(jù)傳送至計(jì)算機(jī)，實(shí)現(xiàn)提拉桿位置的實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)顯示。

2.3 電機(jī)控制

電機(jī)驅(qū)動(dòng)器輸入信號(hào)由一對(duì)差分脈沖信號(hào)和一對(duì)差分方向控制信號(hào)組成，分別用來(lái)控制電機(jī)的轉(zhuǎn)速和運(yùn)行方向。伺服電機(jī)驅(qū)動(dòng)器(MS0020A)采用全數(shù)字電機(jī)控制算法，具有良好的魯棒性和自適應(yīng)能力;同時(shí)，還設(shè)置了S型加減速曲線，有效減少了轉(zhuǎn)速突變對(duì)機(jī)械系統(tǒng)的沖擊。

差分脈沖輸入信號(hào)由STC89C52的兩個(gè)定時(shí)器T0、T2產(chǎn)生，分別用來(lái)控制旋轉(zhuǎn)和提拉電機(jī)的轉(zhuǎn)速[12]。在藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，提拉電機(jī)的使用率和轉(zhuǎn)速精度要求高于旋轉(zhuǎn)電機(jī)。因此，在智能控制器的設(shè)計(jì)中，將定時(shí)器T0和T2設(shè)置為自動(dòng)重裝方式產(chǎn)生高精度的輸出脈沖。由于T2的優(yōu)先級(jí)比T0高，因此選用T2產(chǎn)生提拉電機(jī)脈沖信號(hào)，T0產(chǎn)生旋轉(zhuǎn)電機(jī)脈沖信號(hào)，使兩電機(jī)之間的相互干擾降至最低。

2.4 輸出電壓控制

在本系統(tǒng)中，智能控制器的輸出電壓接至可調(diào)功率電源，通過(guò)功率的精確調(diào)節(jié)控制爐內(nèi)溫度。因此，智能控制器輸出電壓的精確穩(wěn)定至關(guān)重要。本設(shè)計(jì)選用DAC8811作為數(shù)模轉(zhuǎn)換器輸出高精度電壓。DAC8811是16位串行輸入、單電流輸出的數(shù)模轉(zhuǎn)換器。智能控制器接收到系統(tǒng)的輸出電壓參數(shù)D后，單片機(jī)以串行方式將參數(shù)送至DAC8811的串行寄存器，經(jīng)過(guò)模數(shù)轉(zhuǎn)換后輸出對(duì)應(yīng)電流，并連接至外部精密運(yùn)放OPA277的反相輸入端以實(shí)現(xiàn)電壓輸出。輸出電壓的計(jì)算公式為:

本系統(tǒng)設(shè)計(jì)采用負(fù)基準(zhǔn)電壓Uref，使得智能控制器Uout端輸出精確穩(wěn)定的正電壓(電壓范圍0～10 V)，控制精度達(dá)到，實(shí)現(xiàn)了電源功率和爐溫的精確調(diào)節(jié)，滿足晶體生長(zhǎng)過(guò)程中對(duì)溫度控制的需求。

3 系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)

3.1 軟件功能設(shè)計(jì)

本系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)控制軟件采用Visual Basic作為開(kāi)發(fā)環(huán)境，實(shí)現(xiàn)藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)流程的智能控制[13]。系統(tǒng)通過(guò)RS-485總線對(duì)晶體生長(zhǎng)過(guò)程中的水溫、電流、電壓、質(zhì)量和位置等參數(shù)進(jìn)行實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè);采用圖形化界面實(shí)時(shí)顯示參數(shù)和運(yùn)行情況;設(shè)計(jì)長(zhǎng)時(shí)間參數(shù)存儲(chǔ)、定量分析和過(guò)程優(yōu)化等功能;利用RS-485總線實(shí)現(xiàn)轉(zhuǎn)速、輸出電壓、光柵坐標(biāo)和運(yùn)行狀態(tài)的參數(shù)傳輸，獲取并顯示報(bào)警信息;指揮智能控制器實(shí)現(xiàn)提拉和旋轉(zhuǎn)電機(jī)的運(yùn)行控制，高精度的功率和溫度控制，光柵脈沖檢測(cè)和位移計(jì)算。程序界面具有良好的人機(jī)交互功能，可方便快捷地實(shí)現(xiàn)生產(chǎn)過(guò)程中的操作控制。

3.2 通信協(xié)議設(shè)定

在本系統(tǒng)中，溫度采集儀表AI-706M、電壓電流采集儀表AI-702M、稱重儀表XL-10000及智能控制器都需要與計(jì)算機(jī)進(jìn)行通信，因此，應(yīng)根據(jù)不同的儀表采用相應(yīng)的串行通信協(xié)議。AI儀表使用RS-485通信接口。在一個(gè)RS-485總線上可以掛接多個(gè)設(shè)備，因此必須給每個(gè)儀表分配一個(gè)互不相同的固定地址[14]。本設(shè)計(jì)中的儀表地址分配如表1所示。

表1 儀表地址分配Tab.1 Address allocation for instruments

AI儀表采用16進(jìn)制數(shù)據(jù)格式來(lái)表示各種指令代碼及數(shù)據(jù)。軟件通信指令分為讀指令和寫指令。具體說(shuō)明如下。

①讀:地址代號(hào)+52H(82)+要讀的參數(shù)代號(hào)+0+0+校驗(yàn)碼。

②寫:地址代號(hào)+43H(67)+要寫的參數(shù)代號(hào)+寫入數(shù)低字節(jié)+寫入數(shù)高字節(jié)+校驗(yàn)碼。

③地址代號(hào):是兩個(gè)相同的字節(jié)，數(shù)值為儀表地址+80H。

④校驗(yàn)碼:采用16位求和校驗(yàn)方式，要讀參數(shù)的代號(hào)×256+82+ADDR。

⑤返回?cái)?shù)據(jù):測(cè)量值PV+給定值SV+輸出值MV及報(bào)警狀態(tài)+所讀/寫參數(shù)值+校驗(yàn)碼。

其中PV、SV及所讀參數(shù)值均各占2 B，MV占1 B，狀態(tài)位占1 B，校驗(yàn)碼占2 B，共10 B。

3.3 軟件流程

系統(tǒng)軟件具有實(shí)時(shí)參數(shù)顯示、運(yùn)行時(shí)間顯示、狀態(tài)指示、晶體質(zhì)量顯示、光柵位置顯示、圖形顯示、升降控制、旋轉(zhuǎn)控制、電源控制、自動(dòng)存儲(chǔ)、自動(dòng)加工等諸多功能，可以實(shí)時(shí)顯示運(yùn)行狀態(tài)，對(duì)晶體生長(zhǎng)過(guò)程和運(yùn)行時(shí)間進(jìn)行管理，實(shí)時(shí)記錄系統(tǒng)運(yùn)行控制參數(shù)文件，滿足生產(chǎn)需要，方便對(duì)生產(chǎn)過(guò)程進(jìn)行控制和管理[5－6]。

系統(tǒng)軟件每次運(yùn)行都會(huì)在計(jì)算機(jī)指定路徑下生成一個(gè)數(shù)據(jù)記錄文件，并每隔1 s存儲(chǔ)晶體生長(zhǎng)參數(shù)和系統(tǒng)運(yùn)行參數(shù)，能夠?qū)崿F(xiàn)長(zhǎng)時(shí)間的海量存儲(chǔ)數(shù)據(jù)，便于后期的優(yōu)化分析。軟件能夠在圖形界面上實(shí)時(shí)繪制溫度、電流、電壓、功率、晶體生長(zhǎng)量的實(shí)時(shí)變化曲線，為生產(chǎn)操作者提供直觀的參考。

4 試驗(yàn)結(jié)果與分析

4.1 系統(tǒng)的運(yùn)行與控制

系統(tǒng)運(yùn)行界面左側(cè)顯示通過(guò)RS-485總線獲得的運(yùn)行參數(shù)欄和狀態(tài)指示欄，同時(shí)提供系統(tǒng)加工的時(shí)間顯示，數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)刷新，為系統(tǒng)的運(yùn)行提供監(jiān)控和指示參數(shù);系統(tǒng)界面中間為晶體生長(zhǎng)示意圖，當(dāng)提拉桿提拉、下降以及晶體質(zhì)量發(fā)生變化時(shí)，會(huì)以圖形方式直觀顯示;系統(tǒng)界面右側(cè)提供晶體質(zhì)量和光柵位置實(shí)時(shí)顯示，并通過(guò)升降和旋轉(zhuǎn)速度的設(shè)置，隨時(shí)實(shí)現(xiàn)提拉電機(jī)的提速和方向的控制以及旋轉(zhuǎn)電機(jī)的轉(zhuǎn)速控制，為藍(lán)寶石晶體的生長(zhǎng)速度控制提供實(shí)時(shí)的數(shù)據(jù)調(diào)整功能。

智能控制器模擬了歐陸表的功能，以實(shí)現(xiàn)電源的精確控制。系統(tǒng)運(yùn)行界面右下角是電源控制欄。當(dāng)藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐內(nèi)完成抽真空操作，進(jìn)入升溫過(guò)程時(shí)，需在6 h內(nèi)將可調(diào)功率電源從0升至30 kW。界面顯示生長(zhǎng)爐選用的是120 kW/10 V的外接電源，當(dāng)前功率為0。根據(jù)升溫要求，輸入的目標(biāo)功率為30 kW，功率斜率為5 000 W/h，按下確認(rèn)按鍵，至此系統(tǒng)進(jìn)入升溫過(guò)程，每隔1 s計(jì)算輸出控制電壓參數(shù)，智能控制器通過(guò)RS-485總線接收參數(shù)并由D/A輸出控制電壓，實(shí)現(xiàn)加熱功率的精確控制，滿足晶體生長(zhǎng)過(guò)程中對(duì)溫度控制的需求。本設(shè)計(jì)能夠利用計(jì)算機(jī)軟件來(lái)取代業(yè)內(nèi)通用的歐陸表控制方案，降低硬件成本，提高控制精度，增強(qiáng)系統(tǒng)的靈活性。

4.2 實(shí)時(shí)參數(shù)監(jiān)測(cè)

菜單欄中設(shè)計(jì)了質(zhì)量變化率曲線，質(zhì)量曲線，爐體、整桿、正極、負(fù)極、電源、水溫、爐體電流、電源電壓、爐體功率曲線的實(shí)時(shí)顯示功能，為生產(chǎn)操作者提供直觀的參考。運(yùn)行過(guò)程中，爐體冷卻水溫度變化曲線如圖3(a)所示，當(dāng)前溫度值為46.6℃。晶體生長(zhǎng)過(guò)程中，晶體質(zhì)量變化能很好地反映晶體的生長(zhǎng)質(zhì)量，質(zhì)量變化率通常被用來(lái)作為生長(zhǎng)監(jiān)控的重要指標(biāo)，因此本系統(tǒng)設(shè)計(jì)了質(zhì)量變化率曲線，可以調(diào)整時(shí)間間隔來(lái)實(shí)時(shí)監(jiān)控不同時(shí)段內(nèi)晶體的生長(zhǎng)情況。拉尖過(guò)程中藍(lán)寶石晶體質(zhì)量變化率曲線如圖3(b)所示，其變化范圍為－1～1 kg/h，在籽晶接種成功后，需將提拉速度降低，生長(zhǎng)率保持在0.2 kg/h左右，才能保證藍(lán)寶石晶體的穩(wěn)定生長(zhǎng)。

圖3 實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)曲線圖Fig.3 Real-time monitoring curve

4.3 加工結(jié)果

本系統(tǒng)在江蘇省能建機(jī)電實(shí)業(yè)有限公司的泡生法藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)爐的控制中得到了成功應(yīng)用，單個(gè)藍(lán)寶石晶體的最大質(zhì)量可以達(dá)到40 kg。在晶體制備過(guò)程中，系統(tǒng)運(yùn)行穩(wěn)定可靠，可以方便快捷地實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體的監(jiān)測(cè)和外設(shè)的控制，使藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)的成品率質(zhì)量得到了提高，降低了生產(chǎn)能耗和成本;系統(tǒng)自動(dòng)記錄了藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)流程中的重要生長(zhǎng)數(shù)據(jù)和控制參數(shù)，為后續(xù)分析和流程優(yōu)化提供了重要依據(jù)。

5 結(jié)束語(yǔ)

針對(duì)傳統(tǒng)方式生產(chǎn)藍(lán)寶石晶體自動(dòng)化智能化程度低等問(wèn)題，本文介紹了一種RS-485總線控制的藍(lán)寶石晶體生長(zhǎng)系統(tǒng)。用以替代歐陸表的智能控制器以STC89C52單片機(jī)為中心，實(shí)現(xiàn)對(duì)伺服電機(jī)的提拉和旋轉(zhuǎn)控制;系統(tǒng)以計(jì)算機(jī)控制軟件為中心，通過(guò)多條RS-485總線實(shí)現(xiàn)加工過(guò)程中的電流電壓、冷卻水溫度、提拉位移以及晶體質(zhì)量等加工參數(shù)的讀取，并進(jìn)行數(shù)據(jù)的分析和加工流程的控制，實(shí)現(xiàn)對(duì)智能控制器的參數(shù)傳遞和指令控制。試驗(yàn)表明，本系統(tǒng)能夠?qū)崿F(xiàn)計(jì)算機(jī)和儀表的RS-485數(shù)據(jù)通信，完成晶體生長(zhǎng)的狀態(tài)監(jiān)測(cè)和生長(zhǎng)流程控制，具有以計(jì)算機(jī)為中心、結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單、功能完整、可擴(kuò)展性和抗干擾能力強(qiáng)的優(yōu)點(diǎn)，有著良好的應(yīng)用前景。

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