近日,中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué)合肥微尺度國(guó)家實(shí)驗(yàn)室王曉平研究組、羅毅研究組采用新的方法和工藝,成功實(shí)現(xiàn)了在單層氧化石墨烯上直接繪制納米晶體管器件,為石墨烯技術(shù)與大規(guī)模集成電路相融合提供了新的可能。
據(jù)其研發(fā)人員介紹說(shuō),他們采用一種全新的設(shè)計(jì)思路,首先在絕緣的氧化石墨烯上通過(guò)局域還原反應(yīng),直接制備導(dǎo)電的納米線路并構(gòu)筑成晶體管和互聯(lián)電路。然后,利用表面鍍鉑的原子力針尖的局域催化作用,在氫氣環(huán)境下將氧化石墨烯加熱到100℃左右,制備出最小寬度僅20納米的還原石墨烯條帶,其電導(dǎo)率超過(guò)10的四次方每米西門子,比普通氧化石墨烯提高了100萬(wàn)倍。最后,利用該方法,成功演示了納米互聯(lián)電路和場(chǎng)效應(yīng)晶體管器件。測(cè)試結(jié)果表明,其性能明顯優(yōu)于目前常用的導(dǎo)電聚合物和非晶硅場(chǎng)效應(yīng)管器件。