上海市集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新服務(wù)平臺(tái)：提高創(chuàng)“芯”力，讓“散裝”變“精裝”

上海市集成電路產(chǎn)業(yè)技術(shù)創(chuàng)新平臺(tái)在推動(dòng)企業(yè)發(fā)展，服務(wù)產(chǎn)業(yè)升級(jí)中取得了明顯成效。為上海華力生產(chǎn)線的建設(shè)提供技術(shù)支持；協(xié)助上海先進(jìn)半導(dǎo)體公司建立特色工藝技術(shù)平臺(tái)，使其成為目前國(guó)內(nèi)主要的汽車電子生產(chǎn)基地；與浙江大立公司合作開發(fā)非制冷式紅外MEMS芯片制造工藝技術(shù)，帶動(dòng)企業(yè)及產(chǎn)業(yè)發(fā)展；為上海光刻機(jī)中心開發(fā)100nm光刻機(jī)（樣機(jī)）提供測(cè)試評(píng)價(jià)服務(wù)，協(xié)助其開發(fā)工藝、優(yōu)化性能。與中微、盛美、光刻機(jī)中心、睿勵(lì)、安集等設(shè)備和材料廠商合作，承接國(guó)家中長(zhǎng)期科技專項(xiàng)研發(fā)任務(wù)。其合作伙伴還包括AMAT、ASML、TEL等國(guó)際著名設(shè)備和材料廠商，以及Novellus、LAM、日新、尼康等未來合作者。

多種模式服務(wù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展

在服務(wù)中，平臺(tái)充分發(fā)揮子平臺(tái)功能，保證統(tǒng)一運(yùn)作，合理、有序且有效地開展各項(xiàng)服務(wù)。其工藝技術(shù)開發(fā)服務(wù)，還與大型集成電路制造企業(yè)開展長(zhǎng)期研發(fā)合作，針對(duì)工藝技術(shù)組成研發(fā)聯(lián)盟，并與合作企業(yè)分?jǐn)偝杀?。平臺(tái)采用委托、共同和輔助三種研發(fā)模式，為企業(yè)建立研發(fā)項(xiàng)目提供各種條件支持。平臺(tái)與中小型企業(yè)建立專業(yè)性項(xiàng)目合作關(guān)系，服務(wù)中小型制造企業(yè)技術(shù)升級(jí)；與國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體設(shè)備和材料廠商建立資源互補(bǔ)的策略合作關(guān)系，為其提供進(jìn)入大生產(chǎn)前的驗(yàn)證和評(píng)價(jià)服務(wù)；將特約服務(wù)、常年服務(wù)、定制服務(wù)、協(xié)作服務(wù)、免費(fèi)服務(wù)等五種服務(wù)模式相結(jié)合，在已有公共服務(wù)平臺(tái)基礎(chǔ)上，總結(jié)成果與經(jīng)驗(yàn)，調(diào)研市場(chǎng)，圍繞企業(yè)發(fā)展的共性需求，整合資源，在不以盈利為目的的基礎(chǔ)上，提供快速、優(yōu)質(zhì)的公共服務(wù)，滿足企業(yè)需求，增強(qiáng)上海地區(qū)設(shè)計(jì)企業(yè)的水平與競(jìng)爭(zhēng)力。平臺(tái)還采用服務(wù)量化衡量指標(biāo)，建立相應(yīng)的評(píng)價(jià)體系，每年接受政府和服務(wù)企業(yè)的監(jiān)督，以及服務(wù)量與滿意度的評(píng)估。

平臺(tái)不僅為集成電路制造企業(yè)提供了先進(jìn)工藝研發(fā)和驗(yàn)證的服務(wù)平臺(tái)，使企業(yè)不影響正常生產(chǎn)即可進(jìn)行前期技術(shù)研發(fā)、小批流片，降低研發(fā)成本和風(fēng)險(xiǎn)，也為國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)企業(yè)產(chǎn)品開發(fā)提供了特色工藝模塊，使國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線更好地服務(wù)于設(shè)計(jì)公司，進(jìn)一步增強(qiáng)設(shè)計(jì)公司的產(chǎn)品開發(fā)能力。同時(shí)也在技術(shù)升級(jí)和新技術(shù)合作開發(fā)上提供幫助，為國(guó)內(nèi)集成電路制造企業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)支撐，使其獲得持續(xù)的技術(shù)來源和相關(guān)的專利保護(hù)。為該產(chǎn)業(yè)的可持續(xù)發(fā)展發(fā)揮了重要作用，使行業(yè)內(nèi)的研發(fā)機(jī)構(gòu)、院校、企業(yè)發(fā)揮合力，共同推進(jìn)產(chǎn)業(yè)升級(jí)。

產(chǎn)學(xué)研用助推產(chǎn)業(yè)升級(jí)

針對(duì)我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展中存在的研發(fā)成本過高、技術(shù)創(chuàng)新能力不強(qiáng)、專利積累過少、國(guó)內(nèi)芯片設(shè)計(jì)業(yè)和制造聯(lián)動(dòng)困難、設(shè)備和材料研發(fā)難以進(jìn)入大生產(chǎn)等系列瓶頸問題，平臺(tái)將對(duì)國(guó)家級(jí)集成電路研發(fā)中心“8+12”英寸中試線進(jìn)行完善和升級(jí)，形成每月提供各種短流程和全流程8’研發(fā)片和12’研發(fā)片的能力，為國(guó)內(nèi)外集成電路制造和設(shè)計(jì)企業(yè)、大學(xué)和科研機(jī)構(gòu)提供45-32nm先進(jìn)工藝技術(shù)研發(fā)的公共平臺(tái)和知識(shí)產(chǎn)權(quán)專利共享機(jī)制；并且提供非標(biāo)準(zhǔn)CMOS特色工藝技術(shù)的研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化環(huán)境，加快傳感器、智能電力、汽車電子以及生物芯片等產(chǎn)品的開發(fā)速度，提升產(chǎn)品開發(fā)能力；同時(shí)加強(qiáng)IP核庫和產(chǎn)品設(shè)計(jì)公共服務(wù)平臺(tái)，增強(qiáng)國(guó)內(nèi)生產(chǎn)線接受國(guó)內(nèi)設(shè)計(jì)產(chǎn)品流片的能力；和大型生產(chǎn)線聯(lián)合建成12’國(guó)產(chǎn)設(shè)備示范工程，加快國(guó)產(chǎn)設(shè)備和材料驗(yàn)證優(yōu)化后進(jìn)入大生產(chǎn)線試用。

通過自身的運(yùn)作，平臺(tái)希望實(shí)現(xiàn)產(chǎn)學(xué)研用相結(jié)合，以支撐產(chǎn)業(yè)發(fā)展為目標(biāo)、面向上海乃至全國(guó)集成電路制造、設(shè)計(jì)、材料、設(shè)備、封裝、測(cè)試等產(chǎn)業(yè)鏈內(nèi)所有大中小型企業(yè)開展服務(wù)，通過有效整合大學(xué)、科研院所、科技中介服務(wù)機(jī)構(gòu)及骨干企業(yè)等優(yōu)勢(shì)單位資源，面向企業(yè)技術(shù)創(chuàng)新共性需求提供公共服務(wù)；也將充分發(fā)揮研發(fā)中心及相關(guān)聯(lián)合單位在國(guó)家半導(dǎo)體創(chuàng)新體系中的核心地位，加強(qiáng)研發(fā)中心產(chǎn)學(xué)研合作平臺(tái)的功能，建立一個(gè)針對(duì)集成電路關(guān)鍵裝備及成套工藝技術(shù)的公共服務(wù)平臺(tái)，以及一種合作開發(fā)共性技術(shù)的典范，為國(guó)內(nèi)集成電路工藝技術(shù)的持續(xù)發(fā)展產(chǎn)生良性循環(huán)作用。