董麗鳳，李艷麗，王吉源

（江西理工大學(xué)信息工程學(xué)院，江西 贛州 341000）

CMOS集成電路閂鎖效應(yīng)抑制技術(shù)

董麗鳳，李艷麗，王吉源

（江西理工大學(xué)信息工程學(xué)院，江西 贛州 341000）

閂鎖效應(yīng)是CMOS集成電路在實際應(yīng)用中失效的主要原因之一，而且隨著器件特征尺寸越來越小，使得CMOS電路結(jié)構(gòu)中的閂鎖效應(yīng)日益突出。文章以P阱CMOS反相器為例，從CMOS集成電路的工藝結(jié)構(gòu)出發(fā)，采用可控硅等效電路模型，較為詳細(xì)地分析了閂鎖效應(yīng)的形成機(jī)理，給出了閂鎖效應(yīng)產(chǎn)生的三個基本條件，并從版圖設(shè)計和工藝設(shè)計兩方面總結(jié)了幾種抑制閂鎖效應(yīng)的關(guān)鍵技術(shù)。

CMOS集成電路；閂鎖效應(yīng)；可控硅；抑制

1 引言

CMOS（Complementary Metal-Oxide-Semiconductor）集成電路是目前大規(guī)模（LSI）和超大規(guī)模（VLSI）集成電路中廣泛應(yīng)用的一種電路結(jié)構(gòu)，相對于傳統(tǒng)的雙極型、NMOS和PMOS集成電路而言，其在功率消耗、噪聲抑制等方面具有明顯的優(yōu)勢，雖然CMOS電路具有以上眾多優(yōu)點，但也有一些由于自身結(jié)構(gòu)引發(fā)的寄生效應(yīng)限制了其優(yōu)越性的充分發(fā)揮，隱含于體硅CMOS（指在硅襯底上制作的CMOS）結(jié)構(gòu)中的閂鎖效應(yīng)就是一個最典型的例子，并且隨著器件尺寸的不斷縮小，閂鎖效應(yīng)對電路性能的影響將愈發(fā)明顯。

2 閂鎖效應(yīng)及其形成機(jī)理

閂鎖效應(yīng)（latch up）是指在體硅CMOS結(jié)構(gòu)中，從電源到地存在的PNPN寄生可控硅結(jié)構(gòu)，在滿足可控硅觸發(fā)條件下，引起電源到地的極大電流，破壞電路正常工作乃至燒毀整個電路的現(xiàn)象，也稱自鎖效應(yīng)。閂鎖效應(yīng)往往發(fā)生在芯片中某一局部區(qū)域，有兩種情況：一種是閂鎖只發(fā)生在外圍與輸入輸出有關(guān)的地方，另一種是閂鎖可能發(fā)生在芯片的任何地方，在使用中前一種情況遇到較多。

下面以一個P阱CMOS反相器為例，來說明閂鎖效應(yīng)的形成機(jī)理[1-2]。圖1是CMOS反相器的剖面圖。從圖1中我們可以看出，在形成CMOS反相器結(jié)構(gòu)的同時，也不可避免地產(chǎn)生了由寄生雙極晶體管構(gòu)成的PNPN器件，即可控硅（SCR），該可控硅器件由兩個橫向的PNP雙極型晶體管和兩個縱向的NPN雙極型晶體管組成，即P溝道MOSFET的源（漏）極、N型襯底以及P阱分別為橫向PNP雙極晶體管LT1（LT2）的發(fā)射極、基極和集電極；N溝道MOSFET的漏（源）極、P阱及N型襯底分別為縱向NPN雙極晶體管VT1（VT2）的發(fā)射極、基極及集電極，這種寄生的縱向NPN晶體管和橫向的PNP晶體管通過P阱和共同的襯底耦合。

因此我們可以得到寄生可控硅結(jié)構(gòu)的等效電路圖，如圖2所示。

從圖2中可以看出，雙極晶體管VT2、LT2可以不予考慮，因此可以將該電路進(jìn)行簡化，得到簡化的可控硅結(jié)構(gòu)等效電路圖，如圖3。由寄生部分的等效電路圖分析閂鎖效應(yīng)發(fā)生的條件。由圖3可見寄生電路在LT1和VT1之間形成了一個正反饋回路，在正常情況下，由于Vdd與Vss之間有一個反偏的阱與襯底PN結(jié)隔離，只有很小的二極管漏電流在其間流過，不會對反相器正常工作產(chǎn)生影響。但當(dāng)CMOS集成電路接通電源后，如果在A點有電流注入，會使節(jié)點電壓VA上升，即NPN管VT1的VBE增大，當(dāng)VBE增大到一定程度時（＞0.7V），縱向NPN晶體管VT1會導(dǎo)通而進(jìn)入放大區(qū)，導(dǎo)致IC2增大，故使得VB下降，VB下降則LT1的VBE也增大，導(dǎo)致|IC1|增大，最終導(dǎo)致VA進(jìn)一步上升，一旦LT1和VT1之間形成的正反饋回路增益大于或等于1，上述過程將持續(xù)下去，直至兩個晶體管完全導(dǎo)通，在Vdd與Vss之間產(chǎn)生很大的電流。此時，即使A點的注入電流消失，Vdd與Vss之間的電流仍然存在，這就是閂鎖效應(yīng)的形成過程。

下面導(dǎo)出產(chǎn)生閂鎖效應(yīng)的條件，假設(shè)NPN管的共射電流增益為β1，PNP管的共射電流增益為β2，A點的注入電流為IA。根據(jù)射、集、基極的電流關(guān)系有：IA=IRW+IB1，IC1=β1IB1，IC1=IRS+IB2，IC2=β2IB2，所以：

式中IRW、IRS較小，因此有：IC2≈β1β2IA。

若β1β2＞1，則IA的反饋量IC2＞IA。這樣兩個寄生管同時工作，形成正反饋回路，加深了可控硅導(dǎo)通，在電源和地之間形成極大的導(dǎo)通電流，并使電源和地之間鎖定在一個很低的電壓，即該電路被閂鎖。

由上述分析可總結(jié)出產(chǎn)生閂鎖效應(yīng)的三個基本條件，即：

（1）環(huán)路增益必須大于1，即βNPN×βPNP≥1；

（2）橫向PNP管和縱向PNP管的發(fā)射結(jié)都被加正偏電壓；

（3）電源所提供的最大電流大于寄生可控硅導(dǎo)通所需要的維持電流。

3 閂鎖效應(yīng)的抑制技術(shù)

由以上分析可知，閂鎖效應(yīng)起因于寄生的可控硅結(jié)構(gòu)，且其發(fā)生需具備一定的條件，因此只要破壞產(chǎn)生閂鎖效應(yīng)的三個基本條件或其中之一，就能有效地避免閂鎖的發(fā)生。在實際應(yīng)用中，通?？蓮陌鎴D和工藝等方面采取措施，消除閂鎖效應(yīng)的發(fā)生。

3.1 版圖設(shè)計考慮

3.1.1 保護(hù)環(huán)技術(shù)

由產(chǎn)生閂鎖效應(yīng)的基本條件可知，減小電阻RS和RW，降低寄生三極管的電流放大倍數(shù)βNPN，βPNP，可有效提高抗閂鎖的能力。因此，可以通過在版圖設(shè)計中引用保護(hù)環(huán)技術(shù)[3]來實現(xiàn)減小襯底電阻RS和阱區(qū)電阻RW的目的。圖4為增加了保護(hù)環(huán)的反相器剖面圖。

從圖中看出所謂保護(hù)環(huán)即是在N襯底區(qū)P溝道器件的周圍加上接電源Vdd的N+環(huán)；在P阱區(qū)N溝道器件的周圍加上接Vss的P+環(huán)。

3.1.2 合理布局電源接觸孔

合理布局電源接觸孔，可以降低橫向電流密度和襯底電阻RS，減小寄生晶體管的放大倍數(shù)， 同樣可以達(dá)到抑制閂鎖的目的。需注意的問題如下[4]：

（1）采用接襯底的環(huán)形Vdd電源線（P阱），并盡可能將襯底背面接Vdd；

（2）增加電源Vdd和Vss接觸孔，并盡可能加大接觸面積；

（3）P阱CMOS中接Vdd的孔盡可能安排的離阱遠(yuǎn)一些，接Vss的孔要盡可能安排在阱的所有邊緣上。同時對每一個接Vdd的孔都要在相鄰的阱中配以對應(yīng)的Vss接觸孔，并盡量使Vdd和Vss的接觸孔的長邊相互平行。

3.2 工藝方面考慮

3.2.1 外延襯底技術(shù)

外延襯底技術(shù)[5]主要是通過減小襯底電阻RS達(dá)到抑制閂鎖的目的。普通N型襯底工藝是將整個電路做在一個低摻雜的N-型襯底上，使得襯底電阻RS較大，外延襯底則是采用雙層襯底，即在低摻雜的N-型襯底下方還有一層較高摻雜的N+襯底，以此大大減小了襯底電阻RS，增加了閂鎖的預(yù)防水平。

3.2.2 倒退阱

類似于高注入的襯底，倒退阱可以降低阱的電阻RW，防止縱向的寄生三極管開啟。制作倒退阱有多種方法，如埋層的外延層，高能離子注入及反型雜質(zhì)的注入等。

3.2.3 溝槽隔離

所謂溝槽隔離就是在PN有緣區(qū)之間形成一個絕緣的槽體，絕緣物質(zhì)通常為二氧化硅，以此來降低橫向三極管的增益，削弱NMOS晶體管和PMOS晶體管之間可能形成的寄生連接，從而起到預(yù)防閂鎖的作用。槽的深度越深，對閂鎖的防治效果就越好。

3.2.4 SOI技術(shù)

SOI工藝技術(shù)是指在表層與襯底之間加入一層絕緣層，由于有了更高的阻抗，使電子遷移不會傳到下層，使電子束或電子本身的遷移速度加快，從而提高了整個芯片的性能，使芯片速度更快、耗電更少、電路密度更高。由于絕緣層的存在，阻斷了PNPN放電路徑的形成，從根本上避免了閂鎖的形成。

4 結(jié)束語

隨著CMOS集成電路的飛速發(fā)展，芯片上的器件尺寸越來越小，閂鎖效應(yīng)的預(yù)防問題變得愈發(fā)重要，因此需盡可能地避免、降低或消除閂鎖效應(yīng)的形成，從而為CMOS電路的廣泛應(yīng)用奠定基礎(chǔ)。

［1］牛征.CMOS電路中的閂鎖效應(yīng)研究[J].電子與封裝，2007，3.

［2］錢敏等.CMOS集成電路抗閂鎖策略研究[J].集成電路應(yīng)用，2005，2.

［3］唐曉峰等.CMOS電路抗閂鎖研究[J].微處理機(jī)，2009，2.

［4］朱正涌.半導(dǎo)體集成電路[M].北京：清華大學(xué)出版社，2000.

［5］艾倫等著，馮軍等譯.CMOS模擬集成電路設(shè)計[M].北京：電子工業(yè)出版社，2005.

Overview on the Prevention of Latch-up Effect in CMOS IC

DONG Li-feng, LI Yan-li, WANG Ji-yuan
（Jiangxi University of Science and Technology,Ganzhou341000,China）

Latch-up effect is one of main cause that CMOS IC becomes invalid in application, and as device channel length becomes smaller and smaller, Latch-up effect in CMOS structure is stand out increasingly. Based on CMOS inverter in P-well, the structure of CMOS IC are presented.SCR equivalent circuit model is took to analyze the mechanism of latch-up in detail, gives three main conditions that latch-up becomes and sums up several kinds of key technology in prevention from layout and process.

CMOS IC; latch-up effect; SCR; prevention

TM341

A

1681-1070（2010）09-0028-03

2010-04-16

董麗鳳 (1981-)，女，遼寧錦州人，2007年遼寧大學(xué)畢業(yè)，碩士，助教，研究方向為微電子學(xué)與固體電子學(xué)。