黃賀利 李頌華 吳玉厚 孫健 王鵬飛 趙梓辰

摘要 為獲得雙平面研磨Si3N4 圓柱滾子的最佳工藝參數(shù)組合，采用正交試驗(yàn)法，探究研磨盤轉(zhuǎn)速、研磨壓力和磨?；绢w粒尺寸對(duì)其表面質(zhì)量和去除效率的影響規(guī)律，并以工件的表面粗糙度和材料去除效率作為研磨最佳工藝參數(shù)的優(yōu)選依據(jù)。結(jié)果表明：隨著研磨盤轉(zhuǎn)速和研磨壓力的增大，工件表面粗糙度先減小后增大；且磨粒基本顆粒尺寸和工件表面粗糙度、研磨盤轉(zhuǎn)速和研磨壓力和去除效率均呈正相關(guān)。Si3N4 圓柱滾子研磨的最佳工藝參數(shù)組合是金剛石磨粒基本顆粒尺寸為2.6 μm、研磨盤轉(zhuǎn)速為20 r/min、研磨壓力為0.15 MPa；在此最優(yōu)參數(shù)下，可獲得表面粗糙度為0.048 6 μm、材料去除效率為1.20 μm/min 的光滑無損傷Si3N4 圓柱滾子。

關(guān)鍵詞 雙平面研磨；Si3N4 圓柱滾子；表面粗糙度；去除效率

中圖分類號(hào) TG58; TQ164 文獻(xiàn)標(biāo)志碼 A文章編號(hào) 1006-852X（2023）03-0371-08

DOI 碼 10.13394/j.cnki.jgszz.2022.0165

收稿日期 2022-09-29 修回日期 2022-12-05