李富強(qiáng),陶友瑞，2,鄭楠纖,段書用，2

(1.河北工業(yè)大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院，天津 300401;2.河北工業(yè)大學(xué)，電氣設(shè)備可靠性與智能化國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，天津 300401)

0 引言

工業(yè)過程檢測與控制中，壓力儀表占現(xiàn)場儀表的三分之一左右[1]。電容式壓力變送器作為壓力測量與流量測量儀表的核心部件，其工作原理為當(dāng)外界壓力作用于隔離膜片，隔離膜片發(fā)生變形引起δ室內(nèi)的傳遞介質(zhì)流動(dòng)，導(dǎo)致施加預(yù)加張力的中心測量膜片在壓差作用下產(chǎn)生變形位移，引起固定電極和測量膜片之間距離的變化，從而使二者電容量發(fā)生改變，電路控制部分將電容量的變化轉(zhuǎn)換成電壓的變化，生成輸出信號，利用電學(xué)方法間接測量得到壓力差值或壓力值。同時(shí)電容式壓力變送器是直接與被測介質(zhì)接觸的現(xiàn)場儀表，常在高溫、腐蝕、振動(dòng)、沖擊等環(huán)境中工作。由于工藝流程的大型化、復(fù)雜化及智能化的未來發(fā)展要求，對檢測儀表的精度、穩(wěn)定性、可靠性提出了更高的要求[2]。據(jù)相關(guān)研究表明，我國自行研發(fā)的中高檔儀器儀表的性能參數(shù)已與國外產(chǎn)品十分接近，但受制于工業(yè)性能測試評估體系的缺失，導(dǎo)致影響儀表可靠性的指標(biāo)尚不明確，無法評估儀表的可靠度，有可能出現(xiàn)故障漏報(bào)和誤報(bào)現(xiàn)象[1]，因此，在綜合電容式壓力變送器儀表的三大誤差影響精度因素的基礎(chǔ)上[2]，本文分析溫度和測量膜片預(yù)加張力對于電容式壓力變送器測量精度的影響。對于電容式壓力變送器測量精度的溫度影響，已經(jīng)有一系列的相關(guān)研究。徐國傳[3]分析了電容式壓力變送器的綜合誤差主要由儀表本身的測量精度A，環(huán)境溫度變化帶來的誤差T以及靜壓變化帶來的誤差S3部分構(gòu)成。由此可見，環(huán)境溫度變化對于變送器的測量精度的影響不容忽視。使用電容式差壓變送器測量時(shí)，需要對溫度誤差進(jìn)行補(bǔ)償或校正，減少其對測量精度的影響。趙東峰[4]說明了電容式壓力變送器δ室內(nèi)的傳遞介質(zhì)會隨溫度變化從而對測量精度產(chǎn)生影響，這是溫度誤差產(chǎn)生的一個(gè)主要因素。杜建生[5]分析了電容式壓力變送器實(shí)際使用情況下的各類故障，存在由于測量介質(zhì)溫度過高導(dǎo)致膜盒組件靠近測量端側(cè)的δ室內(nèi)的傳遞介質(zhì)膨脹導(dǎo)致儀器儀表損壞的實(shí)例。在實(shí)際情況中，存在由溫度引起的電容式壓力變送器的零點(diǎn)漂移誤差，并且漂移誤差會隨溫度變化而變化。鄭萍等[6]說明了壓力變送器如何選擇溫度電阻，通過溫度補(bǔ)償電路進(jìn)行溫度誤差的補(bǔ)償。由于是通過3個(gè)溫度點(diǎn)來進(jìn)行溫度電阻的選擇，溫度電阻的選擇方法簡單，調(diào)節(jié)范圍有限，很容易因?yàn)闇囟入娮柽x擇不恰當(dāng)導(dǎo)致壓力測量不準(zhǔn)確。蒲明輝等[7]針對差動(dòng)平行極板初始極距不同的問題進(jìn)行誤差分析，得到一種誤差校正方法。揣榮巖[8]等分析了電容式雙動(dòng)極板的結(jié)構(gòu)特性，發(fā)現(xiàn)其線性范圍提高，降低了非線性范圍。盡管目前針對電容式壓力變送器的溫度影響因素的研究眾多，但是這些分析與研究結(jié)果大多是聚焦于單純的溫度變化及其補(bǔ)償研究，對于電容式壓力變送器內(nèi)部結(jié)構(gòu)部件耦合溫度影響分析涉及不多。事實(shí)上，通過電容式壓力變送器的工作原理可知，其內(nèi)部構(gòu)件測量膜片的預(yù)加張力對于溫度誤差也有十分重要的影響。王思仁[9]通過對電容式壓力變送器工作原理的分析得到電容式壓力變送器是由測量環(huán)節(jié)和轉(zhuǎn)換環(huán)節(jié)構(gòu)成開環(huán)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，雖然結(jié)構(gòu)簡單，但是由于開環(huán)，各個(gè)環(huán)節(jié)的誤差會按照1∶1的關(guān)系傳遞到后級。孟岳[10]分析了電容薄膜真空計(jì)的感壓膜片的預(yù)加張力與位移的關(guān)系，其在不同預(yù)加張力作用下受到不同壓力載荷產(chǎn)生的位移變化是不同的。因此測量膜片結(jié)構(gòu)參數(shù)的改變疊加上溫度誤差，會對整機(jī)性能產(chǎn)生不可忽視的影響。

本文在已有研究的基礎(chǔ)上，對某電容式壓力變送器通過DIC(digital image correlation，數(shù)字散斑相關(guān)法)實(shí)驗(yàn)反求其內(nèi)部測量膜片的預(yù)加張力，然后采用液體熱膨脹的流固耦合等效分析方法[11]對不同預(yù)加張力條件下的測量膜片的溫度-位移進(jìn)行數(shù)值模擬。在此基礎(chǔ)上分析測量膜片位移變化和相對基準(zhǔn)位移的位移偏移量ε隨溫度和預(yù)加張力的變化規(guī)律。

1 計(jì)算方法與模型

1.1 計(jì)算方法

本文主要研究電容式壓力變送器膜盒的測量膜片在不同預(yù)加張力條件下，由于膜盒兩側(cè)的δ室溫度分布不均勻，導(dǎo)致溫度較高的δ室內(nèi)的傳遞介質(zhì)產(chǎn)生溫度膨脹，分析20～70 ℃的溫度變化對其測量精度的影響。利用等效表面載荷的方法并結(jié)合液體溫度、壓強(qiáng)和體積之間的關(guān)系，設(shè)定在電容式壓力變送器膜盒中，溫度升高導(dǎo)致的傳遞介質(zhì)膨脹對于膜盒的作用是均勻分布的，傳遞介質(zhì)為不可壓縮流體，不需要考慮傳遞介質(zhì)的黏度隨溫度變化情況以及流動(dòng)阻力。在隔離膜片和中心測量膜片的彈性變形內(nèi)，隔離膜片和中心測量膜片的受力決定了其變形的大小，將液體模型的溫度膨脹變化等效為壓力變化，省去液體分析模型。通過逐漸加大壓力來模擬溫度升高的效果，控制方程[11]的計(jì)算表達(dá)式為

(1)

式中：K為液體的體積模量；ρ0為初始溫度下液體的密度；p為在容器內(nèi)壁施加垂直于內(nèi)壁表面且處處相等的壓力；V0與V1分別為變形前和變形后的體積；ρT為各參數(shù)代入PVT公式后求得的等效液體的密度。通過對比液體在不同溫度下的密度分布[12]，可得到此時(shí)等效液體的溫度T。

本文中甲基硅油體積模量滿足式(2)：

K=ρc2

(2)

式中：ρ為甲基硅油密度；c為甲基硅油體積聲速。

1.2 膜盒建模

以某款實(shí)際型號的電容式壓力變送器為例，通過對其進(jìn)行結(jié)構(gòu)拆分并結(jié)合工作原理分析，其主要由結(jié)構(gòu)部件和電路部件構(gòu)成。膜盒是其核心結(jié)構(gòu)部件。圖1為膜盒工作原理示意圖，圖2為膜盒結(jié)構(gòu)示意圖。膜盒由兩側(cè)相同的波紋隔離膜片，中間為施加預(yù)加張力的中心測量膜片和2個(gè)相同的半杯體構(gòu)成。其中半杯體由陶瓷體、玻璃體和半杯體殼體組成，三者在具體的膜盒結(jié)構(gòu)中被加工組成一個(gè)結(jié)構(gòu)整體，因此在膜盒仿真分析中視為一個(gè)整體參與仿真分析。膜盒內(nèi)部的傳遞介質(zhì)為甲基硅油液體，儲存在由隔離膜片，半杯體和中心測量膜片三者共同構(gòu)成的密封的δ室內(nèi)，δ室容積為2 mL，兩側(cè)各一。

圖1 電容式壓力變送器膜盒原理示意圖

圖2 電容式壓力變送器膜盒結(jié)構(gòu)示意圖

通過對膜盒的結(jié)構(gòu)拆解及工作原理的分析，結(jié)合主要研究問題及分析方法，確定主要分析部件為波紋隔離膜片，中心測量膜片以及傳遞介質(zhì)。據(jù)此對結(jié)構(gòu)進(jìn)行簡化。由于在20～70 ℃條件下，液體的溫度變化效果遠(yuǎn)大于金屬部件的溫度變化效果，因此將半杯體部分認(rèn)為是構(gòu)成液體存儲結(jié)構(gòu)的一部分，不參與仿真分析。同時(shí)將膜盒結(jié)構(gòu)理想化，不考慮其中金屬零部件的結(jié)構(gòu)中材料的缺陷和加工過程等產(chǎn)生的殘余應(yīng)力。

1.3 仿真分析建模

由于利用流固耦合的等效方法分析，流體模型可以進(jìn)行等效處理，因此對固體結(jié)構(gòu)部分進(jìn)行建模。表1為膜片材料的力學(xué)性能參數(shù)表，表2為波紋隔離膜片的型面參數(shù)表。波紋隔離膜片的直徑為30 mm，厚度為0.05 mm，波紋采用正弦波形，膜片材料為316L鋼，該材料具有良好的耐腐蝕性和強(qiáng)度，能有效減小外部測量介質(zhì)對隔離膜片的危害，延長變送器的使用時(shí)間。

表1 膜片材料力學(xué)性能參數(shù)表

表2 波紋隔離膜片型面參數(shù)表

圖3為波紋隔離膜片網(wǎng)格劃分模型。因?yàn)椴y隔離膜片的徑向形狀是具有高度空間對稱的圓形，其徑向和軸向的寬厚比很大，采用殼單元來進(jìn)行有限元分析。將模型劃分為5個(gè)部分方便網(wǎng)格劃分，最大網(wǎng)格大小控制在0.5mm，最后經(jīng)過統(tǒng)計(jì)得到節(jié)點(diǎn)數(shù)為18 145個(gè)、單元數(shù)為18 418個(gè)的波紋隔離膜片網(wǎng)格劃分模型。

圖3 波紋隔離膜片網(wǎng)格劃分模型

測量膜片的直徑為30mm，厚度為0.1mm。膜片材料為結(jié)構(gòu)鋼。因?yàn)橹行臏y量膜片在膜盒中受到傳遞介質(zhì)的保護(hù)，不直接接觸外界的測量介質(zhì)，并且結(jié)構(gòu)鋼屬于常用材料，經(jīng)濟(jì)適用性好。結(jié)構(gòu)鋼的力學(xué)性能參數(shù)如表1所示。

圖4為中心測量膜片網(wǎng)格劃分圖。由于中心測量膜片的徑向形狀是具有高度空間對稱的圓形，其徑向和軸向的寬厚比很大，利用同樣的方法進(jìn)行處理。采用自動(dòng)網(wǎng)格劃分技術(shù)，最大網(wǎng)格大小控制在0.5mm，最后經(jīng)過統(tǒng)計(jì)得到節(jié)點(diǎn)數(shù)為3 476、單元數(shù)為3 401的中心測量膜片網(wǎng)格劃分模型。

圖4 中心測量膜片網(wǎng)格劃分模型

1.4 邊界條件設(shè)定

由于實(shí)際情況下，電容式壓力變送器的中心測量膜片具有預(yù)加張力。因此參考孟岳[10]分析電容薄膜真空計(jì)和任鳳琴[13]的熱脹式膜片張緊裝置原理，在仿真中通過對中心測量膜片施加一個(gè)徑向位移來等效代替預(yù)加張力，利用傳遞介質(zhì)熱膨脹應(yīng)力分析的等效方法將溫度變化導(dǎo)致的膜盒一側(cè)的δ室內(nèi)的液體膨脹效果等效為膨脹壓力，將膨脹壓力作為均布載荷施加到中心測量膜片一側(cè)，另一側(cè)相對取零。同時(shí)為了提高計(jì)算的精度，減小非線性誤差，打開靜力學(xué)分析模塊的大變形功能。

2 預(yù)加張力反求

2.1 DIC實(shí)驗(yàn)

DIC(digital image correlation)是一種非接觸式的用于全場形狀、變形、運(yùn)動(dòng)測量的方法，它直接處理的對象是具有一定灰度分布的數(shù)字圖像(散斑圖)，通過對比材料或者結(jié)構(gòu)表面在變形前后的散斑圖，運(yùn)用相關(guān)算法得到全場位移和應(yīng)變。該方法對實(shí)驗(yàn)環(huán)境要求極為寬松，并且具有全場測量、抗干擾能力強(qiáng)、測量精度高等優(yōu)點(diǎn)。

DIC實(shí)驗(yàn)方法：為了模擬膜盒受到外界測量介質(zhì)的液體壓力，采用彈簧、硅橡膠和旋轉(zhuǎn)抓馬構(gòu)成壓力施加設(shè)備，通過壓力計(jì)算公式結(jié)合彈簧剛度系數(shù)等參數(shù)計(jì)算位移，可以實(shí)現(xiàn)旋轉(zhuǎn)抓馬的不同位移來模擬液體不同壓力的施加情況。對膜盒一側(cè)(設(shè)定為A側(cè))波紋隔離膜片施加模擬壓力0.2 MPa，采用DIC設(shè)備，分析另一側(cè)(設(shè)定為B側(cè))波紋隔離膜片的變形位移情況。具體實(shí)驗(yàn)流程和實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場如圖5、圖6、圖7所示。

圖5 實(shí)驗(yàn)流程

圖6 實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場1

圖7 實(shí)驗(yàn)現(xiàn)場2

2.2 DIC實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析

圖8為通過DIC實(shí)驗(yàn)得到的B側(cè)波紋隔離膜片的位移變形數(shù)據(jù)圖。圖9為通過仿真分析得到的中心測量膜片的變形結(jié)果。分析數(shù)據(jù)得到如下結(jié)果：B側(cè)波紋隔離膜片最大位移處為中心處，波紋膜片最大位移約為0.18 mm。

圖8 波紋隔離膜片位移變形數(shù)據(jù)

圖9 中心測量膜片預(yù)加張力44 MPa時(shí)的變形

當(dāng)A側(cè)隔離膜片的變形導(dǎo)致δ室內(nèi)的傳遞介質(zhì)產(chǎn)生流動(dòng)，傳遞介質(zhì)傳遞壓力使中心測量膜片產(chǎn)生變形，按照同樣的作用方式分析可得，壓力最終傳導(dǎo)到另一側(cè)B側(cè)波紋膜片，使其發(fā)生變形。利用傳遞介質(zhì)液體的不可壓縮性條件，于是B側(cè)波紋隔離膜片變形前后容積變化V1等于中心測量膜片變形前后容積變化V2。采用陳新華[14]提出的容積公式簡化計(jì)算波紋隔離膜片在小變形條件下的容積變化：

(3)

式中：S為波紋膜片最大變形位移；R為波紋膜片最大變形半徑；r為波紋隔離膜片中心硬芯處半徑。

利用容積公式簡化計(jì)算平膜片在小變形條件下的容積變化：

(4)

式中：H為中心測量膜片最大變形位移；R為中心測量膜片最大變形半徑。

通過小變形位移計(jì)算公式可以得到V1和V2，結(jié)合流體不可壓縮條件，利用V1=V2，經(jīng)過計(jì)算得施加某預(yù)加張力的中心測量膜片在0.2 MPa壓力下的位移應(yīng)該在0.22 mm左右。表3為中心測量膜片在不同預(yù)加張力條件下的仿真分析結(jié)果，最終得到了在施加給中心測量膜片預(yù)加張力44 MPa時(shí)，中心最大位移為0.19 mm，符合相關(guān)實(shí)驗(yàn)結(jié)果和分析數(shù)據(jù)，如圖9所示。由此建立了完善的中心測量膜片的參數(shù)信息。

表3 中心測量膜片的不同預(yù)加張力仿真分析

3 結(jié)果分析

3.1 預(yù)加張力為44 MPa時(shí)，不同溫度下的位移變形分析

利用DIC實(shí)驗(yàn)得到中心測量膜片的實(shí)際預(yù)加張力為44 MPa，結(jié)合計(jì)算分析方法，通過軟件進(jìn)行仿真，分析一側(cè)δ室內(nèi)的傳遞介質(zhì)在20～70 ℃條件下，另一側(cè)相對溫度不變時(shí)，傳遞介質(zhì)溫度變化引起測量膜片的位移變形情況，得到不同溫度下的測量膜片中心位移數(shù)據(jù)。將20 ℃的位移變化設(shè)定為0，并列出如表4所示的以10 ℃為增量，20～70 ℃的位移變化表。同時(shí)得到擬合公式(5)。

表4 溫度-位移偏移變化表

y=1.19×10-3x-0.024

(5)

由表4和式(5)可見，預(yù)加張力44 MPa條件下的溫度-位移變化成線性關(guān)系，斜率為1.19×10-3。以測量膜片位移作為分析度量指標(biāo)，以預(yù)加張力44 MPa，20 ℃條件下的位移作為基準(zhǔn)位移，分析溫度對位移偏移影響，結(jié)合表4數(shù)據(jù)和式(5)可知，每10 ℃的溫度變化，會引起大概1.19%的位移偏移。說明擬合公式的斜率可以作為偏移影響的一種度量，同時(shí)說明溫度的大范圍變化會導(dǎo)致較大的影響。

3.2 不同預(yù)加張力、不同溫度下的位移變形分析

前文分析的是固定預(yù)加張力下、同溫度的位移變形，在此基礎(chǔ)上，通過調(diào)整預(yù)加張力的大小，進(jìn)一步研究預(yù)加張力和溫度變化對于測量膜片的影響。將預(yù)加張力以44 MPa為參考，分別取預(yù)加張力為0、18、26、53、70、88 MPa 加以分析，圖10與表5分別是在分析一側(cè)δ室內(nèi)的傳遞介質(zhì)在20～70 ℃的條件下對中心測量膜片產(chǎn)生的位移變形后，得到的溫度-預(yù)加張力-位移圖以及擬合數(shù)據(jù)得到的擬合公式表。同時(shí)建立如圖11和表6所示，以10 ℃為增量，20～70 ℃的每種預(yù)加張力情況下測量膜片位移相對于預(yù)加張力44 MPa條件下的基準(zhǔn)位移的偏移分布表和偏移分布圖。選用位移偏移量ε分析位移精度情況。

表5 溫度-預(yù)加張力-位移擬合公式

表6 不同預(yù)加張力條件下的溫度-位移偏移量

圖10 溫度-預(yù)加張力-位移擬合圖

圖11 不同預(yù)加張力的溫度-位移偏移量圖

ε=ωt-ω

(6)

式中：ωt為某預(yù)加張力條件下某溫度對應(yīng)的位移量；ω為預(yù)加張力44 MPa條件下與ωt相同溫度對應(yīng)的位移量。

通過表5和圖10可見，預(yù)加張力為0MPa的測量膜片的溫度-位移變形擬合公式為二次多項(xiàng)式形式，預(yù)加張力不為0MPa的測量膜片的溫度-位移變形擬合公式都近似為線性關(guān)系，二者明顯不同，說明給定預(yù)加張力可以讓測量膜片的溫度-位移變形具有線性關(guān)系。線性關(guān)系對于后續(xù)的溫度位移偏移的處理十分有利。

由于不同的預(yù)加張力對應(yīng)著不同的線性關(guān)系，也對應(yīng)著不同的線性系數(shù)，結(jié)合線性系數(shù)的數(shù)學(xué)意義以及實(shí)際物理背景，線性系數(shù)可以認(rèn)為是度量給定預(yù)加張力情況下測量膜片的溫度-位移的一種靈敏度系數(shù)。因此預(yù)加張力的合理選擇在測量膜片的設(shè)計(jì)和使用中十分重要。

表6和圖11說明初始位移偏移相對來說較小，但是隨著溫度變化的增大，偏移的效果越來越明顯，其中無預(yù)加張力情況和有預(yù)加張力情況在相同溫度變化下引起的測量膜片位移變化十分明顯。

當(dāng)給定預(yù)加張力時(shí)，對溫度和位移偏移數(shù)據(jù)進(jìn)行分析并擬合，得到溫度和位移偏移量的變化是線性關(guān)系，相關(guān)結(jié)果如表7所示，可以認(rèn)為其中擬合公式的線性系數(shù)是溫度-位移偏移量的一個(gè)度量指標(biāo)，通過公式推導(dǎo)和數(shù)據(jù)分析，發(fā)現(xiàn)這個(gè)度量指標(biāo)可以認(rèn)為是上文中提到的給定預(yù)加張力與基準(zhǔn)預(yù)加張力的兩個(gè)溫度-位移的靈敏度系數(shù)之差。

表7 溫度-預(yù)加張力-位移偏移量擬合公式

圖12為預(yù)加張力與位移偏移量的關(guān)系，當(dāng)給定相同溫度時(shí)，對預(yù)加張力與位移偏移量數(shù)據(jù)進(jìn)行分析，發(fā)現(xiàn)隨著預(yù)加張力的增大，位移偏移量隨之減小，但是這種位移偏移量變化不是線性關(guān)系。當(dāng)施加預(yù)加張力大于基準(zhǔn)預(yù)加張力后，位移偏移量為負(fù)數(shù)，說明由于預(yù)加張力過大，導(dǎo)致位移變化量相較于基準(zhǔn)量降低，實(shí)際表現(xiàn)為顯示壓力數(shù)值小于實(shí)際壓力數(shù)值。

圖12 不同溫度的預(yù)加張力-位移偏移量圖

3.3 預(yù)加張力與線性系數(shù)的分析

圖13為預(yù)加張力與擬合公式線性靈敏度系數(shù)的關(guān)系，得到擬合公式為式(7)：

圖13 靈敏度系數(shù)-預(yù)加張力關(guān)系圖

y=22.6x-0.79

(7)

預(yù)加張力與靈敏度系數(shù)是一種冪函數(shù)關(guān)系，隨著預(yù)加張力的增大，剛開始的靈敏度系數(shù)的降低是十分迅速的，但是后面靈敏度系數(shù)的降低十分有限，因此不能單純通過調(diào)整預(yù)加張力來滿足測量膜片對于不同靈敏度要求以及誤差控制的要求，還需要其他的控制手段來實(shí)現(xiàn)實(shí)際使用要求。結(jié)合前文中對于給定預(yù)加張力情況下的溫度-位移和溫度-位移偏移量分析，可以得出，預(yù)加張力和溫度對于位移的影響在于預(yù)加張力決定了位移變化的趨勢；溫度決定了位移變化的大小。

4 結(jié)論

本文通過對電容式壓力變送器膜盒結(jié)構(gòu)進(jìn)行溫度與預(yù)加張力分析，得到如下結(jié)論：

(1)無預(yù)加張力條件下，溫度與測量膜片位移變化為二次曲線關(guān)系，有預(yù)加張力條件下，溫度與測量膜片位移變化為線性關(guān)系。良好的線性關(guān)系能方便后續(xù)的溫度-位移變化的處理，并且線性關(guān)系的系數(shù)可以認(rèn)為是給定預(yù)加張力下的溫度-位移變化的靈敏度系數(shù)。

(2)隨著預(yù)加張力的增加，溫度影響的位移偏移量ε明顯降低。當(dāng)預(yù)加張力固定時(shí)，溫度與位移偏移量ε還是線性關(guān)系，此時(shí)的線性關(guān)系的系數(shù)可以認(rèn)為是偏移量ε的度量，實(shí)際是兩個(gè)溫度-位移變化的靈敏度系數(shù)之差。但當(dāng)溫度采取某一定值時(shí)，預(yù)加張力與位移偏移量ε的關(guān)系不是線性關(guān)系。

(3)預(yù)加張力與線性靈敏度系數(shù)的關(guān)系為冪函數(shù)關(guān)系，開始時(shí)預(yù)加張力的微小改變會引起靈敏度的巨大變化，但是隨著預(yù)加張力的增加，靈敏度的改變十分有限。預(yù)加張力決定了位移偏移量的趨勢，溫度決定了位移偏移量趨勢的大小。

5 結(jié)束語

通過研究不同預(yù)加張力條件下溫度對于位移變化的影響規(guī)律，可為以后的膜盒結(jié)構(gòu)優(yōu)化設(shè)計(jì)提供一定的參考，為合理選擇膜盒預(yù)加張力大小以及后續(xù)電路環(huán)節(jié)進(jìn)行溫度補(bǔ)償電阻的選擇和補(bǔ)償方法的設(shè)計(jì)提供參考和幫助，有助于降低溫度產(chǎn)生的誤差，從而提高設(shè)備的可靠性。