EUV光刻機耗能巨大 芯片制造商生產(chǎn)與節(jié)能減排難并重
2022-11-27 09:50:21
儀器儀表用戶 2022年10期
集微網(wǎng)消息，據(jù)報道，ASML新一代EUV每臺耗電約1百萬瓦，三星、臺積電等芯片制造大廠能源消耗巨。臺積電對化石燃料高度依賴，2025年耗能估占中國臺灣省的12.5%。
ASML旗下新一代的EUV光刻機耗資高達1.5億美元，包含10萬個部件和長達2公里的布線。EUV光刻機體現(xiàn)著更先進芯片的制造過程正變得復雜和能源密集。ASML當前每臺EUV的額定耗電量約為1百萬瓦，約為前幾代設備的10倍，但由于沒有替代品來制造最先進的半導體，芯片行業(yè)可能成為減少全球碳排放的重要絆腳石。
來源：集微網(wǎng)
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