申請?zhí)? 202210134941.9

【申請日】2022.02.14

【公開號】CN114496711A

【公開日】2022.05.13

【分類號】H01J37/32; H01L21/67

【申請人】淮安納微傳感器有限公司

【發(fā)明人】奎建明

【摘 要】本發(fā)明涉及單晶硅刻蝕送氣設(shè)備安全檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種傳感器單晶硅刻蝕裝置的送氣設(shè)備，包括送氣設(shè)備本體，還包括氣體流量計、溫度傳感器、電子顯微鏡和處理器構(gòu)成的檢測系統(tǒng)；處理器用于獲取實(shí)時氣體占比向量、實(shí)時氣壓變化序列、實(shí)時溫度變化序列和實(shí)時刻蝕結(jié)果向量；計算實(shí)時氣壓向量和溫度的實(shí)時穩(wěn)定程度，根據(jù)實(shí)時氣壓向量、實(shí)時溫度、實(shí)時氣壓變化序列、實(shí)時穩(wěn)定程度、實(shí)時氣體占比向量、實(shí)時刻蝕結(jié)果向量和其對應(yīng)的標(biāo)準(zhǔn)數(shù)據(jù)特征之間的差異得到送氣設(shè)備的評價值。本發(fā)明通過該檢測系統(tǒng)對送氣設(shè)備進(jìn)行了檢測評估，確保了送氣設(shè)備的可靠性，保證了刻蝕結(jié)果的穩(wěn)定性。