伍 德， 彭來(lái)湖，2*

(1.浙江理工大學(xué) 浙江省現(xiàn)代紡織裝備技術(shù)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室， 浙江 杭州 310018；2.杭州勤誠(chéng)微電子科技有限公司， 浙江 杭州 310018)

壓電陶瓷其特殊性在于它可以實(shí)現(xiàn)機(jī)械能與電能之間的相互轉(zhuǎn)化，廣泛用于結(jié)構(gòu)振動(dòng)控制[1]、結(jié)構(gòu)健康檢測(cè)[2-3]、選針器的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)[4]、懸臂梁式壓電風(fēng)能發(fā)電裝置[5]、壓電振子[6]和醫(yī)療微型壓電驅(qū)動(dòng)系統(tǒng)[7]等微小驅(qū)動(dòng)元件領(lǐng)域。1993年，由Sincarsin等[8]成功將傳感器與驅(qū)動(dòng)器集成一體并將其命名為“傳感驅(qū)動(dòng)器”。1995年錢新恩[9]利用簡(jiǎn)單搭建的試驗(yàn)平臺(tái)，實(shí)現(xiàn)了單塊壓電材料的傳感功能和執(zhí)行功能。2011年張忠華等[10]通過改變壓電堆疊的邊界條件總結(jié)得到驅(qū)動(dòng)器位移量的變化規(guī)律。2015年劉艷梅等[11]對(duì)實(shí)際壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)特性進(jìn)行測(cè)量，得到了與理論一致的壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)特性曲線。2018年哈爾濱工業(yè)大學(xué)的董欣[12]在結(jié)構(gòu)上集成了壓電傳感驅(qū)動(dòng)器，推導(dǎo)得到驅(qū)動(dòng)器與傳感器的數(shù)學(xué)模型，He等[13]建立壓電堆疊的機(jī)電耦合模型以及電機(jī)主軸的動(dòng)力學(xué)模型。2019年陸顥瓚等[14]建立了單壓電懸臂梁能量收集器在振動(dòng)激勵(lì)下的力學(xué)模型以及壓電輸出模型。Pelletier[15]考慮到壓電驅(qū)動(dòng)器在振動(dòng)中會(huì)引起局部應(yīng)變，提出了一種補(bǔ)償方法，為采集共位信號(hào)提供了方法。王光慶[16]基于壓電雙向效應(yīng)，借助ANSYS軟件建立了壓電振子有限元模型，為本研究進(jìn)行有限元仿真提供了思路。

通過以上文獻(xiàn)可知，驅(qū)動(dòng)傳感器的成功研制為驅(qū)動(dòng)傳感共位特性研究奠定了基礎(chǔ)。但現(xiàn)有研究大部分著重于壓電陶瓷功能性研究，主要用于結(jié)構(gòu)主動(dòng)抑制振動(dòng)、結(jié)構(gòu)健康檢測(cè)及醫(yī)療微型驅(qū)動(dòng)等領(lǐng)域。在同時(shí)實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)和傳感的功能前提下，并未對(duì)驅(qū)動(dòng)傳感功能共位時(shí)內(nèi)部電流信號(hào)的特性進(jìn)行研究分析。

課題組對(duì)壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)傳感共位特性進(jìn)行探究，通過理論推導(dǎo)驗(yàn)證了壓電懸臂梁分別作為傳感器、驅(qū)動(dòng)器、傳感驅(qū)動(dòng)器工作時(shí)內(nèi)部電流的變化規(guī)律，揭示驅(qū)動(dòng)傳感信號(hào)共位的特性；最后通過仿真和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證在不同工作條件下其共位信號(hào)的特點(diǎn)，以期為壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)傳感共位特性在微小驅(qū)動(dòng)元件等領(lǐng)域的研究提供參考，對(duì)利用共位檢測(cè)信號(hào)的壓電結(jié)構(gòu)自檢測(cè)方面研究具有一定意義。

1 雙晶片壓電懸臂梁共位工作機(jī)理

壓電懸臂梁是壓電材料在工程中最常用的機(jī)械結(jié)構(gòu)，一般為單層或雙層壓電晶片與一基板組成的耦合體，如圖1(a)和(b)所示；借此耦合體實(shí)現(xiàn)傳感或執(zhí)行功能以滿足工程上的需求。無(wú)論單層晶體還是雙層晶體的壓電懸臂梁，在絕大多數(shù)情況下僅應(yīng)用其傳感或執(zhí)行功能中的一種，并未將其作為傳感驅(qū)動(dòng)器來(lái)用?，F(xiàn)研究人員將傳感驅(qū)動(dòng)器分成結(jié)構(gòu)集成型和功能集成型，如圖1(c)和(d)所示。分類依據(jù)為傳感器和驅(qū)動(dòng)器的集成方式，其主要區(qū)別在于2個(gè)功能是否由1個(gè)器件來(lái)承擔(dān)實(shí)現(xiàn)。集成型壓電傳感器分別由2個(gè)獨(dú)立的器件來(lái)承擔(dān)，將驅(qū)動(dòng)器和傳感器在結(jié)構(gòu)上集成在一起；而功能型的傳感器則由1個(gè)器件來(lái)實(shí)現(xiàn)傳感和執(zhí)行功能。

圖1 壓電懸臂梁類型及傳感驅(qū)動(dòng)器類型Figure 1 Piezoelectric cantilever type and sensor actuator type

課題組采用雙層晶片壓電懸臂梁作為研究對(duì)象，其中一片實(shí)現(xiàn)驅(qū)動(dòng)傳感功能，另一片作為傳感器采樣信號(hào)，將2片作為對(duì)照組，以提高本研究的可靠性。在實(shí)際應(yīng)用中，相較于單層壓電晶片懸臂梁，其優(yōu)勢(shì)在于高頻工作條件下可通過分時(shí)驅(qū)動(dòng)上下2片壓電晶片使壓電懸臂梁擺動(dòng)。該方法具有工作壽命長(zhǎng)、產(chǎn)熱低、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。本次研究壓電懸臂梁的邊界條件為機(jī)械自由和電學(xué)短路，因采用第一類壓電方程作為理論基礎(chǔ)，取應(yīng)力和電場(chǎng)強(qiáng)度為自變量，應(yīng)變和電位移為因變量。則壓電方程可表示為：

(1)

對(duì)于壓電懸臂梁，當(dāng)在壓電晶片上施加一與極化方向相同的電場(chǎng)，因電場(chǎng)作用，使得極化強(qiáng)度增大，此時(shí)壓電晶片內(nèi)電荷之間的距離發(fā)生變化，造成壓電晶片沿極化方向縮短或伸長(zhǎng)，使得壓電懸臂梁彎曲擺動(dòng)，此時(shí)壓電懸臂梁的等效電路內(nèi)會(huì)因外加電場(chǎng)產(chǎn)生電信號(hào)。在正常彎曲擺動(dòng)過程中，壓電懸臂梁局部產(chǎn)生應(yīng)變變形，二次壓電效應(yīng)產(chǎn)生電信號(hào)耦合進(jìn)入內(nèi)部等效電路中。若在擺動(dòng)過程中與外界產(chǎn)生碰撞，當(dāng)碰撞力或其分力方向與極化方向平行時(shí)，壓電晶片受力變形，內(nèi)部電荷之間距離減小，產(chǎn)生電位移，從而產(chǎn)生放電現(xiàn)象；當(dāng)碰撞力消失，壓電晶片恢復(fù)原有形狀，同理會(huì)產(chǎn)生充電現(xiàn)象。根據(jù)壓電懸臂梁的工作條件，以上幾種信號(hào)會(huì)根據(jù)出現(xiàn)的時(shí)間不同耦合在一起，出現(xiàn)信號(hào)共位的情況。針對(duì)該共位信號(hào)的特性展開深入研究，詳細(xì)解析雙晶片壓電懸臂梁作為傳感驅(qū)動(dòng)器工作時(shí)內(nèi)部電流變化的特點(diǎn)。

2 壓電懸臂梁驅(qū)動(dòng)傳感電流特性分析

雙層壓電晶片耦合體的材料為PZT-5H，極化方向沿壓電懸臂梁的厚度方向。并且選用高碳纖維作為中間基板。3層結(jié)構(gòu)之間通過膠粘接而成。懸臂梁固定端通過導(dǎo)電柱為壓電懸臂梁供電。壓電懸臂梁的尺寸以及實(shí)物如表1和圖2所示。

表1 壓電懸臂梁組成材料以及尺寸大小

圖2 壓電懸臂梁結(jié)構(gòu)和實(shí)物Figure 2 Schematic and physical of piezoelectric cantilever

2.1 壓電驅(qū)動(dòng)器電流特性

壓電懸臂梁做為驅(qū)動(dòng)器時(shí)，可運(yùn)用機(jī)電等效的方法，根據(jù)機(jī)電類比原理將機(jī)械振動(dòng)與電路振蕩2個(gè)領(lǐng)域的問題歸結(jié)到一起分析機(jī)電耦合問題。電路中常用的基本原件有電容器、電阻器和電感線圈，而機(jī)械系統(tǒng)中常用元件有質(zhì)量元件、阻尼元件和彈性元件。將電能與機(jī)械能進(jìn)行對(duì)比，具體對(duì)比關(guān)系如表2所示。

表2 機(jī)械系統(tǒng)與電路系統(tǒng)中功能關(guān)系

從表2可知，在機(jī)械系統(tǒng)與電路系統(tǒng)中，質(zhì)量元件、彈性元件和阻尼元件功能分別類似于電感元件、電容元件和電阻元件。針對(duì)壓電陶瓷的基頻共振電路，可將其類比等效為單自由度機(jī)械振動(dòng)系統(tǒng)。在實(shí)際工況中存在阻尼，需考慮機(jī)械損耗，因此根據(jù)壓電材料基頻附近的電路特性可將其等效電路簡(jiǎn)化為一電容C0并聯(lián)由電容C1、電阻R1、電感L1組成電路，等效示意如圖3(a)所示。由阻抗分析儀(圖3(b)所示)測(cè)出其等效電路具體數(shù)值如下：電阻R1=8.863 2 kΩ，電容C1=305.7 pF，電感L1=95.378 H，電容C0=13.765 nF。

壓電陶瓷片處于自由狀態(tài)時(shí)，在激勵(lì)電壓下，其內(nèi)部存在由等效電路產(chǎn)生的電流信號(hào)，且該電流的具體變化特征為：①在電容C0的作用下產(chǎn)生充放電過程;②在圖3(a)等效電路的作用下會(huì)產(chǎn)生振蕩電流。2種電流耦合在一起即為自由狀態(tài)下壓電陶瓷片內(nèi)部電流的變化特征。借助Multisim軟件搭建如圖3(c)所示仿真電路，探究自由狀態(tài)下壓電陶瓷的內(nèi)部電流變化特征。圖3(d)為壓電陶瓷自由狀態(tài)下等效電路的充放電過程，因充放電過程中幅值相對(duì)于等效電路的幅值較大，為方便后續(xù)實(shí)驗(yàn)測(cè)量數(shù)據(jù)與觀察分析，在采樣電路中加入一放大電阻，通過檢測(cè)電阻的電壓值，來(lái)反映內(nèi)部電流的變化。

圖3 壓電陶瓷片自由狀態(tài)下仿真電路及電壓特性Figure 3 Simulation circuit and current characteristics of piezoelectric ceramics in free state

當(dāng)壓電陶瓷片邊界條件發(fā)生改變時(shí)，將壓電陶瓷片一端作為固定約束，成為壓電懸臂梁模型。此時(shí)再經(jīng)阻抗分析儀測(cè)量得到此時(shí)邊界條件下壓電陶瓷的等效電路具體參數(shù)為電阻R1=88.176 kΩ，電容C1=1.677 6 nF，電感C1=350.31 H，電容C0=14.105 nF。若壓電懸臂梁末端負(fù)載時(shí)，其等效電路具體數(shù)值為：電阻R1=18.06 kΩ，電容C1=2.503 5 nF，電感L1=149.95 H，電容C0=40.865 nF。

分別對(duì)壓電陶瓷處于空載，負(fù)載和自由狀態(tài)下的等效電路進(jìn)行仿真分析，結(jié)果如圖4所示。

圖4 不同狀態(tài)下電流特性放大圖Figure 4 Current characteristic diagram in different states

針對(duì)3種不同邊界條件下的壓電陶瓷，其基頻共振等效電路一致，但各等效元件具體數(shù)值不同，等效電路采集到振蕩信號(hào)在振幅和頻率上差異明顯，故作為驅(qū)動(dòng)器時(shí)壓電懸臂梁的工作邊界條件與其工作過程內(nèi)部電流信號(hào)息息相關(guān)。

2.2 壓電傳感器電流特性

如圖5所示，壓電懸臂梁在工程應(yīng)用中，末端彎曲到一定程度與限位裝置發(fā)生碰撞，造成壓電懸臂梁內(nèi)部電流因正壓電效應(yīng)而改變，壓電懸臂梁在該過程中可實(shí)現(xiàn)傳感功能。沖擊力F作用于壓電懸臂自由端，為一非周期變化的的激振力，該力作用時(shí)間十分短暫，是典型的非周期作用下的響應(yīng)。若v1和v2為系統(tǒng)受到?jīng)_擊前后的速度，m為壓電懸臂梁的質(zhì)量，u為沖量大小，則有：

(2)

因?yàn)閐t趨近于0，若要使Fdt為有限值，則F的值需要趨近于無(wú)窮大,此處沖量可以作為一個(gè)非常有意義的分析工具來(lái)量化力的大小。故可以將壓電懸臂梁受外力沖擊等效為受沖量作用的單自由度的欠阻尼系統(tǒng)，則：

(3)

式中：ζ為阻尼比，ωd為有阻尼振動(dòng)時(shí)的頻率，ωn為無(wú)阻尼振動(dòng)時(shí)的固有頻率，c為壓電懸臂梁的阻尼系數(shù)，k為壓電懸臂梁的等效彈簧常數(shù)。

等效彈簧常數(shù)為：

式中：E為材料的彈性模量，I為復(fù)合梁的橫截面關(guān)于y-y方向上的慣性矩，I=bh3/12。

由于該壓電懸臂梁上下2層為壓電晶片，中間層為高碳纖維，所以需計(jì)算其等效的彈性模量，上下2層壓電陶瓷厚度相同為h1,彈性模量為E1,中間基層厚度為h2，彈性模量為E2，令Ec為復(fù)合梁的等效的彈性模量，b為復(fù)合梁的寬，R為中性軸的曲率半徑，彎矩為：

(4)

而M=EcI/R,因此從式(4)得到彎矩M后，即可求得：

(5)

根據(jù)撓曲線公式推出應(yīng)變關(guān)于時(shí)間變化的規(guī)律:

(6)

由壓電方程可知：

(7)

所用壓電陶瓷片PZT-5H壓電常數(shù)為d31，電極表面積為Ap，對(duì)電極表面積上的電位移量進(jìn)行積分，可得到壓電陶瓷傳感器電極面輸出電荷量的總和Q3為：

Q3=?ApD3dxdy=Apd31T1。

(8)

聯(lián)立式(5)～(7)解得：

(9)

(10)

綜上，根據(jù)動(dòng)力學(xué)方程以及壓電方程求得壓電懸臂梁在限位作用下與限位裝置發(fā)生碰撞產(chǎn)生的電流隨時(shí)間變化的規(guī)律。

2.3 驅(qū)動(dòng)傳感器共位電流特性

壓電懸臂梁作為功能性驅(qū)動(dòng)傳感器，處于正常工作時(shí)，壓電懸臂梁往返擺動(dòng)，內(nèi)部存在由其驅(qū)動(dòng)等效電路產(chǎn)生的電信號(hào)；在該過程中因壓電懸臂梁振動(dòng)使得局部應(yīng)變發(fā)生改變，產(chǎn)生并耦合了二次壓電效應(yīng)電信號(hào)。壓電懸臂梁在限位邊界條件下工作時(shí)，當(dāng)壓電懸臂梁末端未撞擊到限位裝置時(shí)，其內(nèi)部電信號(hào)與未被限位時(shí)相同；撞擊到限位裝置的瞬間，因正壓電效應(yīng)在壓電懸臂梁內(nèi)部產(chǎn)生的電信號(hào)耦合進(jìn)入壓電懸臂梁正常擺動(dòng)的信號(hào)之中，整個(gè)過程如示意圖6所示，t1為壓電懸臂梁撞擊限位裝置時(shí)間點(diǎn)，t2為截取共位信號(hào)結(jié)束的時(shí)間點(diǎn)。壓電懸臂梁同時(shí)實(shí)現(xiàn)傳感器和驅(qū)動(dòng)器功能時(shí)，根據(jù)分析可知其內(nèi)部電信號(hào)為線性耦合。

圖6 共位信號(hào)產(chǎn)生過程Figure 6 Co-location signal generation process

3 實(shí)驗(yàn)

為驗(yàn)證壓電懸臂梁驅(qū)動(dòng)傳感共位的電特性，課題組以壓電雙晶片懸臂梁為研究對(duì)象設(shè)計(jì)實(shí)驗(yàn)，分別對(duì)不同工作狀態(tài)下壓電懸臂梁內(nèi)部電信號(hào)的變化進(jìn)行分析比較，對(duì)上述理論及仿真進(jìn)行驗(yàn)證。實(shí)驗(yàn)流程如圖7(a)所示。

實(shí)驗(yàn)采用2組恒壓源來(lái)控制輸出加載電壓，通過主控板控制輸出電壓的頻率，并加載于壓電懸臂梁上層壓電晶片，使上層晶片作為驅(qū)動(dòng)傳感器。模擬壓電懸臂梁的不同工作狀態(tài)，經(jīng)采樣電路通過高性能示波器分別獲取上層與下層壓電晶片輸出信號(hào)，最后由PC端進(jìn)行數(shù)據(jù)處理并分析結(jié)果，樣機(jī)平臺(tái)如圖7(b)所示。

圖7 實(shí)驗(yàn)流程及裝置Figure 7 Experimental process and device

采用MATLAB對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行濾波處理，得到壓電懸臂梁在空載正常工作時(shí)，上下2層壓電晶片的采樣信號(hào)，如圖8所示。上層壓電晶片因外部加載電場(chǎng)，所以其充電峰值較大，局部振蕩信號(hào)相對(duì)較小。下層壓電晶片作為傳感器被動(dòng)彎曲，因上下晶片極化方向相同，故而其信號(hào)與上層晶片輸出信號(hào)相位角相差180°，且充電時(shí)峰值遠(yuǎn)小于上層壓電晶片輸出信號(hào)峰值。壓電晶片輸出信號(hào)充放電過程為其常見特性，其振蕩信號(hào)特性為本研究重點(diǎn)，因此下文將取其局部振蕩信號(hào)作為研究對(duì)象。

圖8 空載條件下采樣信號(hào)波形Figure 8 Sampling signal waveform under no-load condition

對(duì)壓電懸臂梁在空載正常條件下與限位條件下局部采樣信號(hào)進(jìn)行分析，具體如圖9所示。圖9(a)為本次壓電懸臂梁空載正常工作時(shí)經(jīng)上下2晶片獲取的電信號(hào)，該信號(hào)為壓電懸臂梁作為驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的局部振蕩信號(hào)及二次壓電效應(yīng)的耦合信號(hào)。圖9(b)為在壓電懸臂梁被限位時(shí)經(jīng)上下2晶片獲取的電信號(hào)，壓電懸臂梁從平衡位置達(dá)到限位位置所用時(shí)間十分短暫，當(dāng)壓電懸臂梁撞擊到限位裝置的一瞬間，在沖擊力的作用下經(jīng)正壓電效應(yīng)壓電懸臂梁內(nèi)部產(chǎn)生電位移，耦合到壓電懸臂梁作為驅(qū)動(dòng)器產(chǎn)生的耦合信號(hào)之中，其內(nèi)部電信號(hào)發(fā)生突變。下層壓電晶片輸出信號(hào)整體趨勢(shì)與上層晶片一致。

圖9 不同工作條件下局部采樣信號(hào)波形Figure 9 Local sampling signal waveform under different working conditions

由圖10(a)和(b)可知，壓電懸臂梁在空載條件下的仿真耦合信號(hào)頻率為230 Hz,在受沖擊力時(shí)的仿真耦合信號(hào)為1 690 Hz。如圖10(c)與(d)所示，分別為上下2晶片在200 V電壓激勵(lì)下的不同工作條件下的響應(yīng)頻譜，經(jīng)分析可知，在空載正常工作時(shí)，上下2晶片信號(hào)特征頻率分別為226 Hz和244 Hz。由電路仿真可知，該信號(hào)僅為壓電驅(qū)動(dòng)器等效電路產(chǎn)生的信號(hào)，因此二次壓電效應(yīng)產(chǎn)生的電信號(hào)，在本研究中忽略不計(jì)。在限位工作時(shí)，上層晶片信號(hào)特征頻率為239 Hz和 1 644 Hz，下層晶片信號(hào)特征頻率為236 Hz和1 629 Hz，因此上層驅(qū)動(dòng)壓電晶片信號(hào)耦合了壓電晶片作為傳感器的電信號(hào)，驗(yàn)證了實(shí)驗(yàn)的準(zhǔn)確性及可靠性。圖10中縱坐標(biāo)數(shù)值代表N/2倍的信號(hào)電壓幅值，N為采樣點(diǎn)數(shù)。

圖10 信號(hào)頻譜圖Figure 10 Signal spectrogram

表3為壓電懸臂梁在限位工作條件下時(shí)，不同激勵(lì)電壓下的采樣信號(hào)頻率及其與仿真耦合信號(hào)頻率之間的誤差，可以發(fā)現(xiàn)在不同大小的電壓激勵(lì)下，壓電懸臂梁的采樣信號(hào)頻率與仿真耦合信號(hào)頻率之間的誤差低于4%，且壓電懸臂梁在限位工作條件下存在頻率值在230 Hz和1 640 Hz附近處的響應(yīng)信號(hào)。

表3 實(shí)驗(yàn)信號(hào)頻率采集結(jié)果

4 結(jié)論

課題組針對(duì)壓電懸臂梁驅(qū)動(dòng)傳感共位特性進(jìn)行研究，探究了壓電懸臂梁分別作為傳感器和驅(qū)動(dòng)器的等效電路以及其內(nèi)部電流的變化規(guī)律，分析了壓電傳感驅(qū)動(dòng)器其電流特性為各種信號(hào)在時(shí)序上的線性耦合，建立了壓電懸臂梁工作限位時(shí)的傳感器輸出電流與外部載荷的數(shù)學(xué)模型；通過ANSYSWorkbench有限元仿真軟件模擬了壓電懸臂梁在不同條件下內(nèi)部電流變化，并設(shè)計(jì)了壓電懸臂梁空載和限位2種工作狀態(tài)實(shí)驗(yàn)。得到以下結(jié)論：①在未被限位正常工作時(shí)，在二次壓電效應(yīng)被忽略的情況下，其內(nèi)部?jī)H存在特征頻率為230 Hz的響應(yīng)信號(hào)；②在限位工況時(shí)，其內(nèi)部存在特征頻率頻率分別約為230 Hz與1 640 Hz的響應(yīng)信號(hào)。

針對(duì)壓電懸臂梁作為驅(qū)動(dòng)傳感器共位信號(hào)特性的研究表明：該共位信號(hào)可作為壓電懸臂梁驅(qū)動(dòng)結(jié)果的衡量標(biāo)準(zhǔn)。因壓電懸臂梁中間膠接層剝落或壓電材料老化等因素出現(xiàn)壓電懸臂梁動(dòng)作不到位，可通過共位信號(hào)反饋出壓電懸臂梁的工作狀態(tài),為智能驅(qū)動(dòng)器在自檢測(cè)、自診斷和自保護(hù)等領(lǐng)域提供了新方法，為壓電陶瓷在微小驅(qū)動(dòng)傳感器領(lǐng)域以及驅(qū)動(dòng)傳感共位特性研究提供了思路，推動(dòng)該領(lǐng)域的應(yīng)用。該研究所探究的壓電懸臂梁驅(qū)動(dòng)傳感共位特性在不同工程應(yīng)用中，壓電材料的邊界條件不盡相同，后續(xù)可對(duì)在不同邊界下、更多工況下其共位特性進(jìn)行深入探究。