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        硅片上集成高介電調(diào)諧率的柱狀納米晶BaTiO3鐵電薄膜

        2022-08-25 12:26:28趙玉垚歐陽俊
        無機(jī)材料學(xué)報(bào) 2022年6期
        關(guān)鍵詞:鐵電柱狀硅片

        趙玉垚, 歐陽俊,2

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