郭劍偉，陳 帥，張 顯，賀新鋼，陳 卓，魏永輝

（鄂爾多斯市源盛光電有限責任公司，內(nèi)蒙 古鄂爾多斯 017000）

TFT-LCD 行業(yè)中顯示產(chǎn)品的競爭激烈化，對工廠產(chǎn)能的要求和產(chǎn)品的良品率要求越來越高。封框膠涂布是ODF 工藝中的關(guān)鍵技術(shù)，對于同一尺寸的產(chǎn)品而言，不同的封框膠涂布方式所需要的涂布時間也不同，這直接影響著ODF 的產(chǎn)能。封框膠涂布工藝過程中最常見的不良之一就是溢膠不良，而溢膠不良最易發(fā)生的位置是封框膠涂布的始終端，因而如何減少封框膠涂布的始終端個數(shù)，成為了實際生產(chǎn)中面臨的重要課題。

目前，ODF 工藝中封框膠涂布較為廣泛的方法是Nozzle 噴涂，它主要通過Screw 轉(zhuǎn)速和噴嘴大小來控制封框膠的吐出量，再按照編輯好的配方來涂布出不同的圖形。根據(jù)產(chǎn)品尺寸的大小和產(chǎn)品設(shè)計的不同，封框膠的涂布方式也有所不同，一般來說，一筆涂布主要應(yīng)用于小尺寸產(chǎn)品，因為小尺寸產(chǎn)品的Cell 數(shù)比較多，在涂膠設(shè)備的涂膠Head 有限的情況下，單個Head 涂布的Cell 數(shù)越多，意味著涂布完一張Glass 所用的時間就越長。

Seal 一筆涂布不僅可大大提升涂膠工藝產(chǎn)能，還可有效降低溢膠不良的發(fā)生。溢膠不良大概率會發(fā)生在涂膠的始終端位置，一筆涂布也就是說這個Head 所涂布的所有Cell 都是一筆連續(xù)涂布完成的，而這一筆當中也就只有一個涂膠起始點和一個涂膠結(jié)束點，相比原來一個Cell 一個Cell 的涂布來說，一筆涂布的溢膠不良發(fā)生率會大幅下降。

1 Normal 涂布方式

TFT-LCD 生產(chǎn)中，一張玻璃基板上往往設(shè)計若干個Unit Cell，之后通過切割形成最終需要的液晶盒。一般最常用的封框膠涂布方式如圖1 所示，它將一張玻璃基板上各個Unit Cell 的邊框膠圖案看成是相互獨立的封閉型結(jié)構(gòu)，完成一個Unit Cell 的涂布之后再去涂布另一個Unit Cell，因此我們把這種涂布方式稱之為“單個涂布”。具體的實施方法為：Nozzle 以圖案上的某一點為起點，沿著逆時針（或順時針）的方向移動一周，之后回到起點位置，完成第一個圖案的涂布，然后Nozzle 移動到第二個圖案的起點位置，開始第二個圖案涂布，以此類推，來完成所有圖案的涂布。

圖1 Normal 涂布方式

需要注意的是，封框膠涂布過程中為避免Nozzle 刮碰玻璃基板上已完成的邊框膠，在結(jié)束上一圖案涂布、移動到下一圖案時，Nozzle 會先上升到設(shè)定好的安全高度。然后，Nozzle 移動到目標位置之后再下降到涂布高度?！癗ozzle 升起—移動—下降”這一過程是沒有進行涂布的，對工藝來說屬于無效動作。

2 一筆涂布方式Pattern 制定

2.1 一筆涂布Pattern 1

如圖2 所示，對于設(shè)計有Dummy Seal 的產(chǎn)品，我們把一筆涂布的交叉點設(shè)置為Main Seal 和Dummy Seal相交的位置，Nozzle 移動軌跡沿著箭頭所指方向，所有轉(zhuǎn)變的點都已按順序標注，在交叉點位置由于框膠涂布干涉，會導(dǎo)致交叉點的第二條框膠偏細一些，但是我們可以通過略微變換交叉點的位置，如圖3 所示，使框膠偏細的位置完全轉(zhuǎn)移到Dummy Seal 上，而這個Dummy Seal 在最終切割成單個Cell 時會被切除掉，不會對產(chǎn)品的品質(zhì)造成影響，顯微鏡下產(chǎn)品涂布效果，如圖4 所示。

圖2 一筆涂布方式初始Pattern 1

圖3 一筆涂布方式改善后Pattern 1

圖4 一筆涂布方式改善后Pattern 1 效果圖

2.2 一筆涂布Pattern 2

如圖5 所示，對于設(shè)計上沒有Dummy Seal 的產(chǎn)品，我們把一筆涂布的交叉點位置設(shè)置為兩個單個Cell 相挨著的兩邊上。同樣的，在交叉點位置由于框膠涂布干涉，會導(dǎo)致交叉點的第二條框膠偏細，但由于這個交叉點的兩條框膠最終都會保留在我們的產(chǎn)品上，所以無法通過交叉點位置的變換來解決。因此，如何解決一筆涂布交叉點位置框膠偏細的問題，成為了工業(yè)生產(chǎn)中一個重要的課題。

圖5 一筆涂布方式Pattern 2

3 交叉點位置膠寬調(diào)整

交叉點位置膠寬偏細的原因是第二條框膠由于涂布干涉導(dǎo)致框膠的吐出量偏少，而在Nozzle 口徑大小和Screw 轉(zhuǎn)速一定的前提下，要想改變框膠的吐出量，只能通過改變Head 的移動速度和Nozzle 的涂布Gap 來實現(xiàn)，最終實驗表明，通過移動速度的變化來改變交叉點膠寬無法達到預(yù)期值，而通過Nozzle 的涂布Gap 值的變化來改變交叉點膠寬，最終達到的效果與Normal 涂布方式下的膠寬幾乎無差異。結(jié)果見表1。

表1 一筆涂布交叉點位置膠寬調(diào)整結(jié)果

4 一筆涂布方式問題點總結(jié)與規(guī)避方案

4.1 問題點：開線點檢NG 率升高

封框膠涂布的效果確認有兩點，一是涂布的精度，就是所謂的干寬，二是涂布的位置精度，就是框膠的涂布位置偏移程度。所以，在我們?nèi)粘Ｉa(chǎn)中，以上兩點是需要時刻確保的，然而最關(guān)鍵的一步就是開線時的首片點檢確認，在Normal 涂布方式下，我們在涂布完一個Cell 后對涂布效果進行點檢確認，這樣即使發(fā)生異常，損失的也是一個Cell，而在一筆涂布方式下，每個Head 對應(yīng)的Cell 將會一筆涂布完成，中間是無法停止的，所以，對于點檢確認方面是不利的，一旦涂布異常將會導(dǎo)致所有Cell 都NG。

4.2 規(guī)避方案

依照點檢確認的思路，我們想要在涂布完一個Cell后將其停下來，待確認完畢后，再涂布剩下的所有Cell，可以把此Head 對應(yīng)的所有Cell 中的第一個Cell 拿出來作為一個單獨的Layer，剩余的Cell 可以新建一個Layer，并使用一筆涂布的方式來完成。如圖6 和圖7 所示。

圖6 Normal 涂布方式下點檢Cell

圖7 單個Cell 涂布+ 一筆涂布方式兼容

5 結(jié)論

本文根據(jù)現(xiàn)代TFT-LCD 工業(yè)中，對產(chǎn)能及良率的要求，從產(chǎn)品設(shè)計實際出發(fā)，制定了ODF 工藝中封框膠一筆涂布在滿足膠寬波動的情況下的兩種涂布Pattern，并通過實驗得出了在一筆涂布過程中存在問題的解決方案，即一筆涂布交叉點膠寬偏細的問題和點檢NG 率升高的問題，最終使交叉點的膠寬波動可以控制在±4%以內(nèi)，同時產(chǎn)能可提升約2 000/月，溢膠不良率從0.3%下降到0.03%。