張旭，秦世康，齊歡，Viboon Tangwarodomnukun

（1.浙江工業(yè)大學(xué) a.機(jī)械工程學(xué)院 b.特種裝備制造與先進(jìn)加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，杭州310023；2.Department of Production Engineering, Faculty of Engineering, King Mongkut’s University of Technology Thonburi, Bangkok 10140, Thailand）

K9 光學(xué)玻璃材料具有強(qiáng)度高、耐磨性強(qiáng)、光學(xué)透明度高、化學(xué)物理性能穩(wěn)定等優(yōu)點(diǎn)，在航空航天、微電子、信息技術(shù)等領(lǐng)域得到了廣泛應(yīng)用[1-4]。然而，K9 玻璃是一種典型的硬脆材料，具有較低的斷裂韌性，在加工過(guò)程中容易產(chǎn)生裂紋和亞表面損傷[5]。因此，采用傳統(tǒng)的機(jī)械加工方法難以實(shí)現(xiàn)K9 玻璃表面微結(jié)構(gòu)的高效率、高質(zhì)量加工，而微孔、微通道等微結(jié)構(gòu)又是實(shí)現(xiàn)一些特定功能的基礎(chǔ)。

微細(xì)磨料水射流加工技術(shù)是一種新型非接觸式加工技術(shù)。與其他微細(xì)加工技術(shù)相比，具有無(wú)熱損傷、切削效率高、柔韌性高等優(yōu)勢(shì)，幾乎可以切割任何材料，特別是在硬脆材料等難加工材料領(lǐng)域，具有獨(dú)特的優(yōu)勢(shì)[6-8]，可用于在各種材料上加工微結(jié)構(gòu)[9-12]。

然而，相較于傳統(tǒng)磨料水射流，微細(xì)磨料水射流技術(shù)采用了更小的噴嘴，使用的磨料粒徑很小，且含量低，同時(shí)使用的射流壓力也更小[13]，加工能力有所下降，導(dǎo)致了加工形貌較差。Wang 等[14]用微細(xì)磨料水射流技術(shù)進(jìn)行了玻璃表面的微孔加工實(shí)驗(yàn)研究，由于使用了小粒徑磨料和較低的射流壓力，工件表面的黏性流動(dòng)引起的塑性沖蝕成為了材料去除的主導(dǎo)方式，因此微孔截面呈現(xiàn)出“W”形，微孔中心處的材料較難去除。Pang 等[10,15]也進(jìn)行了類(lèi)似的實(shí)驗(yàn)研究，他們?cè)诓ＡП砻孢M(jìn)行微通道加工，得到的微通道底部表面呈現(xiàn)波紋狀形貌。

為提升微細(xì)磨料水射流技術(shù)的加工性能，Lv 等[16]在工件處引入了超聲振動(dòng)，進(jìn)行了氮化鋁陶瓷拋光實(shí)驗(yàn)，結(jié)果表明，超聲振動(dòng)可以顯著提升微細(xì)磨料水射流的加工效率。Qi 等[17]采用數(shù)值模擬手段對(duì)超聲輔助微細(xì)磨料水射流沖蝕玻璃的過(guò)程進(jìn)行了仿真，結(jié)果也表明，超聲振動(dòng)可以增加材料去除率。Hou 等[18]和陳雪松等[19]的實(shí)驗(yàn)研究也表明，以超聲振動(dòng)作為輔助手段，可以有效提升微細(xì)磨料水射流的沖蝕能力。但超聲振動(dòng)對(duì)沖蝕形貌的改善效果還有待研究。

本文設(shè)計(jì)了相關(guān)實(shí)驗(yàn)，在自主搭建的超聲輔助微細(xì)磨料水射流加工裝置上進(jìn)行了K9 玻璃表面微孔加工實(shí)驗(yàn)，進(jìn)一步研究了超聲振動(dòng)在微細(xì)磨料水射流沖蝕加工K9 玻璃等硬脆材料過(guò)程中的作用，重點(diǎn)探討了超聲振動(dòng)對(duì)微孔形貌、深度、頂部孔徑和底面平坦程度的影響，為提高微細(xì)磨料水射流的加工能力和質(zhì)量提供技術(shù)支持。

1 加工系統(tǒng)工作原理

目前，微細(xì)磨料水射流加工系統(tǒng)常采用前混合式系統(tǒng)，其工作原理為：預(yù)先將水和磨料加入磨料桶中混合，并時(shí)刻保持?jǐn)嚢杵鲾噭?dòng)，使磨料在水中均勻分布，為提升磨料的分散懸浮能力，可以加入一些添加劑。隨后，磨料與水的混合物經(jīng)過(guò)增壓泵的增壓，獲得較高的壓力，最后流經(jīng)內(nèi)徑極小的噴嘴，形成高速微細(xì)磨料水射流束，沖向待加工工件表面。噴嘴或工件可以?shī)A持在運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，實(shí)現(xiàn)各個(gè)方向的運(yùn)動(dòng)，從而加工出各種形狀的微細(xì)結(jié)構(gòu)。

超聲輔助加工是將超聲加工與機(jī)械加工結(jié)合形成的新型復(fù)合加工技術(shù)，通過(guò)在加工工具或工件上施加超聲振動(dòng)，使加工工具或工件作小振幅超聲頻振動(dòng)，從而可以獲得更好的加工性能[20-22]。在微細(xì)磨料水射流加工領(lǐng)域，超聲振動(dòng)可以施加在噴嘴上[23]，也可以施加在工件上[24]，振動(dòng)方向通常與工件加工表面垂直或平行，采用不同的方式可以達(dá)到不同的效果。

超聲振動(dòng)平臺(tái)（如圖1 所示）帶動(dòng)工件在垂直于工件加工表面方向以頻率f、振幅Af振動(dòng)，工件振動(dòng)的位移函數(shù)可以表達(dá)為：

圖1 超聲輔助微細(xì)磨料水射流加工示意Fig.1 Schematic diagram of ultrasonic-assisted micro-abrasive water jet system

式中：vw為工件的運(yùn)動(dòng)速度，m/s；y為工件的位移，m；t為工件運(yùn)動(dòng)時(shí)間，s；f為超聲振動(dòng)頻率，Hz；Af為超聲振動(dòng)振幅，m。

對(duì)工件施加超聲振動(dòng)后，一方面會(huì)增大射流與工件之間的相對(duì)運(yùn)動(dòng)速度；另一方面，超聲振動(dòng)也使工件表面的流場(chǎng)發(fā)生周期性振蕩，改變工件表面尤其是射流滯止區(qū)內(nèi)靜壓的分布，從而影響磨粒的運(yùn)動(dòng)速度和軌跡，最終影響微細(xì)磨料水射流的加工性能。

2 K9 玻璃沖蝕鉆孔實(shí)驗(yàn)

2.1 實(shí)驗(yàn)材料

工件材料選用了 K9 玻璃，尺寸為 45 mm×22 mm×2 mm，如圖2 所示。其硬度高，斷裂韌性低，是一種脆性難加工材料，在精密加工過(guò)程中容易產(chǎn)生微裂紋。K9 玻璃的具體材料參數(shù)見(jiàn)表1。磨料選擇氧化鋁顆粒，密度為 3900 kg/m3，維氏硬度為14.7 GPa，它的硬度高，價(jià)格便宜，適用于玻璃材料的加工實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)中選用了平均粒徑dp為5 μm（主要粒徑范圍為2.7～7 μm，約占83%）的氧化鋁磨料。

圖2 實(shí)驗(yàn)用K9 玻璃Fig.2 K9 glass in the experiment

表1 實(shí)驗(yàn)中K9 玻璃的材料參數(shù)Tab.1 Material parameters of K9 glass in the experiment

2.2 實(shí)驗(yàn)裝置

圖3 是自主設(shè)計(jì)搭建的超聲輔助微細(xì)磨料水射流加工裝置，包含微細(xì)磨料水射流加工系統(tǒng)和超聲輔助系統(tǒng)兩個(gè)基本的系統(tǒng)。裝置中最重要的部件是增壓泵，其性能的優(yōu)劣關(guān)乎微細(xì)磨料水射流的穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)中采用了最大輸出壓力可達(dá)20 MPa 的隔膜式計(jì)量泵，此泵允許磨料和水的混合物直接流經(jīng)其管路。增壓泵出口處連接了囊式蓄能器，可以起到儲(chǔ)存能量、穩(wěn)定壓力、減少功率消耗、補(bǔ)償滲漏、吸收壓力脈動(dòng)和緩和沖擊力等多種作用。蓄能器使用前需要充裝氮?dú)?，充氣壓力約為系統(tǒng)工作壓力的60%（用于穩(wěn)定隔膜式計(jì)量泵的輸出壓力）。噴嘴的材料為氧化鋯陶瓷，內(nèi)徑為0.125 mm，長(zhǎng)度為10.5 mm，具有較好的耐磨性，形成的水射流有較好的集束性。噴嘴固定于三維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，可以在X、Y、Z方向上以精度0.001 mm運(yùn)動(dòng)。超聲振動(dòng)輔助系統(tǒng)主要包含超聲發(fā)生器、換能器、變幅桿和夾具等，為整個(gè)加工過(guò)程提供第二動(dòng)力源，其峰值功率為1000 W，振動(dòng)頻率為20 kHz，輸出端最大振幅為20 μm（可在0～20 μm 間調(diào)節(jié)）。

圖3 超聲輔助微細(xì)磨料水射流加工裝置[24]Fig.3 Ultrasonic-assisted micro-abrasive water jet processing equipment

2.3 實(shí)驗(yàn)方案

微細(xì)磨料水射流沖蝕能力強(qiáng)弱的影響因素有很多，選取影響較大的射流壓力P和加工時(shí)間t作為工藝參數(shù)變量，進(jìn)行單因素實(shí)驗(yàn)。射流壓力和加工時(shí)間均選取了3 個(gè)水平，進(jìn)行全因子實(shí)驗(yàn)，可得到9 種組合，每種組合在工件超聲振動(dòng)和無(wú)超聲振動(dòng)的條件下進(jìn)行對(duì)比實(shí)驗(yàn)，一共得到18 組實(shí)驗(yàn)。具體的加工工藝參數(shù)選取見(jiàn)表2。

表2 實(shí)驗(yàn)工藝參數(shù)及取值Tab.2 Experimental variables and processing parameters

所有實(shí)驗(yàn)均在自主搭建的超聲輔助微細(xì)磨料水射流加工裝置上進(jìn)行。噴嘴被夾具夾持在三維運(yùn)動(dòng)平臺(tái)上，始終與工件保持垂直，靶距為2 mm。工件固定在超聲振動(dòng)平臺(tái)上，在與噴嘴垂直方向上以20 kHz的超聲振動(dòng)頻率和10 μm 的振幅作周期性振動(dòng)。實(shí)驗(yàn)中對(duì)K9 玻璃進(jìn)行定點(diǎn)沖蝕，從水射流從噴嘴出口出射開(kāi)始計(jì)時(shí)，達(dá)到設(shè)定時(shí)間后結(jié)束沖蝕。每組實(shí)驗(yàn)均重復(fù)進(jìn)行3 次，以排除偶然誤差。

3 結(jié)果與討論

3.1 微孔形貌

實(shí)驗(yàn)結(jié)束后，使用基恩士超景深三維顯微鏡對(duì)各條件下加工所得的微孔進(jìn)行了觀測(cè)，其中加工時(shí)間為60 s 時(shí)引入超聲振動(dòng)前后K9 玻璃表面的微孔形貌如圖4 所示，各微孔相應(yīng)的截面輪廓如圖5 所示[24]。從圖4 中可以發(fā)現(xiàn)，無(wú)論有無(wú)超聲振動(dòng)，采用粒徑為5 μm 的氧化鋁磨料在K9 玻璃表面加工出的微孔底面中心處均有明顯的凸起，截面形貌呈現(xiàn)“W”形。一般認(rèn)為，“W”形截面微孔的形成是由于工件材料的去除方式以塑性沖蝕為主，這說(shuō)明超聲振動(dòng)的引入并未改變小顆粒磨粒對(duì)工件材料的去除機(jī)理。引入超聲振動(dòng)后，微孔的尺寸發(fā)生了明顯的變化。從截面輪廓圖中可以看出，微孔孔徑略微有所減小，但深度明顯增加，總體材料去除率得到提升。同時(shí)，底面凸起的范圍在引入超聲振動(dòng)后有所減小。

圖4 微孔形貌Fig.4 Micro-hole morphology: a) without ultrasonic vibration, P=4 MPa; b) with ultrasonic vibration, P=4 MPa; c) without ultrasonic vibration, P=6 MPa; d) with ultrasonic vibration, P=6 MPa; e) without ultrasonic vibration, P=8 MPa; f) with ultrasonic vibration, P=8 MPa

圖5 微孔截面輪廓Fig.5 Micro-hole section profile

為進(jìn)一步分析超聲振動(dòng)對(duì)微細(xì)磨料水射流在K9玻璃表面加工微孔效果的影響，對(duì)微孔的主要尺寸進(jìn)行了測(cè)量，如圖6 所示。具體包含微孔頂部直徑、微孔深度和駝峰值（Hump depth，定義為微孔底面最低處到中間凸起頂部的高度差）。每個(gè)微孔均取不同方向的4 條截面輪廓線(xiàn)進(jìn)行尺寸測(cè)量，由于每組實(shí)驗(yàn)均重復(fù)了3 次，最終的結(jié)果是12 條截面輪廓線(xiàn)上測(cè)量結(jié)果的平均值。

圖6 微孔主要測(cè)量尺寸Fig.6 Main measurement dimensions of the micro-hole

3.2 微孔深度

各實(shí)驗(yàn)條件下的微孔深度如圖7 所示。在相同射流壓力條件下，無(wú)論是否引入了超聲振動(dòng)，微孔深度均隨著加工時(shí)間的增加而增大。這是由于隨著加工時(shí)間的增加，更多的磨粒沖擊工件表面，從而造成材料的進(jìn)一步去除，使得微孔深度增加。隨著加工時(shí)間的進(jìn)一步增加，微孔深度存在一個(gè)臨界值，即隨著加工時(shí)間增加，微孔深度保持不變。這是因?yàn)殡S著微孔深度的增加，在保持射流噴嘴與工件表面噴射距離一定的情況下，射流沖擊能量逐漸減少，從而導(dǎo)致其中磨粒沖擊工件材料的動(dòng)能減少。如果磨粒沖擊工件材料的動(dòng)能已經(jīng)不足以造成工件材料的失效進(jìn)而從工件表面去除，那么微孔的深度將不會(huì)再增加。因此，在這個(gè)值以下，微孔的深度與加工時(shí)間呈正相關(guān)。

對(duì)比圖7a—c 可發(fā)現(xiàn)，微孔的深度與射流壓力也呈正相關(guān)。由流體力學(xué)中管道流動(dòng)的伯努利方程（1/2ρv2=P）可知，在流體密度ρ一定的情況下，射流壓力P越大，射流流速v也就越大，從而流場(chǎng)中的磨?？梢垣@得更大的沖擊動(dòng)能，沖蝕能力更強(qiáng)，造成更多的材料去除。

圖7 微孔深度對(duì)比Fig.7 Comparison of the hole depth

對(duì)比在同等條件下有無(wú)超聲振動(dòng)加工的微孔深度，可以發(fā)現(xiàn)，超聲振動(dòng)增大了微孔的深度。在射流壓力較小時(shí)，增幅不大，而在射流壓力較大時(shí)，深度顯著增加。對(duì)比各組實(shí)驗(yàn)的結(jié)果發(fā)現(xiàn)，射流壓力為8 MPa，加工時(shí)間為60 s 時(shí)，微孔深度的增幅最大，由67.14 μm 增至103.81 μm，增幅達(dá)到了54.6%。

3.3 微孔頂部直徑

圖8 反映了各實(shí)驗(yàn)條件下微孔頂部直徑的大小，微孔的頂部直徑在很大程度上反映了微孔孔徑的大小。從圖8 中可以發(fā)現(xiàn)，微孔頂部直徑的大小與射流壓力呈正相關(guān)。這是由于射流沿工件表面的黏性流動(dòng)強(qiáng)弱對(duì)微孔孔徑的大小有很大的影響，射流壓力越大，黏性流動(dòng)的速度越快，因此導(dǎo)致磨粒在工件表面微切削、微犁耕時(shí)的能量也越大，從而拓寬了孔徑。微孔頂部直徑的大小與加工時(shí)間也呈正相關(guān)。這是因?yàn)殡S著時(shí)間的推進(jìn)，黏性流動(dòng)流體攜帶的磨料顆粒以較小的角度沖擊工件所產(chǎn)生的塑性沖蝕作用不斷累積，使得微孔的孔徑得以增加。

對(duì)比圖8 中同等實(shí)驗(yàn)條件下有無(wú)超聲振動(dòng)時(shí)微孔頂部直徑的大小，可以發(fā)現(xiàn)，超聲振動(dòng)的引入導(dǎo)致了微孔頂部直徑有所減小。在各組實(shí)驗(yàn)中，當(dāng)射流壓力為6 MPa，加工時(shí)間為60 s 時(shí)，頂部直徑減小幅度最大，由415.69 μm 減小至381.48 μm，降幅為8.2%。這也說(shuō)明超聲振動(dòng)使得微細(xì)磨料水射流對(duì)工件材料的沖蝕作用更加集中，工件表面流場(chǎng)的振蕩誘發(fā)了磨粒的二次或多次碰撞，導(dǎo)致對(duì)材料的去除更多地發(fā)生于水射流的直接沖擊方向，而沿微孔內(nèi)壁面運(yùn)動(dòng)拓寬孔徑的行為有所減少。

圖8 微孔頂部直徑對(duì)比Fig.8 Comparison of the top hole diameters

3.4 微孔底面的平坦程度

在微細(xì)磨料水射流沖蝕過(guò)程中，由于受射流滯止區(qū)的影響，小顆粒的磨粒在接近工件表面時(shí)會(huì)發(fā)生較大角度的偏轉(zhuǎn)，從而導(dǎo)致微孔中心處的材料較難得到去除。同時(shí)，在本實(shí)驗(yàn)中，材料去除的方式均以塑性沖蝕為主，故而微孔底面中心存在明顯的凸起，截面形貌呈現(xiàn)典型的“W”形?！癢”形中間凸起的占比越小，整個(gè)微孔看上去也就越平坦。因此，微孔底面的平坦程度在一定程度上可以用駝峰值與微孔深度的比值來(lái)衡量，比值越小，意味著底面越平坦。

圖9 是各實(shí)驗(yàn)條件下加工所得的各個(gè)微孔截面駝峰值與深度的比值。這一比值隨著射流壓力的增大而有所減小，這可以用筆者課題組前期的仿真結(jié)果進(jìn)行解釋[25]。射流壓力越大，磨粒的碰撞速度和角度也越大，從而磨粒對(duì)工件的沖蝕更靠近中心點(diǎn)，造成中心處更多的材料去除。對(duì)比圖9 中同等條件下有無(wú)超聲振動(dòng)時(shí)的駝峰值與微孔深度的比值，可以發(fā)現(xiàn)，超聲振動(dòng)的引入顯著降低了這一比值。當(dāng)射流壓力為8 MPa，加工時(shí)間為60 s 時(shí)，比值從0.422 降至0.188，降幅達(dá)55.5%，這意味著超聲振動(dòng)的引入使得微孔的底面更加平坦。

圖9 微孔底面平坦程度對(duì)比Fig.9 Comparison of the flatness of the micro-hole bottom surface

超聲振動(dòng)對(duì)微孔底面平坦程度的改善效果，主要在于工件的超聲振動(dòng)使得其表面的靜壓呈現(xiàn)周期性變化[25]，總體上相較無(wú)超聲振動(dòng)時(shí)略有減小，引起了小顆粒磨粒對(duì)工件表面的動(dòng)態(tài)沖擊過(guò)程，在增大射流中心處磨粒最大碰撞速度和角度的同時(shí)，增加了磨粒的二次或多次碰撞，從而使微孔中心處的材料得到了更多的去除。

4 結(jié)論

本文采用超聲輔助微細(xì)磨料水射流對(duì)K9 玻璃進(jìn)行了沖蝕鉆孔實(shí)驗(yàn)研究，著重分析了超聲振動(dòng)對(duì)微孔形貌、尺寸的影響，主要結(jié)論如下：

1）通過(guò)有無(wú)超聲振動(dòng)時(shí)微細(xì)磨料水射流在K9玻璃表面加工微孔的深度尺寸對(duì)比，可以得出，工件的超聲振動(dòng)增大了微孔的深度，這一效果在射流壓力較大時(shí)尤為明顯。

2）通過(guò)有無(wú)超聲振動(dòng)時(shí)微孔頂部直徑尺寸的對(duì)比，可以得出，超聲振動(dòng)使得微細(xì)磨料水射流的沖蝕更加集中，從而導(dǎo)致微孔頂部直徑減小。

3）通過(guò)分析微孔的截面形貌可以發(fā)現(xiàn)，超聲振動(dòng)對(duì)微孔深度方向的影響要大于對(duì)孔徑方向的影響，雖然孔徑有所減小，但整個(gè)微孔的體積是增大的，且小顆粒磨粒對(duì)材料的去除機(jī)理未發(fā)生變化。因此，超聲振動(dòng)能在不改變材料去除機(jī)理的前提下，提升微細(xì)磨料水射流的沖蝕能力。

4）超聲振動(dòng)的引入提升了微孔底面的平坦程度，“W”形截面形貌得到改善，微孔中心的凸起部分材料因工件的振動(dòng)得到了更好的去除。

綜上所述，超聲振動(dòng)可以改善微細(xì)磨料水射流的沖蝕過(guò)程，在提升加工能力的同時(shí)改善加工面的形貌，可以實(shí)現(xiàn)K9 玻璃等材料的高質(zhì)量高效率加工。這對(duì)推動(dòng)微細(xì)磨料水射流在硬脆材料的微細(xì)加工領(lǐng)域的應(yīng)用具有積極意義。