任同群，王曉飛，江海川，徐興輝，王曉東※

（1.大連理工大學(xué)微納米技術(shù)及系統(tǒng)遼寧省重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，遼寧大連116024；2.大連理工大學(xué)精密與特種加工技術(shù)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，遼寧大連116024）

0 引言

航空航天技術(shù)的高速發(fā)展對(duì)慣性導(dǎo)航系統(tǒng)的精度提出更高的要求[1]。氣浮軸承是氣動(dòng)陀螺儀的核心元件，其內(nèi)部間隙是陀螺儀的重要設(shè)計(jì)、裝配參數(shù)，直接影響工作穩(wěn)定性和氣膜承載能力[2-3]。為了保證氣浮軸承內(nèi)部間隙處于理想狀態(tài)，裝配環(huán)節(jié)必須要對(duì)其間隙進(jìn)行精確控制。由于空氣黏度低，只有減小氣浮軸承間隙的大小才能產(chǎn)生足夠的流體動(dòng)壓，滿足對(duì)軸承承載力的要求。所以氣浮軸承間隙屬于微米量級(jí)，一般僅2~5 μm[4]。

軸承間隙是裝配體內(nèi)部間隙，一般有直接測(cè)量和間接測(cè)量?jī)煞N方法。Zhang等[5]通過直接測(cè)量軸承滾珠與內(nèi)外環(huán)間的電容得到油膜厚度。該方法需要確定間隙中流體的介電常數(shù)，且油膜間隙形狀對(duì)建立電容值與油膜厚度間關(guān)系的影響較大。此類方法不合適氣浮軸承間隙測(cè)量，在實(shí)際測(cè)量中多采用間接測(cè)量方法。間接測(cè)量的主要思路為通過外部施力的方式將內(nèi)部間隙轉(zhuǎn)化為外部微位移，使用微位移傳感器間接測(cè)得間隙值。其中，賈景國[6]采用兩位法測(cè)量氣浮軸承間隙，即將氣浮軸承以及微位移傳感器相對(duì)固定的安裝在夾具中，通過整體翻轉(zhuǎn)實(shí)現(xiàn)間隙的間接測(cè)量。該方法利用軸承轉(zhuǎn)子體自身的重力將內(nèi)部間隙轉(zhuǎn)化為外部位移，但僅靠自重?zé)o法保證間隙正確轉(zhuǎn)化，且激光三角傳感器測(cè)量微位移易受被測(cè)表面質(zhì)量的影響。國際自動(dòng)機(jī)工程師學(xué)會(huì)（Society of Auto?motive Engineers，SAE）[7]公開了一種軸承間隙測(cè)量的一般方法，通過機(jī)械夾持固定軸承的定子，對(duì)轉(zhuǎn)子體施力完成間隙轉(zhuǎn)化，并測(cè)量轉(zhuǎn)子體的位移量，從而實(shí)現(xiàn)軸承的徑向間隙測(cè)量。該方法主要針對(duì)普通球面軸承，但內(nèi)部間隙更加復(fù)雜、微小的氣浮軸承很難實(shí)現(xiàn)準(zhǔn)確的測(cè)量。王京鋒等[8]提出了利用砝碼和杠桿原理進(jìn)行外部施力，實(shí)現(xiàn)內(nèi)部間隙轉(zhuǎn)化的軸承間隙測(cè)量方案。這種測(cè)量方法無法實(shí)現(xiàn)對(duì)外部施加力的準(zhǔn)確、連續(xù)控制，影響內(nèi)部間隙的轉(zhuǎn)化，容易引入間隙轉(zhuǎn)化誤差，且測(cè)量效率低下。課題組前期研制了一種軸承間隙測(cè)量設(shè)備，零件鎖緊方式導(dǎo)致間隙轉(zhuǎn)化過程中易出現(xiàn)轉(zhuǎn)子體與定子軸線相對(duì)傾斜的情況，產(chǎn)生測(cè)量誤差[9]。

基于間接測(cè)量方法，氣浮軸承間隙測(cè)量實(shí)際為微位移的測(cè)量問題。常用的微米級(jí)位移測(cè)量方法包括電容法[10]、電感法[11]、激光三角法[12]和激光干涉法[13]。軸承測(cè)量表面為曲面，直接使用電容法易產(chǎn)生邊緣效應(yīng)，而在連續(xù)批量測(cè)量時(shí)，不適合采用被測(cè)表面安裝極板的方式；激光三角傳感器對(duì)被測(cè)表面質(zhì)量要求較高；激光干涉測(cè)量系統(tǒng)昂貴，易受環(huán)境影響，且體積普遍較大，不易集成到自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)中?？紤]到電感法測(cè)量具有精度適中且易于集成的特點(diǎn)，故本文所述測(cè)量系統(tǒng)采用電感式測(cè)微儀作為微位移測(cè)量傳感器。

綜上所述，本文研制了一種氣浮軸承間隙自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。采用間接測(cè)量方法，基于重力自動(dòng)找正和柔性連接策略，保證了軸承內(nèi)部間隙的正確轉(zhuǎn)化，解決了現(xiàn)有測(cè)量方式精度低、重復(fù)性差的問題。

1 間隙測(cè)量方案設(shè)計(jì)

以半球型氣浮軸承為例，其內(nèi)部結(jié)構(gòu)如圖1所示，測(cè)量對(duì)象為轉(zhuǎn)子體與定子間空隙，包括徑向間隙和軸向間隙。采用直角坐標(biāo)機(jī)器人框架，實(shí)現(xiàn)電感測(cè)頭移動(dòng)、零件位姿調(diào)整和外力施加。為實(shí)現(xiàn)依靠自重找正的測(cè)量方案，將徑向、軸向間隙分離測(cè)量。徑向測(cè)量時(shí)，兩端剛性固定，被測(cè)零件在水平初始狀態(tài)下，轉(zhuǎn)子體球碗與定子球面在重力作用下相接觸，且轉(zhuǎn)子體始終處于自由狀態(tài)，如圖2（a）所示。在精密位移滑臺(tái)控制下對(duì)轉(zhuǎn)子體施加外力，并通過力傳感器反饋控制，保證間隙正確轉(zhuǎn)化且不產(chǎn)生內(nèi)部變形，由微位移傳感器測(cè)量外部位移量，如圖2（b）所示。徑向測(cè)量完成后，由夾指配合旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)將零件切換至軸向測(cè)量狀態(tài)。軸向測(cè)量時(shí)，軸端采用柔性連接，以便姿態(tài)調(diào)整，同時(shí)集成三軸力傳感器，為位置平衡的精確調(diào)整提供粗略參考。3個(gè)測(cè)頭分別測(cè)量定轉(zhuǎn)子位移量，對(duì)結(jié)果處理得到間隙值，同時(shí)也為軸向調(diào)整提供精確參考。

圖1 氣浮軸承內(nèi)部結(jié)構(gòu)Fig.1 Sketch of internal structure of air bearing

圖2 測(cè)量原理Fig.2 Schematic diagram of measurement principle

基于上述分析，系統(tǒng)的整體結(jié)構(gòu)如圖3所示。將氣浮軸承間隙測(cè)量系統(tǒng)分為徑向（軸向）施力模塊以及微位移測(cè)量模塊。施力模塊主要包含精密位移滑臺(tái)、高精度力傳感器以及氣動(dòng)元件；考慮操作空間的約束，測(cè)量模塊采用杠桿式電感測(cè)微儀。此外，整個(gè)測(cè)量系統(tǒng)還包含相應(yīng)的硬件控制電路和氣路。

圖3 整體設(shè)計(jì)模型Fig.3 Overall design model

2 測(cè)量系統(tǒng)

2.1 徑向施力模塊

徑向施力模塊完成定子軸端鎖緊與測(cè)量力施加，主要由鎖緊結(jié)構(gòu)、頂升氣缸、單軸力傳感器和Z軸位移滑臺(tái)組成，如圖4所示。軸端鎖緊結(jié)構(gòu)包括安裝平臺(tái)、角座、鎖緊氣缸、軸端擋塊。被測(cè)軸承放置于角座上，利用軸端套軸肩進(jìn)行軸向安裝定位。鎖緊氣缸伸縮桿連接軸端擋塊，控制鎖緊氣缸動(dòng)作完成軸承定子鎖緊。為防止軸端鎖緊時(shí)擋塊發(fā)生偏轉(zhuǎn)對(duì)軸承造成鎖緊力矩，影響后續(xù)測(cè)量精度，在擋塊下集成了柱塞實(shí)現(xiàn)導(dǎo)向的功能。

圖4 徑向施力模塊Fig.4 Radial force application module

該模塊中通過控制Z軸位移滑臺(tái)的運(yùn)動(dòng)完成外部施力?；_(tái)定位精度7 μm，運(yùn)動(dòng)分辨率0.01 μm，可實(shí)現(xiàn)力的連續(xù)、可控施加。轉(zhuǎn)子體兩端徑向測(cè)量位置分別安裝頂升氣缸，控制兩氣缸在同一時(shí)刻處于不同工作狀態(tài)，從而通過同一施力滑臺(tái)實(shí)現(xiàn)左、右側(cè)分別施力。頂升氣缸伸縮端連接施力塊，與軸承轉(zhuǎn)子體最低面接觸。頂升氣缸與施力滑臺(tái)間安裝力傳感器，對(duì)外部施加力進(jìn)行反饋控制，保證力的精確施加。力傳感器量程5 N，精度0.1%F.S.，重復(fù)性0.05%F.S.。

以單側(cè)徑向測(cè)量為例：保持測(cè)量側(cè)頂升氣缸彈出，控制Z軸滑臺(tái)向上運(yùn)動(dòng)施加外力，通過力傳感器反饋控制接觸力，接觸力達(dá)到預(yù)設(shè)的力閾值時(shí)停止滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)，即完成徑向力的施加。

2.2 軸向施力模塊

軸向施力模塊主要由姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)、龍門結(jié)構(gòu)、精密位移滑臺(tái)、三軸力傳感器、三爪氣動(dòng)夾持結(jié)構(gòu)等組成，完成軸向間隙測(cè)量中被測(cè)零件姿態(tài)調(diào)整、定子夾持和間隙轉(zhuǎn)化的工作，整個(gè)模塊具有五軸運(yùn)動(dòng)自由度，如圖5所示。

圖5 軸向施力模塊Fig.5 Axial force application module

將氣動(dòng)夾指安裝在具有Y、Z和繞Y軸旋轉(zhuǎn)自由度的精密位移平臺(tái)上，組成姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)。徑向間隙測(cè)量完成后，由該機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)夾指夾取零件，然后將其由水平調(diào)整為豎直姿態(tài)，并運(yùn)送至軸向間隙測(cè)量位置。三軸力傳感器下方連接三爪氣動(dòng)夾持結(jié)構(gòu)，通過L板安裝在固定于龍門橫梁的XZ位移平臺(tái)上。由三爪結(jié)構(gòu)夾持被測(cè)零件軸端，釋放轉(zhuǎn)子體使其處于自由狀態(tài)。在零件交接過程中，依據(jù)三軸力傳感器中X、Y方向分力，對(duì)XY精密位移滑臺(tái)進(jìn)行微調(diào)，保證轉(zhuǎn)子體被釋放后的穩(wěn)定性。

軸向間隙測(cè)量中，借助姿態(tài)調(diào)整機(jī)構(gòu)中的Z軸滑臺(tái)，控制夾指運(yùn)動(dòng)對(duì)轉(zhuǎn)子體下端面施加外力，實(shí)現(xiàn)內(nèi)部間隙的轉(zhuǎn)化。Z軸滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)分辨率0.1 μm，重復(fù)定位精度±0.5 μm以內(nèi)。在外部力施加初始階段，以力傳感器X方向分力作為反饋，利用精密轉(zhuǎn)臺(tái)對(duì)被測(cè)零件快速調(diào)平。施力過程中，根據(jù)位移值判斷零件傾斜狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)動(dòng)態(tài)微調(diào)，保證測(cè)量階段零件的平衡。其中旋轉(zhuǎn)滑臺(tái)運(yùn)動(dòng)分辨率0.006°，重復(fù)定位精度±0.01°以內(nèi)，偏心量5 μm以內(nèi)。三軸力傳感器量程為±10 N，精度為0.5%F.S.，Z軸力用于接觸力反饋。

2.3 微位移測(cè)量模塊

該模塊用于固定、移動(dòng)電感測(cè)頭，完成微位移測(cè)量工作，主要由三軸位移平臺(tái)、電感測(cè)微儀組成，如圖6（a）所示。本系統(tǒng)共安裝3個(gè)電感測(cè)頭，其中2個(gè)在軸向、徑向間隙測(cè)量中復(fù)用。電感測(cè)頭通過安裝板固定在Z軸滑臺(tái)上，依靠三自由度位移平臺(tái)移動(dòng)到標(biāo)定測(cè)量位置。杠桿式電感測(cè)頭測(cè)量重復(fù)性為0.1 μm，采用相對(duì)測(cè)量方式，徑向間隙測(cè)量時(shí)僅使用下側(cè)并排的2個(gè)測(cè)頭，測(cè)量位置分別為被測(cè)氣浮軸承轉(zhuǎn)子體端面和軸端套凸臺(tái)表面。測(cè)頭接觸到待測(cè)表面后，先讀取兩測(cè)頭示數(shù)并保存，然后對(duì)指定點(diǎn)向上施力進(jìn)行間隙轉(zhuǎn)化。待接觸力達(dá)到所設(shè)置閾值后，即表明內(nèi)部間隙已完全轉(zhuǎn)化為外部微位移，此時(shí)再次讀取兩測(cè)頭示數(shù)，對(duì)兩次數(shù)據(jù)作差即可得到徑向間隙值，如圖6（b）所示。

氣浮軸承軸向間隙測(cè)量使用3個(gè)電感測(cè)頭，測(cè)量位置分別為：被測(cè)零件中軸線和軸承上端面兩側(cè)，如圖6（c）所示。以上測(cè)量點(diǎn)的布置保證相對(duì)測(cè)量的要求，也為零件平衡調(diào)節(jié)提供位移參考。

圖6 位移測(cè)量模塊Fig.6 Displacement measurement module

3 測(cè)量誤差分析及實(shí)驗(yàn)結(jié)果

3.1 定/轉(zhuǎn)子相對(duì)偏轉(zhuǎn)分析

在已提出的間隙測(cè)量方案中，定轉(zhuǎn)子發(fā)生相對(duì)偏轉(zhuǎn)是產(chǎn)生測(cè)量誤差的主要因素。未發(fā)生偏轉(zhuǎn)的理想情況下，間隙可以表示為di，如圖7（a）所示。相對(duì)偏轉(zhuǎn)使內(nèi)部間隙無法正確轉(zhuǎn)化，引入測(cè)量誤差，如圖7（b）所示。

圖7 定轉(zhuǎn)子相對(duì)偏轉(zhuǎn)分析Fig.7 Analysis of relative deflection of stator and rotor

建立如圖所示坐標(biāo)系，在理想位置定、轉(zhuǎn)子半球截面解析表達(dá)式為：

式中：l為轉(zhuǎn)子體長度；r、R分別為定子半球和轉(zhuǎn)子體球碗半徑。

在夾持過程中，轉(zhuǎn)子體發(fā)生偏轉(zhuǎn)，假設(shè)偏轉(zhuǎn)角為θ。轉(zhuǎn)子體球碗上任一點(diǎn)(x,z)傾斜后的點(diǎn)表示為(x′,z′)，偏轉(zhuǎn)過程可以表示為：

聯(lián)立式（2）～（3）可得：

考慮到傾角θ較小，令tanθ≈0可得：

在軸承定轉(zhuǎn)子發(fā)生偏轉(zhuǎn)情況下，實(shí)際所測(cè)得的間隙值為相同橫坐標(biāo)下，定、轉(zhuǎn)子縱坐標(biāo)差值最小值。假設(shè)(x,z1)和(x,z2)分別為偏轉(zhuǎn)時(shí)轉(zhuǎn)子體和定子半球截面上的點(diǎn)，實(shí)測(cè)間隙值可表示為分別滿足式（5）、式（1），分別代入可得如下等式：

聯(lián)立式（6）、式（7）可得：

從式（8）中看出，| |z1-z2與z1+z2成反比。因此當(dāng)x=1/2時(shí)，z1+z2的值最大，此處| |z1-z2的值最小。此時(shí)測(cè)得間隙值為：

偏轉(zhuǎn)誤差εoffset可以表示為：

其中，z1可由下式得到：

通過以上公式得出了定轉(zhuǎn)子相對(duì)傾斜程度與測(cè)量誤差間的定量關(guān)系，當(dāng)偏轉(zhuǎn)角度θ>0.01°時(shí)，由于偏轉(zhuǎn)引入的誤差就大于2 μm。在實(shí)際測(cè)量中外部施力能夠克服一定的內(nèi)部摩擦力，所以真實(shí)引入誤差小于理論值，但仍造成測(cè)量結(jié)果偏小，精度無法滿足技術(shù)要求。在本文所述的測(cè)量方案中，克服了定轉(zhuǎn)子相對(duì)傾斜的情況，提高了系統(tǒng)測(cè)量精度。

3.2 系統(tǒng)誤差分析

基于本文所述間隙測(cè)量方案，測(cè)量系統(tǒng)主要誤差源包括運(yùn)動(dòng)模塊重復(fù)定位精度、裝夾結(jié)構(gòu)剛度、微位移傳感器測(cè)量誤差、氣浮軸承偏轉(zhuǎn)以及測(cè)量原理的誤差。由于采用了相對(duì)測(cè)量方式，運(yùn)動(dòng)平臺(tái)定位精度和裝夾結(jié)構(gòu)剛度對(duì)測(cè)量精度的影響可以忽略。

圖8 所示為徑向測(cè)量原理誤差分析示意圖，在測(cè)量初始狀態(tài)下，軸承定子完全固定，轉(zhuǎn)子體在自重作用下與定子上表面接觸。以徑向左側(cè)間隙測(cè)量為例，對(duì)轉(zhuǎn)子體左側(cè)邊緣自下而上施加外力，完成內(nèi)部間隙轉(zhuǎn)化操作。在該施力狀態(tài)下，轉(zhuǎn)子體做定點(diǎn)旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)，最終轉(zhuǎn)子體球碗與定子球面相切接觸，并在如圖8（b）中所示位置測(cè)量位移量。

圖8 徑向測(cè)量原理分析Fig.8 Analysis of the principle of radial measurement

建立如圖8（a）所示坐標(biāo)系分析徑向測(cè)量方法可能引入的誤差，即確定實(shí)際測(cè)得位移量相對(duì)理論間隙值的誤差。在初始測(cè)量狀態(tài)下，定子、轉(zhuǎn)子體截面圓心坐標(biāo)分別為(l,r)、(l,R)。

設(shè)在外部力作用下轉(zhuǎn)子體旋轉(zhuǎn)角度為θp，則轉(zhuǎn)動(dòng)后轉(zhuǎn)子體左側(cè)截面圓心坐標(biāo)變?yōu)楦鶕?jù)旋轉(zhuǎn)后轉(zhuǎn)子體球碗與定子球面相切的關(guān)系可得：

對(duì)上式化簡(jiǎn)得：

基于剛體定點(diǎn)轉(zhuǎn)動(dòng)的特點(diǎn)，得出測(cè)量點(diǎn)在轉(zhuǎn)子體轉(zhuǎn)動(dòng)過程中z負(fù)方向的運(yùn)動(dòng)量δ。

式中：t為轉(zhuǎn)子體邊緣位置壁厚。

由上述分析可知，δ即為實(shí)際間隙測(cè)量值，理論間隙值為R-r。代入氣浮軸承實(shí)際尺寸數(shù)據(jù)可得引入誤差εpri約為0.04 μm。

在軸向施力過程中，被測(cè)軸承會(huì)相對(duì)軸線方向發(fā)生傾斜，引入測(cè)量誤差。圖9所示為軸向傾斜誤差分析示意圖。軸向間隙測(cè)量時(shí)，測(cè)頭A測(cè)量氣浮軸承定子軸線處位移，測(cè)頭B、C關(guān)于軸心對(duì)稱布置，測(cè)量轉(zhuǎn)子體的位移量并判斷軸承傾斜程度，A′、B′、C′為施力后測(cè)頭的位置。假設(shè)軸承在力加載過程中未發(fā)生傾斜，外部施力后測(cè)頭的測(cè)量值分別為ΔA、ΔB、ΔC，且ΔA=ΔB=ΔC，此時(shí)傾斜導(dǎo)致誤差理論上為0。

圖9 軸向傾斜誤差分析示意圖Fig.9 Schematic diagram of axial tilt error analysis

但在實(shí)際測(cè)量中，隨著外力施加氣浮軸承相對(duì)理想軸線傾斜。此時(shí)，測(cè)頭A的測(cè)量值并非其對(duì)應(yīng)測(cè)量點(diǎn)的真實(shí)位移量。由于軸承的傾斜帶動(dòng)測(cè)頭A被測(cè)表面傾斜，使測(cè)量值偏大Δtilt，假設(shè)傾斜角度為θt，可得：

其中h為軸承傾斜轉(zhuǎn)動(dòng)中心與測(cè)頭A測(cè)量點(diǎn)的高度差，通常大于30 mm。根據(jù)軸向間隙的計(jì)算方法：可知，由軸承傾斜造成的誤差εtilt=Δtilt。當(dāng)傾斜角度為0.1°時(shí)，引入誤差約為0.03 μm。根據(jù)實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)，由于在施力過程中采用動(dòng)態(tài)調(diào)平策略，軸承整體傾斜角度一般在0.01°以內(nèi)，故傾斜引入的誤差對(duì)測(cè)量結(jié)果影響較小。

3.3 測(cè)量實(shí)驗(yàn)

陀螺儀氣浮軸承間隙測(cè)量系統(tǒng)實(shí)物如圖10所示。為驗(yàn)證測(cè)量系統(tǒng)的精度及重復(fù)性，使用與真實(shí)零件外形尺寸一致的實(shí)心件開展測(cè)量實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)如圖11所示。

圖10 陀螺儀氣浮軸承間隙測(cè)量系統(tǒng)實(shí)物Fig.10 The physical clearance measuring system of the airgyroscope bearing

圖11 實(shí)心樣件測(cè)量數(shù)據(jù)Fig.11 Solid sample mea?surement data

由實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)可知，最大誤差值約為0.146 μm，與上述誤差分析結(jié)論相符?？紤]到真實(shí)件測(cè)量中轉(zhuǎn)子體調(diào)平可能引入的誤差，本設(shè)備綜合測(cè)量精度在0.3 μm以內(nèi)。

進(jìn)行連續(xù)10次實(shí)心件測(cè)量實(shí)驗(yàn)，在徑向和軸向測(cè)量結(jié)果中，最大極差為0.132 μm<0.2 μm，表明該測(cè)量系統(tǒng)重復(fù)性滿足設(shè)計(jì)要求。此外，利用如下所示貝塞爾公式計(jì)算每組測(cè)量數(shù)據(jù)的重復(fù)性s(xk)和A類不確定度u(xk)：

間隙測(cè)量值重復(fù)性最大為0.043 μm，不確定度不超過0.013。

利用所研制的氣浮軸承間隙自動(dòng)測(cè)量系統(tǒng)，對(duì)同一真實(shí)零件進(jìn)行多次間隙測(cè)量實(shí)驗(yàn)，結(jié)果如圖12所示。

圖12 真實(shí)零件測(cè)量數(shù)據(jù)Fig.12 Real part measurement data

4 結(jié)束語

本文研制了一套自動(dòng)化測(cè)量系統(tǒng)。采用間接測(cè)量方式，通過外部加力與轉(zhuǎn)子體重力自動(dòng)位姿找正相結(jié)合的策略，保證內(nèi)部間隙正確轉(zhuǎn)化為外部微位移，并利用3個(gè)電感測(cè)頭進(jìn)行相對(duì)測(cè)量，得到內(nèi)部間隙值。建立誤差模型，對(duì)系統(tǒng)測(cè)量誤差進(jìn)行分析。分別針對(duì)真實(shí)零件和實(shí)心模型件開展測(cè)量實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明：系統(tǒng)測(cè)量精度優(yōu)于0.3 μm，能夠?qū)崿F(xiàn)氣浮軸承內(nèi)部間隙的高精度、自動(dòng)化測(cè)量。

為與現(xiàn)場(chǎng)實(shí)際測(cè)量方式作數(shù)據(jù)對(duì)比，目前徑向測(cè)量采用對(duì)轉(zhuǎn)子體單側(cè)邊緣施力完成間隙轉(zhuǎn)化的方案。在接下來的工作中進(jìn)一步研究對(duì)轉(zhuǎn)子體下側(cè)整體施力的測(cè)量方法以及對(duì)結(jié)果的影響。