胡江風(fēng) ，宋耀楠 ，潘長釗 ，李福洪 ，張海洋 ，張 震 ，馬 英 ，羅必得 ，戴 巍 ，羅二倉 ，高 波 *

（1.中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所 中法低溫計(jì)量科學(xué)與技術(shù)國際聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室，北京 100190；2.中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所 中國科學(xué)院低溫工程學(xué)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室，北京 100190；3.中國科學(xué)院大學(xué)，北京 100049；4.LCM-LNE-Cnam，61 rue du Landy，93210 La Plaine-Saint Denis，F(xiàn)rance；5.昆明大方自動(dòng)控制科技有限公司，昆明 650221）

0 引言

在低溫溫區(qū)，尤其是24.556 1 K（氖三相點(diǎn)）以下溫區(qū)，溫度的精準(zhǔn)測量對于前沿科學(xué)研究、大科學(xué)裝置運(yùn)行、航空航天具有重要的支撐作用。近年來，隨著超導(dǎo)工業(yè)的發(fā)展及低溫液體（如液氦4.2 K和液氫20.3 K）的廣泛應(yīng)用，對低溫溫區(qū)精準(zhǔn)測溫的需求越來越多，要求也越來越高。目前我國已建成5～25 K溫區(qū)定壓氣體折射率基準(zhǔn)測溫裝置，其測量不確定度居國際領(lǐng)先水平[1]。在實(shí)現(xiàn)基準(zhǔn)級溫度測量的基礎(chǔ)上，可靠的數(shù)據(jù)量值傳遞載體—標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)的研制成為研究重點(diǎn)。5～25 K溫區(qū)常用的三種標(biāo)準(zhǔn)電阻型溫度計(jì)主要包括鉑電阻溫度計(jì)、銠鐵電阻溫度計(jì)和鉑鈷電阻溫度計(jì)。

鉑電阻溫度計(jì)是國際溫標(biāo)復(fù)現(xiàn)的內(nèi)插儀器之一，其測溫準(zhǔn)確度高、穩(wěn)定性好，但在20 K以下時(shí)靈敏度較低，更不能用于13 K以下的溫度測量[2]；銠鐵溫度計(jì)具有良好的靈敏度和穩(wěn)定性[3]，可用于0.32～40.00 K溫區(qū)的精密溫度測量，在低于24.556 1 K的低溫范圍內(nèi)，被認(rèn)為是可靠的測溫二級標(biāo)準(zhǔn)。我國性能最好的銠鐵溫度計(jì)是由中國科學(xué)院低溫計(jì)量測試站和昆明大方自動(dòng)控制科技有限公司共同研制的，目前已有定型的產(chǎn)品出售[4-5]。

標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷電阻溫度計(jì)是為低溫溫區(qū)精密測溫開發(fā)的少數(shù)幾種電阻溫度計(jì)之一，低溫性能可與標(biāo)準(zhǔn)銠鐵電阻溫度計(jì)媲美，在0.65 K（ITS-90定義的溫度下限）仍然有較好的靈敏度，有潛力作為新的溫度載體與銠鐵電阻溫度計(jì)并行使用。1978年日本國家計(jì)量研究所的Shiratori等[6]首先用摩爾分?jǐn)?shù)為0.5%～2%的金屬鈷（一種可溶的磁性雜質(zhì)）的鉑鈷合金制作出電阻溫度計(jì)，同時(shí)報(bào)道了該溫度計(jì)的電阻-溫度（R-T）特性。實(shí)驗(yàn)研究表明，隨著溫度逐漸逼近絕對零度，溫度計(jì)的靈敏度逐漸升高[7]。意大利的Pavese等[8]對不同鈷含量的鉑鈷電阻溫度計(jì)在2～28 K溫區(qū)、最高磁場強(qiáng)度6 T條件下進(jìn)行了系統(tǒng)性測量研究，得到磁阻效應(yīng)和鈷濃度的相關(guān)性數(shù)據(jù)。國產(chǎn)鉑鈷電阻溫度計(jì)的研制起步較晚，重慶儀表材料研究所在上世紀(jì)80年代研制出鈷的摩爾分?jǐn)?shù)為0.5%的鉑鈷合金絲，隨后制成了類似標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)結(jié)構(gòu)的鉑金殼鉑鈷電阻溫度計(jì)。1994年林鵬等[9]對該所研制的溫度計(jì)做了室溫至液氦溫區(qū)的性能測試，結(jié)果與日本發(fā)表的相同，但是由于不可控因素，該工作沒有繼續(xù)下去。近幾年來，日本一直在進(jìn)行鉑鈷溫度計(jì)的相關(guān)研究，2014年日本國家計(jì)量院對鉑鈷電阻溫度計(jì)在13.803 3～260 K之間進(jìn)行了標(biāo)定[10]，在13.803 3 K（氫三相點(diǎn)）的測溫精度為0.17 mK，在24.556 1 K（氖三相點(diǎn)）的測溫精度為0.19 mK，表明該溫度計(jì)的穩(wěn)定性很好。2017年，他們研究了標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷電阻溫度計(jì)在更低溫區(qū)0.65～25.00 K的溫度特性[11]。

標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)作為國際溫標(biāo)量值傳遞的溫度計(jì)量標(biāo)準(zhǔn)器具，其穩(wěn)定性關(guān)系到溫標(biāo)傳遞與復(fù)現(xiàn)的準(zhǔn)確性和重復(fù)性，而標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)的穩(wěn)定性與使用的絲材的成分、純度、均勻性，以及溫度計(jì)的制造工藝等密切相關(guān)[12]。國際上評定電阻型溫度計(jì)的穩(wěn)定性，通常是觀察其在水三相點(diǎn)的阻值穩(wěn)定性。一般的低溫溫度計(jì)在正式使用前，必須采用低溫溫循和熱沖擊等方法穩(wěn)定其性能，即常說的溫度計(jì)低溫老煉實(shí)驗(yàn)[8]。低溫溫循，即從室溫至液氮（77 K）或者液氦（4.2 K）溫度的循環(huán)過程，結(jié)合電阻型溫度計(jì)在水三相點(diǎn)的阻值溫循前后的變化可以對其短期穩(wěn)定性進(jìn)行考察。

不同溫度計(jì)的低溫溫循實(shí)驗(yàn)原理和過程是類似的，只是溫循的最低溫度點(diǎn)、溫循的次數(shù)以及溫循裝置有所不同。例如，澳大利亞國家計(jì)量實(shí)驗(yàn)室的Sakurai等[13]對日本提供的工業(yè)型鉑鈷電阻溫度計(jì)進(jìn)行了多次溫循實(shí)驗(yàn)。其中，在20 K至室溫之間循環(huán)時(shí)，20 K的穩(wěn)定性約為10 mK，在20～100 K之間循環(huán)時(shí)，穩(wěn)定性小于10 mK。捷克的Vepek[14]在對鉑電阻溫度計(jì)進(jìn)行穩(wěn)定性考核時(shí)，采用了靜態(tài)和動(dòng)態(tài)的兩種方式。其中，靜態(tài)方式是將鉑電阻溫度計(jì)在室內(nèi)放置三個(gè)月，動(dòng)態(tài)方式是將鉑電阻溫度計(jì)從室溫到液氦溫度進(jìn)行50次溫循，然后觀測溫度計(jì)的穩(wěn)定性。我國的謝立忠等[15]在對銠鐵電阻溫度計(jì)進(jìn)行測試時(shí)，先將12支溫度計(jì)在室溫至液氮溫度中進(jìn)行11次溫循，然后又分別置于液氮和液氦中進(jìn)行反復(fù)浸泡，進(jìn)一步監(jiān)測其穩(wěn)定性的變化。波蘭國家計(jì)量院[16]曾在2017年對中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所和昆明大方公司聯(lián)合研制的一批銠鐵溫度計(jì)進(jìn)行了測試，將溫度計(jì)安裝在一個(gè)直徑25 mm、長1 300 mm的不銹鋼容器中，并向容器內(nèi)充入0.1 Pa氦氣，以確保溫度計(jì)和液氦之間的良好熱交換；然后將該容器反復(fù)置于室溫和液氦溫度進(jìn)行溫循；最后將溫度計(jì)放入一個(gè)低溫恒溫裝置中分別對比了溫循前和溫循10、30、50次后，在4.6 K和7.2 K左右各溫度計(jì)阻值的變化。國內(nèi)外標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)的穩(wěn)定性研究現(xiàn)狀如表1所列。

表1 三種標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)的穩(wěn)定性研究現(xiàn)狀Tab.1 Current status of research on stability of three kinds of resistance thermometers

為了保證我國溫度量值傳遞的穩(wěn)定性和可靠性，為后續(xù)國際比對篩選提供可靠的國際數(shù)據(jù)比對載體，亟需研制標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷電阻溫度計(jì)進(jìn)行溫度量值傳遞，同時(shí)優(yōu)選高穩(wěn)定性的溫度計(jì)來保存與傳遞熱力學(xué)溫度測量值。近期中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所主導(dǎo)研制標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)，委托有標(biāo)準(zhǔn)銠鐵溫度計(jì)研制經(jīng)驗(yàn)的昆明大方自動(dòng)化公司制作。將99.999 9%純度的金屬鉑與純度為99.995%金屬鈷材料以不同的摩爾濃度混合冶煉后，交由昆明大方自動(dòng)化公司進(jìn)行拉絲、繞制、密封等制作成溫度計(jì)，再由中國科學(xué)院理化技術(shù)研究所對穩(wěn)定性與電阻-溫度關(guān)系等性能做系統(tǒng)測試。研究結(jié)果將陸續(xù)報(bào)告。

本文將進(jìn)行4支鉑鈷溫度計(jì)的篩選研究，根據(jù)溫度計(jì)室溫至液氮溫循前后的變化情況，分析溫循對溫度計(jì)穩(wěn)定性的影響，并給出溫度計(jì)篩選結(jié)果。

1 實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)

4支標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)的參數(shù)如表2所列，鉑鈷溫度計(jì)與套管標(biāo)準(zhǔn)式鉑電阻溫度計(jì)的結(jié)構(gòu)相似，采用直徑5 mm，長約40 mm鉑金殼做封裝用保護(hù)套管，使用鉑族玻璃做封口，密封前將溫度計(jì)內(nèi)部抽氣后充入氦氣，以增強(qiáng)導(dǎo)熱、降低自熱效應(yīng)。

表2 待考核的標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷電阻溫度計(jì)參數(shù)Tab.2 Parameters of the tested standard platinumcobalt resistance thermometers

1.1 水三相點(diǎn)標(biāo)定裝置與復(fù)現(xiàn)過程

水三相點(diǎn)是現(xiàn)行國際溫標(biāo)（ITS-90）中定義的最重要的溫度固定點(diǎn)，溫度為273.16 K，將在該點(diǎn)復(fù)現(xiàn)的不確定度直接傳遞到ITS-90規(guī)定的整個(gè)溫區(qū)內(nèi)的溫度測量，是標(biāo)定標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)的重要參考點(diǎn)。水三相點(diǎn)標(biāo)定裝置采用石英結(jié)構(gòu)密封水，通過凍制冰套等方法實(shí)現(xiàn)水的固、液、氣三相共存。將標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)在水三相點(diǎn)標(biāo)定裝置內(nèi)進(jìn)行多次測量，能夠快速考核溫度計(jì)的穩(wěn)定性。

水三相點(diǎn)裝置由保存槽和水密封瓶組成，如圖1所示。密封瓶中采用的水與維也納標(biāo)準(zhǔn)海洋水具有相同的同位素豐度，對復(fù)現(xiàn)不確定度影響小于7 μK，標(biāo)稱復(fù)現(xiàn)性小于0.02 mK。標(biāo)定過程中采用英國ASL公司生產(chǎn)的F900電橋，圖1中標(biāo)準(zhǔn)電阻保存在恒溫油槽中。水三相點(diǎn)標(biāo)定實(shí)驗(yàn)主要分為三個(gè)步驟：

圖1 水三相點(diǎn)標(biāo)定測量裝置示意圖Fig.1 Schematic diagram of calibration measurement of triple point of water

（1）準(zhǔn)備冰套：采用液氮法凍制水三相點(diǎn)瓶的冰套，凍制完成的水瓶在保存槽內(nèi)放置7天，等待水瓶內(nèi)凍制冰套時(shí)產(chǎn)生的冰晶間應(yīng)力完全釋放[17-18]。

（2）準(zhǔn)備溫度計(jì)：向水三相點(diǎn)瓶的溫度計(jì)阱中加入導(dǎo)熱油使其達(dá)到1/2液面處，將玻璃棒插入阱內(nèi)放置20 s待阱壁的冰層融化后，將水三相點(diǎn)瓶傾斜45°，保證附著在壁面上的冰套能夠自由旋轉(zhuǎn)，然后將裝配好的待測溫度計(jì)插入溫度計(jì)阱內(nèi)。

（3）標(biāo)定測量：當(dāng)標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)在溫度計(jì)阱內(nèi)達(dá)到熱平衡后，使用LABVIEW程序控制電橋開始測量。每次測量3組循環(huán)，每組循環(huán)分別測量標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)在電流下的電阻值，用于測量溫度計(jì)的自熱值并修正溫度計(jì)零電流的電阻值[19]。溫度計(jì)的自熱值是指當(dāng)測量電流流過電阻溫度計(jì)時(shí)，產(chǎn)生焦耳熱使溫度計(jì)的電阻升高的數(shù)值。

1.2 液氮溫循裝置

液氮作為工業(yè)常用的低溫液體，較易獲取。利用液氮為冷源進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)從室溫至液氮溫度的溫循（77～290 K）是便捷的溫循考核方法。通常的做法是，將待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)進(jìn)行多次液氮溫循，然后在水三相點(diǎn)復(fù)現(xiàn)裝置中檢測其穩(wěn)定性。標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)內(nèi)核心測溫部件為直徑70 μm的電阻絲，為了保證溫度計(jì)標(biāo)定過程的安全性，設(shè)計(jì)制作了液氮溫循裝置，為標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)提供穩(wěn)定均勻的溫循環(huán)境，液氮溫循裝置示意圖如圖2所示。在容積為10 L的液氮杜瓦瓶中灌入液氮作為冷源，采用不銹鋼外殼避免溫度計(jì)直接接觸液氮，將溫度計(jì)放置在留有溫度計(jì)插孔的高導(dǎo)熱無氧銅塊（均溫用）上。銅塊上裝有Cernox溫度傳感器用于監(jiān)測溫循過程的溫度變化。

圖2 液氮溫循裝置結(jié)構(gòu)示意圖Fig.2 Liquid nitrogen temperature cycle device

2 實(shí)驗(yàn)結(jié)果

2.1 溫循前后水三相點(diǎn)測量結(jié)果

采用參考溫度計(jì)和待測溫度計(jì)交替標(biāo)定的方法進(jìn)行待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)的水三相點(diǎn)復(fù)現(xiàn)與標(biāo)定實(shí)驗(yàn)。參考溫度計(jì)為1支經(jīng)法國計(jì)量院標(biāo)定的阻值為25 Ω的標(biāo)準(zhǔn)鉑電阻溫度計(jì)PT25，型號為s.n.5399。用該參考溫度計(jì)在4支待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)之間進(jìn)行交替測量，以檢驗(yàn)水三相點(diǎn)標(biāo)定的正確性，同時(shí)用于評估水三相點(diǎn)標(biāo)定的不確定度。

溫循前，對待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷電阻溫度計(jì)進(jìn)行了4次水三相點(diǎn)標(biāo)定，對參考溫度計(jì)PT25在水三相點(diǎn)中測量了17次。當(dāng)待測溫度計(jì)完成20次溫循后，對PT25又進(jìn)行了第18至第23次水三相點(diǎn)的測量，多次測量值的標(biāo)準(zhǔn)偏差為0.053 mK。按照相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)[20]對影響水三相點(diǎn)復(fù)現(xiàn)與標(biāo)定的多個(gè)因素進(jìn)行評估，如表3所列，得到水三相點(diǎn)合成不確定度u=0.2 mK。多次測量的溫度值Tn與平均值差值Tavg和u=0.2 mK的誤差帶結(jié)果如圖3所示。

表3 水三相點(diǎn)溫度復(fù)現(xiàn)與標(biāo)準(zhǔn)不確定度評估Tab.3 Recurrence and calibration uncertainty evaluation for triple point of water

圖3 參考溫度計(jì)PT25在水三相點(diǎn)多次測量的電阻值與平均值的差值Tn-Tavg與不確定度評估結(jié)果Fig.3 The difference between the resistance value and the average value Tn-Tavgand the uncertainty evaluation result of the PT25 at the triple point of water

2.2 液氮溫循過程

降溫前先向溫循裝置中充入20 Pa左右高純氦氣，升降溫過程如圖4所示?？梢钥闯觯鶞劂~塊從室溫降至77 K約需要6 h。在最低溫保持1 h，然后將溫循裝置從液氮桶內(nèi)移出，放置在室溫環(huán)境中自然復(fù)溫，復(fù)溫時(shí)間約12 h。一個(gè)溫循約20 h，共進(jìn)行20個(gè)溫循，如此完成溫度計(jì)的液氮溫循。

圖4 液氮溫循裝置降溫升溫曲線Fig.4 Cooling and heating curve of liquid nitrogen temperature cycle device

2.3 溫循前后的實(shí)驗(yàn)比對

將完成20次室溫至液氮溫度溫循的待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)取出，再次放入水三相點(diǎn)標(biāo)定裝置內(nèi)，測量其電阻值，通過對比該標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)溫循前后在水三相點(diǎn)的電阻差值與自熱值的變化判斷溫度計(jì)的穩(wěn)定性。通常在水三相點(diǎn)標(biāo)定過程中須進(jìn)行靜壓修正和同位素的修正，而本實(shí)驗(yàn)工作主要考察溫度計(jì)的穩(wěn)定性，測試過程中使用的是同一個(gè)水三相點(diǎn)密封瓶，因此多次測量值的差值會(huì)消除這部分修正，對穩(wěn)定性考核無影響，所以所有溫度計(jì)的電阻測量值未進(jìn)行靜壓和同位素修正。4支待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)在水三相點(diǎn)的電阻值和自熱值如表4、5所列，表格中第1至第4次為液氮溫循前的測試值，第5次為液氮溫循后測試結(jié)果。溫度計(jì)在水三相點(diǎn)多次標(biāo)定電阻值與平均電阻值的差值經(jīng)過靈敏度（如表2所示）轉(zhuǎn)化為溫度的變化Tn-Tavg，如圖5所示。

表4 待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)水三相點(diǎn)電阻值標(biāo)定測量結(jié)果Tab.4 Resistance measurement results of standard platinum-cobalt thermometers at the triple point of water

表5 待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)水三相點(diǎn)自熱值測量結(jié)果Tab.5 Self-heating of resistance measurement results of standard platinum-cobalt thermometers at the triple point of water

圖5 4支待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)在水三相點(diǎn)分別多次標(biāo)定的電阻值Fig.5 The resistance of the tested standard platinum-cobalt thermometers at triple point of water

由圖5可知，4支溫度計(jì)的水三相點(diǎn)標(biāo)定溫度變化趨勢各不相同。PtCo2003溫度計(jì)5次測量值的變化較小，經(jīng)過20次室溫至液氮溫度溫循后，PtCo2003在水三相點(diǎn)的標(biāo)定電阻值變化轉(zhuǎn)化的溫度變化值小于0.3 mK，表現(xiàn)出了較好的穩(wěn)定性。另外3支溫度計(jì)在水三相點(diǎn)的溫度標(biāo)定電阻值變化較大，比PtCo2003的穩(wěn)定性差。尤其PtCo2005溫度計(jì)的溫度值與平均值差值結(jié)果相差126 mK。由圖6可以看出，PtCo2005鉑鈷溫度計(jì)在水三相點(diǎn)的自熱值由3 mK增加到6 mK，說明溫度計(jì)內(nèi)部導(dǎo)熱變差，這可能是溫度計(jì)內(nèi)部封裝的氦氣泄漏所致。從圖7可以看出，PtCo2007溫度計(jì)在水三相點(diǎn)多次測量的最大溫度差值為0.6 mK，PtCo2009溫度計(jì)的最大差值為3.5 mK?？赡艿脑蚴菧囟扔?jì)的電阻絲內(nèi)的應(yīng)力未完全釋放，因此，必須對該溫度計(jì)進(jìn)行進(jìn)一步熱處理。由上述實(shí)驗(yàn)可知，通過低溫液氮溫循，在提升溫度計(jì)的穩(wěn)定性的同時(shí)也能明顯反映出溫度計(jì)所存在的問題。

圖6 4支待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)在水三相點(diǎn)分別多次標(biāo)定的自熱值Fig.6 The self-heatingvalue of the tested standard platinum-cobalt thermometers at triple point of water

圖7 4支待測標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)在水三相點(diǎn)分別多次標(biāo)定的溫度值與平均值的差值Fig.7 The difference between the temperature value and the average value of the tested standard platinum-cobalt thermometers at triple point of water

3 結(jié)論

標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)主要用于0.65～25 K溫區(qū)溫度的傳遞和測量，在該溫度區(qū)間的穩(wěn)定性是承載該溫度數(shù)據(jù)的前提。本次液氮溫循篩選出的穩(wěn)定性優(yōu)于0.3 mK的溫度計(jì)還須在25 K以下溫區(qū)進(jìn)行進(jìn)一步測試。作者計(jì)劃搭建低溫恒溫器，使用穩(wěn)定性較好并攜帶標(biāo)定數(shù)據(jù)的鉑鈷溫度計(jì)作為參考溫度計(jì)，在25 K以下溫區(qū)進(jìn)行標(biāo)定比較，完成進(jìn)一步低溫溫循考核。

（1）研制的標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷電阻溫度計(jì)的水三相點(diǎn)標(biāo)定合成標(biāo)準(zhǔn)不確定度為0.2 mK，滿足標(biāo)準(zhǔn)電阻溫度計(jì)穩(wěn)定性考核要求。

（2）設(shè)計(jì)制作的液氮溫循裝置的單次溫循自然升降溫循周期約20 h。經(jīng)過多次液氮溫循后，穩(wěn)定性較差的溫度計(jì)的電阻值在水三相點(diǎn)的溫度變化會(huì)被進(jìn)一步放大，穩(wěn)定性較好的溫度計(jì)沒有較大變化，結(jié)果顯示，最優(yōu)穩(wěn)定性為0.3 mK。

（3）液氮溫循與水三相點(diǎn)標(biāo)定測量相結(jié)合，能夠快速有效地測試和篩選出穩(wěn)定性好的標(biāo)準(zhǔn)鉑鈷溫度計(jì)。

本文設(shè)計(jì)的液氮溫循裝置的自然升溫時(shí)間較長。后續(xù)工作將加入熱源，主動(dòng)控制升降溫時(shí)間，同時(shí)，也將進(jìn)一步設(shè)計(jì)搭建5～25 K低溫恒溫器，完成更低溫區(qū)溫度計(jì)的穩(wěn)定性考核。

4 致謝

感謝中科院理化所毛玉柱老師對本工作的悉心指導(dǎo)和支持，感謝昆明大方控制有限公司李興偉先生、陳德明工程師對本項(xiàng)研究的大力支持。