程立文

(揚(yáng)州大學(xué)物理科學(xué)與技術(shù)學(xué)院 江蘇 揚(yáng)州 225002)

1 引言

以智能制造為主的第四次工業(yè)革命推動(dòng)了半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展，萬物互聯(lián)，新興技術(shù)也在不斷發(fā)展.半導(dǎo)體行業(yè)中，芯片被稱為國(guó)家的“工業(yè)糧食”.我國(guó)科技創(chuàng)新技術(shù)正在不斷發(fā)展，科研生產(chǎn)水平日益提高，集成電路產(chǎn)業(yè)也成為我國(guó)重點(diǎn)戰(zhàn)略新興產(chǎn)業(yè).為限制我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)技術(shù)的發(fā)展，以美國(guó)為首的歐美國(guó)家對(duì)我國(guó)進(jìn)行了貿(mào)易制裁.通過對(duì)以華為、中興為代表的中方企業(yè)采取設(shè)備禁售,人才、技術(shù)、市場(chǎng)封鎖等手段來制約中國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展.由于我國(guó)芯片技術(shù)相對(duì)國(guó)外還存在一定的差距，貿(mào)易爭(zhēng)端事件之后導(dǎo)致我國(guó)集成電路產(chǎn)業(yè)發(fā)展延緩，遭遇“掐脖子”技術(shù)難題.此次摩擦使我國(guó)意識(shí)到自主掌握芯片核心技術(shù)的重要性，也同時(shí)進(jìn)一步堅(jiān)定了通過創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)自主研發(fā)芯片的決心和目標(biāo).只有建立芯片完整的產(chǎn)業(yè)鏈，各環(huán)節(jié)的自主可控，芯片實(shí)現(xiàn)國(guó)產(chǎn)化才能擺脫“卡脖子”的局面，因此對(duì)芯片產(chǎn)業(yè)的研究具有重大的戰(zhàn)略意義.為了爭(zhēng)奪半導(dǎo)體行業(yè)的主動(dòng)權(quán)，需要培養(yǎng)大量本土的集成電路專業(yè)人才，這就需要高校更加注重對(duì)于微電子專業(yè)的培養(yǎng).微電子專業(yè)培養(yǎng)的人才需要具有理論結(jié)合實(shí)際的能力，既要學(xué)好理論知識(shí)，同時(shí)也要掌握實(shí)際操作中工程應(yīng)用能力，從而推動(dòng)我國(guó)盡快攻克芯片技術(shù)難關(guān)，避免外國(guó)在人才資源上限制我國(guó)半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展.

半導(dǎo)體物理學(xué)作為微電子專業(yè)的基礎(chǔ)核心課程之一，是掌握集成電路知識(shí)的基礎(chǔ)課程，主要對(duì)半導(dǎo)體中的物理現(xiàn)象進(jìn)行系統(tǒng)介紹，詳細(xì)解釋半導(dǎo)體器件原理[1].該課程物理概念抽象，對(duì) “高等數(shù)學(xué)”“量子力學(xué)”“固體物理”等數(shù)理基礎(chǔ)知識(shí)要求較高，課程有一定難度，使得課堂效果難以得到保證；另一方面受當(dāng)前新冠疫情的影響，為了規(guī)避線下授課給抗疫帶來的風(fēng)險(xiǎn)，線上教學(xué)被普遍認(rèn)可和采用，在取得一定教學(xué)效果的同時(shí)，也存在一些不足[2].如線上教學(xué)缺乏線下教學(xué)面對(duì)面的優(yōu)勢(shì)，可能導(dǎo)致學(xué)生與教師互動(dòng)性不夠等.雖然目前疫情已經(jīng)得到控制，線下教學(xué)重新恢復(fù)，但由于線上教學(xué)的獨(dú)有特定，在空間和時(shí)間上相對(duì)于線下教學(xué)要求較少，線上教學(xué)已經(jīng)成為線下教學(xué)的一種有效補(bǔ)充，逐漸被師生所接受.

針對(duì)目前這種現(xiàn)象，同時(shí)結(jié)合自身教學(xué)經(jīng)驗(yàn)，提出對(duì)半導(dǎo)體物理學(xué)教學(xué)改革的思考與建議，尤其注重新冠疫情后期對(duì)半導(dǎo)體物理學(xué)“線上+線下”混合教學(xué)模式的探討[3].

2 半導(dǎo)體物理教學(xué)內(nèi)容的改革

2.1 半導(dǎo)體物理學(xué)課程的改革

揚(yáng)州大學(xué)微電子專業(yè)“半導(dǎo)體物理學(xué)”課程選用的教材是《半導(dǎo)體物理學(xué)》[4]，該書是由電子工業(yè)出版社出版，劉恩科等人編寫.教材的知識(shí)結(jié)構(gòu)完善，理論推導(dǎo)嚴(yán)謹(jǐn)有序，學(xué)科交叉性大.學(xué)習(xí)這門課程之前，需要學(xué)生們有高等數(shù)學(xué)”“量子力學(xué)”“固體物理”等數(shù)理基礎(chǔ)知識(shí).學(xué)生如果沒有這些前導(dǎo)知識(shí)的積累，就會(huì)出現(xiàn)“學(xué)生聽課難，老師授課難”的現(xiàn)象，導(dǎo)致學(xué)生學(xué)習(xí)積極性不高，還會(huì)加深對(duì)工科生“重實(shí)踐輕理論”的錯(cuò)誤觀念.據(jù)統(tǒng)計(jì)擁有微電子專業(yè)的大部分院校中半導(dǎo)體物理學(xué)的前置基礎(chǔ)課程并不齊全，許多學(xué)校已經(jīng)取消了量子力學(xué)、統(tǒng)計(jì)物理等課程.

因此在教學(xué)之前，教師需要清楚自己學(xué)院微電子專業(yè)開設(shè)的所有課程是否齊全，充分了解學(xué)生的基礎(chǔ)知識(shí)，合理增減教學(xué)內(nèi)容.教學(xué)內(nèi)容主要集中于前9章內(nèi)容.教學(xué)內(nèi)容主要集中于半導(dǎo)體的基礎(chǔ)知識(shí)教學(xué)，如電子、載流子、非平衡載流子、PN結(jié)的原理及特性，在教學(xué)過程中盡量避免復(fù)雜難懂的推理過程，在此基礎(chǔ)上結(jié)合學(xué)生學(xué)習(xí)情況選擇教學(xué).

例如教學(xué)中第一章“半導(dǎo)體”中前四小節(jié)視學(xué)生是否學(xué)習(xí)過固體物理學(xué)中的能帶論來安排，如果沒有這些基礎(chǔ)可以拿出半節(jié)課單獨(dú)補(bǔ)充能帶論的知識(shí)或者其他前置知識(shí)，平時(shí)講述新知識(shí)時(shí)可以多穿插固體物理、量子力學(xué)的理論，公式推導(dǎo)一步步向?qū)W生展示.涉及復(fù)雜的玻爾茲曼函數(shù)推導(dǎo)等這類公式，對(duì)于微電子專業(yè)的學(xué)生可以提及但不用細(xì)講，教學(xué)重點(diǎn)放在掌握實(shí)際應(yīng)用能力的培養(yǎng)上，不必過深地研究復(fù)雜機(jī)理，適當(dāng)刪減這類詳細(xì)的教學(xué)內(nèi)容將課時(shí)時(shí)間用在側(cè)重點(diǎn)上.

第九章之后剩下4章的內(nèi)容是研究光學(xué)性質(zhì)和發(fā)光現(xiàn)象、非晶態(tài)半導(dǎo)體等，一般不作要求.但我國(guó)芯片核心技術(shù)的研發(fā)需要一個(gè)長(zhǎng)期的周期發(fā)展，芯片研制的各環(huán)節(jié)困難眾多.其中就芯片的功率而言，隨著性能的不斷提升，功率也隨之提高，這就意味著需要更高性能的散熱和冷卻，如何做出一種微小、高效且散熱性能優(yōu)異的芯片結(jié)構(gòu)才是現(xiàn)在芯片封裝技術(shù)人員所面臨的難題，而微電子器件的封裝應(yīng)用研究進(jìn)展較為緩慢，通過對(duì)半導(dǎo)體熱電性質(zhì)的研究，能促進(jìn)培養(yǎng)本土集成電路芯片封裝的人才，應(yīng)當(dāng)把第十一章“半導(dǎo)體熱電性質(zhì)”的內(nèi)容作為半導(dǎo)體物理學(xué)的必修章節(jié).

2.2 半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)的改革

半導(dǎo)體物理學(xué)的實(shí)驗(yàn)課程基于由淺入深的原則，將書上的實(shí)驗(yàn)分為兩部分：基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)和創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)，半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)總計(jì)32課時(shí).

2.2.1 基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)

主要是以半導(dǎo)體基礎(chǔ)結(jié)構(gòu)來展開實(shí)驗(yàn)，包括其晶體結(jié)構(gòu)、電子結(jié)構(gòu)、光學(xué)特性以及載流子的輸運(yùn)特性和MOS結(jié)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)來鞏固學(xué)生理論知識(shí).基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目總計(jì)24課時(shí)，具體安排如表1所示.

表1 基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)項(xiàng)目安排

通過這6個(gè)基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)，學(xué)生能夠在基礎(chǔ)理論知識(shí)上結(jié)合實(shí)驗(yàn)，從單一的書本知識(shí)到動(dòng)手實(shí)驗(yàn)，具備了一定的研究基礎(chǔ).因此,在基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)上增添創(chuàng)新實(shí)驗(yàn).

2.2.2 創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)

結(jié)合理論知識(shí)以及基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)的學(xué)習(xí)，學(xué)生們分成各小組按照自己的研究興趣展開調(diào)研、實(shí)驗(yàn)、寫小論文的方式完成，總共8課時(shí).這種創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)?zāi)康脑谟诩ぐl(fā)學(xué)生的科研興趣，鼓勵(lì)學(xué)生積極調(diào)研文獻(xiàn)，參與討論.這樣有助于今后在從事相關(guān)行業(yè)時(shí)能夠得心應(yīng)手.

3 線上線下混合教育模式 教學(xué)形象化

因?yàn)樾鹿谝咔榉揽氐脑?，各地高校開學(xué)推遲甚至取消開學(xué)，教育部部署停課不停學(xué)措施，為了響應(yīng)號(hào)召，一種不同于傳統(tǒng)的教學(xué)形式，“線上教學(xué)”應(yīng)運(yùn)而生.線上教學(xué)雖然幫助我們規(guī)避了線下接觸帶來的風(fēng)險(xiǎn)，但這種新的教學(xué)方式也漸漸展露出弊端.

3.1 對(duì)比線上教學(xué)和線下教學(xué)

根據(jù)線上教學(xué)一年多的活動(dòng)總結(jié)，線上教學(xué)的優(yōu)勢(shì)能解決線下教學(xué)時(shí)場(chǎng)地和生源流動(dòng)問題，不用在乎時(shí)間和空間的約束.線上教學(xué)同時(shí)也存在一些缺點(diǎn)，線上教學(xué)過程中教師無法及時(shí)監(jiān)督學(xué)生學(xué)習(xí)狀態(tài)，導(dǎo)致課堂效果不佳.而傳統(tǒng)的教學(xué)模式(線下)的優(yōu)勢(shì)就是能有效地監(jiān)督學(xué)生們的學(xué)習(xí)情況，學(xué)生們的反應(yīng)也能及時(shí)地反饋給教師進(jìn)行互動(dòng)，其缺點(diǎn)就是課堂時(shí)間有限、講述內(nèi)容多、學(xué)生們很難消化完.

綜合以上優(yōu)缺點(diǎn)來說，對(duì)于半導(dǎo)體物理學(xué)這門物理概念抽象、涉及復(fù)雜物理模型、內(nèi)容深?yuàn)W、知識(shí)點(diǎn)繁多的課程，我們可以采用“線上+線下”混合教學(xué)的模式，利用這兩者的互補(bǔ)性，合理地安排時(shí)間和空間資源.教師將教學(xué)內(nèi)容細(xì)分，然后再整合到不同的教學(xué)模式里，各取所需.這樣既能幫助學(xué)生們有計(jì)劃地學(xué)習(xí)這門課程，也能便于教師的教學(xué)工作.

3.2 “線上+線下”的具體創(chuàng)新措施

在教學(xué)過程之前，以在線開放課程為輔[5].通過學(xué)校的教育平臺(tái)或者網(wǎng)絡(luò)學(xué)習(xí)的平臺(tái)讓學(xué)生有一個(gè)預(yù)學(xué)習(xí)階段，然后完成每章節(jié)的線上單元檢測(cè)，最后要求學(xué)生能自主構(gòu)建每章節(jié)的知識(shí)點(diǎn)，這樣能夠做到以學(xué)生為中心，提升學(xué)生的學(xué)習(xí)自主性[6].線上教學(xué)過程中應(yīng)當(dāng)防止學(xué)生不自律的情況發(fā)生，例如學(xué)生刷視頻這類現(xiàn)象，學(xué)?？梢圆扇≡谟^看視頻過程中提問、視頻無法快進(jìn)的方法來改善，將視頻中的問題得分算入期末考核成績(jī)，用來考查學(xué)生是否認(rèn)真觀看教學(xué)視頻.線上的課程不需要解釋書中深?yuàn)W難懂的知識(shí)點(diǎn)，其內(nèi)容要求能簡(jiǎn)單形象地讓同學(xué)們理解書中的復(fù)雜物理模型，形式不限(動(dòng)態(tài)示意圖、視頻等)，使學(xué)生直觀感受器件的工作過程，然后自己總結(jié)此過程涉及的原理.還可以搭建微信公眾號(hào)平臺(tái)，用作補(bǔ)充微電子行業(yè)的實(shí)時(shí)前沿信息，半導(dǎo)體物理學(xué)的知識(shí)也就可以得到不斷更新，這樣不僅解決了書本上內(nèi)容滯后的問題，而且也為設(shè)計(jì)創(chuàng)新實(shí)驗(yàn)提供新途徑和新思路，充分調(diào)動(dòng)了學(xué)生們的熱情.

然后再結(jié)合線下教學(xué)，利用PPT或者科研工具等方法協(xié)助教師講述理論知識(shí).半導(dǎo)體物理學(xué)絕大多數(shù)講述的是一個(gè)微觀世界的物理現(xiàn)象，學(xué)生無法理解，課堂氣氛枯燥.教師可以將物理現(xiàn)象用宏觀事物比喻分析，從而提升課堂的活躍氣氛；然后結(jié)合半導(dǎo)體物理實(shí)驗(yàn)來驗(yàn)證和實(shí)踐原理，鞏固對(duì)知識(shí)點(diǎn)的理解.另外，教師可以將微電子專業(yè)近些年發(fā)生的熱點(diǎn)事件分成若干專題給每一位學(xué)生，讓學(xué)生負(fù)責(zé)查詢資料和調(diào)研，利用小部分課堂時(shí)間讓同學(xué)分別講述自己的專題，提出疑問，老師協(xié)同解答，大家共享信息.這樣不僅能夠活躍氣氛，還能讓每個(gè)人積極參與其中，彼此交流匯報(bào)內(nèi)容，在學(xué)生的潛意識(shí)里加深對(duì)半導(dǎo)體物理學(xué)的認(rèn)識(shí).

工科生的線下教學(xué)既要重視理論也要重視實(shí)踐，但大學(xué)里的實(shí)驗(yàn)室和設(shè)備很難滿足微電子工藝的要求，能擁有芯片生產(chǎn)線的學(xué)校更是鳳毛麟角，學(xué)生就算有想法也沒有平臺(tái)去實(shí)現(xiàn).因此，高校的微電子專業(yè)需要和當(dāng)?shù)氐陌雽?dǎo)體企業(yè)多交流合作，建立校企合作關(guān)系.一來學(xué)生能借用企業(yè)的技術(shù)資源，可以實(shí)地去企業(yè)車間里學(xué)習(xí)和操作，提升他們的實(shí)操技能；二來企業(yè)聯(lián)合學(xué)校培養(yǎng)學(xué)生能大大縮減學(xué)生與企業(yè)之間的磨合期，同時(shí)合適的人才也能為企業(yè)貢獻(xiàn)自己的力量.

理論結(jié)合實(shí)踐的過程當(dāng)中，還可組織學(xué)術(shù)講座以及學(xué)術(shù)交流活動(dòng)，線上線下的形式不限，彼此探討研究領(lǐng)域的新發(fā)展，促進(jìn)高校之間的交流；還可以邀請(qǐng)名校教授或者企業(yè)技術(shù)人員做技術(shù)報(bào)告、專題講座，使學(xué)生能及時(shí)把握微電子領(lǐng)域的技術(shù)發(fā)展，在學(xué)好基礎(chǔ)理論知識(shí)的同時(shí)把握行業(yè)最新動(dòng)向，今后從事相關(guān)行業(yè)更加得心應(yīng)手[7].

“半導(dǎo)體物理學(xué)”課程的“線上+線下”混合教學(xué)模式，將理論、實(shí)踐、行業(yè)的前沿信息綜合一起，三者結(jié)合能夠提高微電子專業(yè)人才的綜合素養(yǎng)[8].

4 結(jié)束語

“半導(dǎo)體物理學(xué)”作為微電子專業(yè)的核心課程之一，其專業(yè)性強(qiáng)，需要很多前置課程來鋪墊，同時(shí)由于知識(shí)理解難度大、交叉學(xué)科多等特征，學(xué)生學(xué)習(xí)起來較為吃力.本文結(jié)合中美貿(mào)易摩擦局勢(shì)和國(guó)內(nèi)新冠疫情的情況，提出了對(duì)半導(dǎo)體物理學(xué)合理增減教學(xué)內(nèi)容的改革措施，制定具有微電子專業(yè)針對(duì)性的教學(xué)計(jì)劃；引入“線上+線下”混合的教學(xué)模式，多元化線上教學(xué)手段能極大地提升教學(xué)效率和培養(yǎng)興趣，線下的教學(xué)既要重視理論基礎(chǔ)也要重視實(shí)踐，搭建校企合作平臺(tái)為學(xué)生鍛煉實(shí)踐能力，不僅能夠讓學(xué)生了解到最新的行業(yè)前沿信息，聯(lián)系產(chǎn)業(yè)實(shí)際應(yīng)用，還能使學(xué)生深刻理解課上的知識(shí)點(diǎn).這門課程中認(rèn)真學(xué)習(xí)并通過考核的學(xué)生，一定會(huì)對(duì)學(xué)習(xí)半導(dǎo)體物理的基本原理和方法有清晰的認(rèn)識(shí)，后續(xù)學(xué)習(xí)微電子工藝、激光原理、封裝技術(shù)等課程將很容易上手.

由于自身的教學(xué)水平和經(jīng)驗(yàn)限制，對(duì)于本課程的建議可能不太成熟，在今后的教學(xué)工作中，將會(huì)對(duì)上述措施逐步完善和改進(jìn)，促進(jìn)“半導(dǎo)體物理學(xué)”課程的教學(xué)效果不斷提高.