戶 萬 蔡巧玉

如果有人問你，自工業(yè)革命以來最為復(fù)雜的一項(xiàng)技術(shù)是什么？在你了解到指甲蓋大小的硅片上面集成了超過10億只晶體管前，你會毫不猶豫地回答：“是半導(dǎo)體芯片技術(shù)”嗎？

從1947年貝爾實(shí)驗(yàn)室發(fā)明第一只晶體管，到1958年J.Kilby和R.Noyce發(fā)明第一塊集成電路，掀起世界電子產(chǎn)業(yè)的一場革命至今，上至航天飛機(jī)，下至人們每天使用的智能手機(jī)、平板電腦……半導(dǎo)體芯片，已經(jīng)成為當(dāng)今世界最不可忽視的重要產(chǎn)品，其對現(xiàn)代信息社會的滲透性遠(yuǎn)超過其他任何單一類產(chǎn)品。

半導(dǎo)體芯片種類繁多，人們使用最多的是數(shù)字芯片。數(shù)字芯片主要用于計(jì)算和數(shù)據(jù)處理，如CPU、固態(tài)存儲硬盤等，它們的作用就像是大腦。此類芯片的單元晶體管尺寸沿著摩爾定律越來越小，目前已達(dá)納米級。射頻芯片是另一類用于通信、遙控遙測、雷達(dá)等裝備的半導(dǎo)體芯片，它們的作用就像是眼睛和耳朵。應(yīng)用發(fā)展要求射頻芯片頻率和功率越來越高，單元晶體管尺寸則是越來越大?！疤靻栆惶枴被鹦翘綔y器與地球的聯(lián)系依靠的就是射頻芯片。您手機(jī)接收到的信號強(qiáng)弱就是由射頻芯片功率大小決定的，未來5G手機(jī)將使用頻率更高的毫米波段芯片，信息通量和下載速度將大大增加。

“在射頻微波毫米波芯片領(lǐng)域，國產(chǎn)第一代硅和第二代砷化鎵半導(dǎo)體芯片規(guī)模應(yīng)用落后西方發(fā)達(dá)國家數(shù)十年。在第三代氮化鎵領(lǐng)域，中國芯還要繼續(xù)落后下去嗎？”男兒不展凌云志，空負(fù)天生八尺軀。志氣，向來是中國電子科技集團(tuán)公司第十三研究所（以下簡稱“13所”）副所長、我國半導(dǎo)體芯片研究專家蔡樹軍和他的團(tuán)隊(duì)最不缺，也是最難能可貴的品質(zhì)。

從早年懷抱“師夷長技以自強(qiáng)”之志遠(yuǎn)赴美國加州大學(xué)洛杉磯分校等世界級半導(dǎo)體研究殿堂積累沉淀、初綻光芒，到回國后，先后帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)突破第三代半導(dǎo)體氮化鎵射頻器件技術(shù)，實(shí)現(xiàn)射頻芯片從第二代向第三代的跨越；突破砷化鎵芯片制造瓶頸技術(shù)，補(bǔ)齊砷化鎵芯片落后短板……這一樁樁、一件件事，無不飽含不服輸、勇敢拼的勇氣和志向，而這，正是中華民族偉大復(fù)興路上中華兒女最不可缺的驅(qū)動內(nèi)核之一。

緣定核芯“發(fā)動機(jī)”

什么是氮化鎵芯片？什么是砷化鎵芯片？它們的研究對國家、對普通老百姓有著怎樣的意義？走進(jìn)蔡樹軍及其團(tuán)隊(duì)的研究世界，或許你能一窺究竟。半導(dǎo)體行業(yè)中有“一代材料、一代技術(shù)、一代產(chǎn)業(yè)”的說法。以氮化鎵和碳化硅等寬禁帶半導(dǎo)體為代表的第三代半導(dǎo)體，正憑借材料性能的優(yōu)勢和廣闊的應(yīng)用場景，被業(yè)內(nèi)譽(yù)為固態(tài)光源、電力電子、射頻器件等產(chǎn)業(yè)的“新發(fā)動機(jī)”。

蔡樹軍早期工作照

立足國家重大需求，突破半導(dǎo)體射頻芯片核心技術(shù)，實(shí)現(xiàn)第二代砷化鎵和第三代氮化鎵高端射頻芯片的自主設(shè)計(jì)、自主制造是蔡樹軍及其團(tuán)隊(duì)多年堅(jiān)持的目標(biāo)，也是他們最值得驕傲和自豪的貢獻(xiàn)。

傾盡半生的智慧和力量，只為改變中國半導(dǎo)體射頻芯片的落后局面。這樣的壯志，這樣的情懷，其實(shí)是積蓄已久——

1981年，秉持“學(xué)好數(shù)理化，走遍天下都不怕”理念的蔡樹軍以數(shù)理化平均超90分的優(yōu)異成績考入武漢大學(xué)物理系，那年他不滿17周歲。回首當(dāng)時(shí)，他笑稱自己“啥也不懂”，對“半導(dǎo)體”的概念也還很模糊。初入大學(xué)頭兩年，他和物理系所有學(xué)員一樣，學(xué)的是四大力學(xué)、電路原理等基礎(chǔ)課程，首要任務(wù)是夯實(shí)基礎(chǔ)。等到大三面臨分專業(yè)時(shí)，在金屬、半導(dǎo)體、理論、光學(xué)4個專業(yè)之間，他毫不猶豫地選擇了當(dāng)時(shí)還是新興學(xué)科的半導(dǎo)體，理由只有一個：因?yàn)椤案杏X中國在這個領(lǐng)域落后很多”。越艱難的事情，越需要有人去開拓前行。對年輕的蔡樹軍來說，不懼困難，勇往直前是他骨子里埋藏的基因，確定目標(biāo)后，唯奮力前行。

1985年本科畢業(yè)后，蔡樹軍在本科班主任的推薦下，報(bào)考13所研究生。選擇13所的理由說起來有點(diǎn)“草率”，只因蔡樹軍的老師說起他多年前到一家單位參加全國性研討會，而那家單位大門口掛著一幅大橫幅，上面寫著“熱烈歡迎13所老大哥前來指導(dǎo)！”“這說明13所的地位一定很高?！辈虡滠娦χ貞?。事實(shí)上，笑談背后，是13所作為我國半導(dǎo)體領(lǐng)域內(nèi)代表“國家水平”的知名研究所真正不容小覷的技術(shù)能力和雄厚實(shí)力。在我國半導(dǎo)體研究和產(chǎn)業(yè)蹣跚起步的漫長階段里，13所是重要參與者也是重要推動者，為推動我國半導(dǎo)體技術(shù)發(fā)展做出過諸多不可磨滅的貢獻(xiàn)。1956年中國第一只晶體管，1965年我國第一塊實(shí)用化硅集成電路，1977年中國第一只砷化鎵場效應(yīng)晶體管等均在13所誕生。如今13所已是國內(nèi)領(lǐng)先的，覆蓋微電子、光電子、MEMS、高端傳感器和集成微系統(tǒng)諸領(lǐng)域的大型綜合性半導(dǎo)體研究所。

在美國參加IEDM會議時(shí)和諾貝爾獎獲得者、碳納米管發(fā)明人R.Smalley教授交流。

時(shí)至今日，蔡樹軍還在為自己當(dāng)初的選擇感到慶幸。就是在這樣一個光榮的大家庭里，他不僅一步步實(shí)現(xiàn)了積累和成長，還獲得了到外面世界汲取先進(jìn)知識的大門鑰匙。且最終在這里，他收獲了夢想得以實(shí)踐的歸屬感。至今，蔡樹軍還清晰地記得自己初到13所時(shí)選擇的是材料專業(yè)，“因?yàn)楫?dāng)時(shí)覺得中國半導(dǎo)體不行是因?yàn)榛A(chǔ)材料不行”，但天意弄人，因?yàn)椴牧蠈I(yè)的導(dǎo)師已經(jīng)招滿學(xué)生，所以所里推薦他轉(zhuǎn)到器件專業(yè)，這一次“不順?biāo)臁钡慕?jīng)歷恰好促成了蔡樹軍與半導(dǎo)體器件研究一生的情緣。而后來的經(jīng)歷也證明：他最終的選擇是對的。

這要從蔡樹軍的家庭講起——蔡樹軍的父親是當(dāng)?shù)胤綀A幾十里知名的農(nóng)機(jī)機(jī)械工程師，在小蔡樹軍兒時(shí)的記憶中，滿手沾滿機(jī)油搗鼓機(jī)械零部件是最常見不過的場景。從小耳濡目染、參與實(shí)踐，鍛煉了他極佳的動手能力。這為他后來在半導(dǎo)體器件研究中能夠做常人之不能做，埋下了堅(jiān)實(shí)伏筆。

上研究生時(shí)，蔡樹軍從事的是第一代硅器件研究。與很多同輩不一樣，他研究生時(shí)就因?yàn)槌錾谋憩F(xiàn)獲得導(dǎo)師王長河副總工程師和趙麗華主任的準(zhǔn)許，可以獨(dú)立地在研究室動手開展實(shí)驗(yàn)。從器件結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、畫版圖，到氧化、擴(kuò)散、光刻、濺射、刻蝕、測試等，全鏈條的工藝經(jīng)師傅指點(diǎn)后，蔡樹軍很快都熟練掌握，基本自己獨(dú)立完成。那時(shí)還沒有商業(yè)二維器件模擬軟件可以使用，為了驗(yàn)證自己的理論設(shè)計(jì)，蔡樹軍還用FORTRAN語言編寫了二維器件模擬軟件，“畢業(yè)論文因此增加了兩張漂亮的3D電勢分布圖，很值！”可惜的是數(shù)千條語句的軟件程序因?yàn)椤按蛴〕鰜頃呛芎褚豁?、太費(fèi)紙”，所以沒有保存下來?！澳嵌螘r(shí)間非常鍛煉我的能力”，蔡樹軍回憶。他研究生期間完成的新型高壓抗輻照器件，將抗輻照性能提升了60倍。

擁有自信和堅(jiān)實(shí)技術(shù)能力的蔡樹軍研究生畢業(yè)的第一年就領(lǐng)銜室創(chuàng)新小組，第二年就主持完成星用高可靠器件的成果鑒定，成功替代了日本的相應(yīng)產(chǎn)品，之后又主持完成國內(nèi)首個S波段100瓦脈沖大功率器件的鑒定，成果獲得原電子工業(yè)部科技進(jìn)步獎二等獎等。那幾年里，除了收獲更多的底氣和自信之外，也加深了蔡樹軍對國產(chǎn)設(shè)備的了解和多年后致力推動設(shè)備國產(chǎn)化的信心?！拔覀儺?dāng)時(shí)使用的工藝設(shè)備全部是國產(chǎn)，光刻機(jī)是13所自己研制的。國產(chǎn)設(shè)備不是不行，而是需要環(huán)境、時(shí)間和空間去提升?！?/p>

一步一步積累、沉淀，從學(xué)生到課題組長，再到主任，8年的時(shí)間里，蔡樹軍在13所完成了成長跨越。28歲不到，他就破格成為當(dāng)時(shí)13所里最年輕的高級工程師。

在13所成長的幾年時(shí)間里，蔡樹軍極強(qiáng)的動手能力和創(chuàng)造力開始得以展現(xiàn)。常常會有一些讓人驚喜的小創(chuàng)造。當(dāng)年，因?yàn)榭吹绞依锖怂銌T每個月做財(cái)務(wù)報(bào)表、成本分?jǐn)偟裙ぷ鞣爆嵍胰菀壮鲥e，他就用486機(jī)器、FOXBASE語言編寫了一個計(jì)算機(jī)核算軟件，最后在全所推廣；針對手動砷預(yù)淀積工藝存在砷中毒危險(xiǎn)的問題，他從倉庫里找出一些舊的電控件，把手動改成了自動控制，既大大減小了砷中毒的危險(xiǎn)，同時(shí)還提高了工藝重復(fù)性；針對光刻使用鑷子經(jīng)常造成硅片邊緣崩邊，影響光刻質(zhì)量的問題，他用銼刀和鉗子改造鑷子成“鷹鉤鼻”，避免了硅片正面崩邊……這樣工藝上的小改進(jìn)、小發(fā)明，還有不少。在很多人眼里，蔡樹軍不僅善于發(fā)現(xiàn)問題，還善于找到解決問題的辦法。

機(jī)會總是喜歡垂青有所準(zhǔn)備的人。在快速積累成長的過程中，蔡樹軍迎來了升級跨越的好機(jī)會——

山水萬程皆沉淀

20世紀(jì)90年代中期，蔡樹軍正是30歲意氣風(fēng)發(fā)的時(shí)候，經(jīng)過在13所多年的沉淀，他剛剛成長為室主任。恰同學(xué)少年，風(fēng)華正茂，在躊躇滿志的他正打算帶著實(shí)驗(yàn)室成員大干一場的時(shí)候，一次非常特別的機(jī)會擺在了他的面前——

彼時(shí)，我國第一代半導(dǎo)體研究還在如火如荼地進(jìn)行，西方發(fā)達(dá)國家已經(jīng)在著手第三代半導(dǎo)體氮化鎵的研究。時(shí)任13所所長的趙正平和梁春廣院士敏銳地捕捉到了這一點(diǎn)，決定派人前往美國學(xué)習(xí)取經(jīng)。這次在別人看來非常難得的機(jī)會花落蔡樹軍。如果換作是別人，肯定高興還來不及，蔡樹軍卻犯了難，“當(dāng)時(shí)正干得火熱，一群人正等著你帶領(lǐng)他們?nèi)ネ瓿啥ㄏ碌哪繕?biāo)，我就這樣跑去美國做半年的高級訪問學(xué)者，屁股沒坐熱，啥也沒學(xué)到就要回來，兩頭都耽誤事情?！眰€性的蔡樹軍拒絕了這一機(jī)會。沒想到，愛才惜才的所領(lǐng)導(dǎo)進(jìn)一步為他單獨(dú)申請到了一年的學(xué)習(xí)時(shí)間，這次，蔡樹軍沒有理由拒絕了，肩負(fù)代表國家到世界先進(jìn)半導(dǎo)體研究殿堂學(xué)習(xí)取經(jīng)的重任，他踏上了征程。沒想到，這一走就是8年時(shí)間。

1996年6月，蔡樹軍前往世界知名學(xué)府美國加州大學(xué)洛杉磯分校（UCLA）電子工程系做訪問學(xué)者研究。UCLA是世界互聯(lián)網(wǎng)的發(fā)源地，出過15名諾貝爾獎得主。作為全球排名前十左右的電子工程系其更是名師薈萃。蔡樹軍所在的導(dǎo)師課題組里，有來自世界各地諸如臺積電、三星等優(yōu)秀公司、機(jī)構(gòu)里的優(yōu)秀學(xué)者，諸多先進(jìn)思想都在此聚集、碰撞。蔡樹軍就像是進(jìn)到一個新鮮、充滿活力的“不一樣”的世界，到處都是他之前想都沒想過的先進(jìn)事物：用計(jì)算機(jī)控制的各種實(shí)驗(yàn)儀器、設(shè)備先進(jìn)齊全的“納米制造工藝中心”、精密快捷的加工車間……這些都帶給他極大的震撼。在這樣一個人才濟(jì)濟(jì)的地方，蔡樹軍倒也不輸優(yōu)勢，一去第一個月就把一臺課題組原本要丟棄的設(shè)備給弄活了。導(dǎo)師眼睛一亮，開始極力勸說他留下來攻讀博士學(xué)位，還親自到13所就此事溝通。從原來的訪問變成攻讀博士學(xué)位，原本答應(yīng)訪問完就回13所的蔡樹軍在此之前從沒想過這個問題，在他陷入兩難的時(shí)候，是13所原總工的話讓他最終下決心留在美國繼續(xù)學(xué)習(xí)?！扒拜呉运慕?jīng)歷告訴我，人生的路很長，學(xué)習(xí)的機(jī)會不是一直有，而為國家做貢獻(xiàn)的機(jī)會一直有?！币环腋嫒珲囗?。幸得13所領(lǐng)導(dǎo)的理解支持，蔡樹軍最終以公派自費(fèi)的名義開啟了在美國的學(xué)生生涯。

作半導(dǎo)體行業(yè)協(xié)會大會報(bào)告

“在美國念博士很辛苦，不同學(xué)校有不同的規(guī)矩。UCLA規(guī)定除了主修專業(yè)外，還要輔修兩個專業(yè)。我選擇了主修半導(dǎo)體器件專業(yè)，輔修半導(dǎo)體材料專業(yè)和集成電路專業(yè)，共修了13門課。修滿學(xué)分后是資格大考。3個小時(shí)開卷考試、3個小時(shí)閉卷考試再加3個小時(shí)答辯，都通過后才正式具備博士研究生資格，淘汰率有四分之一?！辈虡滠姾軕c幸自己堅(jiān)持了下來。至今，他還記得導(dǎo)師給予他的鼓勵：Suffer from learning is a good thing?。ㄒ?qū)W習(xí)而辛苦是件好事！）

雖然學(xué)業(yè)重，但蔡樹軍始終沒有忘記初心，積極參與當(dāng)時(shí)國際熱點(diǎn)氮化鎵射頻器件技術(shù)的攻關(guān)。從1996年到2002年，6年在UCLA的時(shí)間里，蔡樹軍表現(xiàn)超群，被指定為團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人，先后負(fù)責(zé)了多個總經(jīng)費(fèi)超過1000萬美元的氮化鎵研究項(xiàng)目，而他個人最終也以“Microwave Power AlGaN/GaN Heterojunction Field Effect Transistor for X-band Applications”（“氮化鎵異質(zhì)結(jié)微波功率器件在X波段的應(yīng)用”）為題完成博士論文。這是國際上最早的氮化鎵射頻器件博士研究論文之一。論文系統(tǒng)研究了氮化鎵材料性質(zhì)，提出表面電荷補(bǔ)償模型闡明電流崩塌機(jī)理，發(fā)明了GAMMA柵抑制逆壓電效應(yīng)，突破歐姆接觸等關(guān)鍵技術(shù)瓶頸，解決世界性關(guān)鍵技術(shù)難題，發(fā)表了當(dāng)時(shí)國際最高水平成果，獲得了導(dǎo)師和項(xiàng)目高級官員的高度評價(jià)。研究成果充分揭示了氮化鎵作為射頻功率器件的巨大潛力，為后來他回國帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)實(shí)現(xiàn)跨越發(fā)展打下堅(jiān)實(shí)的理論和實(shí)踐基礎(chǔ)。

在美國6年的研究對蔡樹軍的影響是多方面的，除了學(xué)習(xí)居于前沿的先進(jìn)技術(shù)知識和理念之外，他還對來自世界各地不同文化背景的人增進(jìn)了了解，美國人的開朗、日本人的嚴(yán)謹(jǐn)、伊朗人的謹(jǐn)慎、俄羅斯人扎實(shí)的理論功底……幾年接觸，蔡樹軍學(xué)會了與不同性格背景的人溝通交流，建立了良好的人脈。尤其是導(dǎo)師對追求科學(xué)真理的熱情，對追求完美結(jié)果的執(zhí)著，至今，仍影響著蔡樹軍?！癚uality is not an act，is a habit”（優(yōu)秀品質(zhì)是一種習(xí)慣,而不是一兩次的表現(xiàn)!），導(dǎo)師的座右銘?yīng)q在耳畔，熏陶數(shù)年，已成了蔡樹軍一輩子的財(cái)富。2002年博士畢業(yè)之后，意猶未盡的蔡樹軍還選擇到領(lǐng)域里的知名學(xué)府——香港科技大學(xué)繼續(xù)學(xué)習(xí)和工作，成為電子工程系客座助理教授、博士生導(dǎo)師，英文講授“半導(dǎo)體器件物理”和“集成電路制造”等課程?！爸挥挟?dāng)過老師，學(xué)過的知識才能進(jìn)一步夯實(shí)。因?yàn)檎n堂上來自世界各地的學(xué)生什么問題都可能問，當(dāng)老師的總不能被學(xué)生輕易難住”，蔡樹軍笑著說。兩年的任教生涯，收獲滿滿。離開后，學(xué)校改聘他為兼職副教授，并將崗位保留了十多年。

從1996年到2004年，出走13所歷練的8年間，走過多個世界科學(xué)研究殿堂，蔡樹軍的經(jīng)歷正應(yīng)了那句話：山水萬程皆沉淀，歸來不負(fù)少年時(shí)。

敢與天公試比高

2004年，羽翼豐滿的蔡樹軍選擇回到了闊別8年的13所。

對回來這件事情，蔡樹軍從沒有過猶豫，“我承諾過我肯定要回來的”。沒有談任何條件，即使他在香港科技大學(xué)的工資已經(jīng)是13所的幾倍數(shù)，即使北上廣有不少非常不錯的單位都拋來橄欖枝……他還是毫不猶豫地選擇回到原點(diǎn)?！皩ξ襾碚f，人生就像一本書，換換章節(jié)可以，但沒有必要另起爐灶，這些年來，13所給了我太多，我還是就著13所這本書，繼續(xù)往下翻吧?！辈虡滠娦χf。而這次回歸，他不僅與13所重續(xù)了前緣，還翻開了新的篇章。

正如前文所說，一代芯片一代裝備。以第二代半導(dǎo)體砷化鎵芯片為例，涉及上千個具體性能指標(biāo)不同的產(chǎn)品，因?yàn)殚L期突破不了性能低、成品率低、一致性差、可靠性差等問題，嚴(yán)重制約了裝備發(fā)展，改變落后局面迫在眉睫。

回國3個月了解情況后，蔡樹軍主動到當(dāng)時(shí)虧損多年的砷化鎵專業(yè)部兼任主任?！鞍雽?dǎo)體曾經(jīng)是13所的榮光，到我們這代更應(yīng)該保持其榮光”。為改變落后局面，蔡樹軍兼任主任后大刀闊斧地主導(dǎo)了一系列提升工作。包括重新組建核心團(tuán)隊(duì)，技術(shù)上梳理出幾十個問題，成立攻關(guān)小組，主導(dǎo)了一系列攻關(guān)。在提升精細(xì)T型柵成品率的攻關(guān)過程中，他發(fā)現(xiàn)了自掩蔽效應(yīng)機(jī)理，提出解決方案，解決深亞微米T型柵可靠性與成品率低的問題；主導(dǎo)外延材料自主研發(fā)，大大加快了新產(chǎn)品的開發(fā)速度和抗風(fēng)險(xiǎn)能力；主導(dǎo)模型團(tuán)隊(duì)的培養(yǎng)和建設(shè)，縮短了產(chǎn)品設(shè)計(jì)周期；主導(dǎo)技術(shù)和人才引進(jìn)，策劃國際合作，培養(yǎng)和提升一大批工藝線核心骨干能力，等等。

工欲善其事，必先利其器。在世界級科研殿堂學(xué)習(xí)和工作多年，蔡樹軍對先進(jìn)技術(shù)方法手段的推動作用有著清醒的認(rèn)識，因此極力推進(jìn)相關(guān)工作，包括主導(dǎo)工藝線SPC（統(tǒng)計(jì)工藝控制）在線系統(tǒng)的建設(shè)，通過引進(jìn)消化吸收再創(chuàng)新，實(shí)現(xiàn)了先進(jìn)的具有完全自主知識產(chǎn)權(quán)的SPC技術(shù)，該技術(shù)系統(tǒng)的開發(fā)，改變了關(guān)鍵工藝參數(shù)不可見、不可控的歷史；主導(dǎo)了PCM（工藝控制監(jiān)控圖形）設(shè)計(jì)，將復(fù)雜的工藝質(zhì)量轉(zhuǎn)化成可以測量的參數(shù)；改變?nèi)斯y試和統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)的歷史，示范搭建VEE控制系統(tǒng)，推動實(shí)現(xiàn)全系統(tǒng)測試數(shù)據(jù)的計(jì)算機(jī)自動采集，大幅提高工藝過程數(shù)據(jù)和產(chǎn)品數(shù)據(jù)的采集效率，確保了數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和實(shí)時(shí)性；主導(dǎo)了基于SPC大數(shù)據(jù)對產(chǎn)品性能與工藝參數(shù)進(jìn)行關(guān)聯(lián)度分析的圖形化系統(tǒng)的建立，做到工藝改進(jìn)有的放矢，已成為持續(xù)提升產(chǎn)品性能的基本手段。這些先進(jìn)技術(shù)方法手段的應(yīng)用，無疑在當(dāng)時(shí)是一劑又一劑強(qiáng)心針，加快推進(jìn)了半導(dǎo)體射頻芯片的工程化進(jìn)程。

一只木桶能裝多少水，不取決于最高的木板有多高，而取決于最短的木板有多短。在國產(chǎn)芯片領(lǐng)域，芯片制造就是這樣一根短板，蔡樹軍對此有深刻的感悟。

“做芯片是一件不容易的事情，需要幾代人的傳承接力。前有長輩一代人打下的基礎(chǔ)，后有年輕人的快速成長，先后接替我的兩位主任幾年里都已成長為副所長。正因?yàn)橛羞@些優(yōu)秀的年輕人的接棒，才有了事業(yè)的傳承，才有了今天我們射頻高端芯片自主保障和與國際并跑的局面?！弊允贾两K，蔡樹軍都不覺得功勞是自己的，而是團(tuán)隊(duì)智慧和努力的結(jié)晶。

在一系列舉措的推動之下，13所最終建成了可與西方一流同類企業(yè)比擬的化合物射頻芯片集成設(shè)計(jì)制造線，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的標(biāo)準(zhǔn)先進(jìn)工藝，性能、產(chǎn)能和交付周期達(dá)到國際一流水平，補(bǔ)齊了射頻芯片的短板，徹底改變了射頻芯片長期依賴進(jìn)口的落后局面。

與卜愛民所長（右一）參加人民大會堂領(lǐng)獎

在蔡樹軍近40年的半導(dǎo)體研究生涯中，策劃寬禁帶半導(dǎo)體推進(jìn)計(jì)劃應(yīng)該是濃重的一筆。作為計(jì)劃指南主要編制者和項(xiàng)目負(fù)責(zé)人，憑借早年在境外研究氮化鎵多年的堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)和技術(shù)領(lǐng)先優(yōu)勢，蔡樹軍先后負(fù)責(zé)了多個相關(guān)重大項(xiàng)目的實(shí)施，在進(jìn)一步提升性能基礎(chǔ)上，帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)解決一系列工程化問題，成功實(shí)現(xiàn)國產(chǎn)射頻芯片向國際最新一代的跨越，在高端射頻芯片領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)與國際并跑。相關(guān)成果蔡樹軍作為第一完成人獲得2019年度國家科技進(jìn)步獎一等獎，該獎也是中國電科成立以來，在基礎(chǔ)元器件領(lǐng)域獲得的首個國家科學(xué)技術(shù)進(jìn)步獎一等獎。

我自縱橫，敢與天公試比高。比美國晚啟動8年，卻實(shí)現(xiàn)與之并跑和局部超越。蔡樹軍和他所在的團(tuán)隊(duì)?wèi){借對前沿技術(shù)敏銳的洞察力以及超強(qiáng)的領(lǐng)悟力、創(chuàng)新力、執(zhí)行力，在中國深陷芯片危困之際，唱響了一曲非常難得的從設(shè)計(jì)到制造全鏈條的中國芯自主創(chuàng)新之歌，為中國芯的崛起吹響了振奮人心的號角。

唱響合作主旋律

“一個人走得快，一群人走得遠(yuǎn)?！睆氖贾两K，蔡樹軍都在強(qiáng)調(diào)團(tuán)隊(duì)的力量。事實(shí)上，參與大工程項(xiàng)目這些年，蔡樹軍口中所說的團(tuán)隊(duì)，早已經(jīng)不再局限于13所，而是涵蓋了各個領(lǐng)域的合作單位。這些年走來，他們給蔡樹軍留下太多的感動故事、感動瞬間。他們，是支撐蔡樹軍前行的最大力量。

蔡樹軍永遠(yuǎn)也不會忘記，自己風(fēng)華正茂之時(shí)，是13所前輩和領(lǐng)導(dǎo)為他打開了通向世界科研殿堂學(xué)習(xí)進(jìn)步的大門，回國后，正是在13所歷任所長和同事們的支持和幫助之下，他才得以一步一步放心帷幄布局并最終踐行?！霸缒瓴环σ恍┐蟮堕煾呐e措，例如把氮化鎵器件技術(shù)整體從重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室轉(zhuǎn)移到專業(yè)部，重新布局等，這些，都得到了他們的大力支持?！?/p>

在蔡樹軍看來，他所在的是一支有著優(yōu)良傳承和蓬勃朝氣的奮進(jìn)團(tuán)隊(duì)?！拔覀儸F(xiàn)任所長卜愛民常說一句話：‘做隱姓埋名的人，干驚天動地的事?！@也是他從老一輩人身上感悟到的精神?！倍@，這也是蔡樹軍不斷強(qiáng)調(diào)“要保持個人低調(diào)、少突出個人”，甚至有了成果也很少報(bào)獎的原因。蔡樹軍說起一件難忘的事：在獲得國家科技進(jìn)步獎一等獎后，他給當(dāng)年的老領(lǐng)導(dǎo)匯報(bào)，老領(lǐng)導(dǎo)在得知他回國后一直在同一個崗位一干近20年后說：“我就喜歡你這樣坐得住的，專注一件事，干成一件事！”得到老領(lǐng)導(dǎo)的肯定，蔡樹軍已是很滿足?！捌鋵?shí)，默默無聞，在13所奉獻(xiàn)了一輩子的人有很多”。

除了肩負(fù)責(zé)任、無私奉獻(xiàn)，科學(xué)布局、運(yùn)籌帷幄；對前沿技術(shù)敏銳的洞察力，對先進(jìn)科學(xué)技術(shù)方法的重視，對科學(xué)管理方法的踐行……經(jīng)年累月，這些13所前輩沉淀出的優(yōu)秀品質(zhì)在蔡樹軍等新一代13所人身上都得到淋漓盡致的展現(xiàn)、沉淀，并且升華、擴(kuò)大。

早年，蔡樹軍從13所前輩身上獲益良多，如今，他希望自己在這方面的感悟也能夠惠及年輕一代?；貒笏两窦嫒沃攸c(diǎn)實(shí)驗(yàn)室副主任。第二年他提出的“格物、致知、創(chuàng)新”的室訓(xùn)已刻在實(shí)驗(yàn)室的墻上，提醒著重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的年輕骨干們，在努力探究科學(xué)真理的同時(shí)，不忘為社會創(chuàng)造現(xiàn)實(shí)價(jià)值。令人欣慰的是，重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室團(tuán)隊(duì)在蔡樹軍香港科大的博士生、現(xiàn)任常務(wù)副主任的帶領(lǐng)下，在太赫茲、石墨烯、金剛石、氧化鎵器件等前沿領(lǐng)域保持了國際第一梯隊(duì)水平，為未來持續(xù)發(fā)展打下良好基礎(chǔ)。其中太赫茲核心芯片關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用獲2020年度中國電子學(xué)會發(fā)明獎一等獎。

當(dāng)年接手專業(yè)部，上任第一周，蔡樹軍就明示了他的管理理念：“人盡其才，物盡其用”，并將其貼在了墻上。重組團(tuán)隊(duì)的時(shí)候，蔡樹軍主動公開個人郵箱，收到郵件上百份。為踐行自己的管理理念，他基本與每個成員都談過話，把有意愿換崗的都盡量安排在合適的崗位上?！懊總€人都有長處，我的首要職責(zé)就是發(fā)現(xiàn)人才，并盡快發(fā)揮所有員工的長處”，“其次就是如何用好現(xiàn)有的設(shè)備”。

當(dāng)年，在缺人缺技術(shù)的困頓時(shí)刻，專業(yè)部曾經(jīng)讓一批退休人員返聘上崗，當(dāng)年輕主力逐漸充足后，這些老員工也完成使命從容退出?！按蠹铱傆幸环N愿意為目標(biāo)無私奉獻(xiàn)的精神?！辈虡滠娪X得，這就是軍工人身上最可愛的閃光點(diǎn)。“科技日新月異，我們需要把年輕人的能量發(fā)揮出來，待遇是一方面，擘畫藍(lán)圖，激發(fā)他們對事業(yè)的熱愛，把心穩(wěn)住，事業(yè)才有延續(xù)的希望?！?/p>

穩(wěn)定隊(duì)伍，信任年輕人，把交接棒逐步交到他們手上的同時(shí)，蔡樹軍一方面作為課題負(fù)責(zé)人承擔(dān)固態(tài)微波領(lǐng)域最大項(xiàng)目，一方面不忘在領(lǐng)域里發(fā)揮自己更大的作用。近些年里，他受邀作專題和特邀報(bào)告40余次，報(bào)告主題包括硅、砷化鎵、氮化鎵半導(dǎo)體器件與集成電路、宇航可靠性、5G、工業(yè)4.0、半導(dǎo)體設(shè)備國產(chǎn)化等諸多方面，聯(lián)合發(fā)表的論文據(jù)中國知網(wǎng)統(tǒng)計(jì)下載總數(shù)已超過1萬次。這些年，他立意解決行業(yè)里的主要矛盾，著手前沿布局，圍繞早日實(shí)現(xiàn)核心芯片的自主可控，往來奔走，建言獻(xiàn)策……為推動半導(dǎo)體行業(yè)發(fā)展做出了重要貢獻(xiàn)。

與砷化鎵專業(yè)部轉(zhuǎn)型初期先進(jìn)工作者合影

隱姓埋名舒壯志，長使兒女淚沾襟。蔡樹軍之所以能全心撲在工作上，離不開家人的支持。難忘當(dāng)年女兒在蘭州出生的時(shí)候，他正在所里開成果鑒定會，會后還惦記用戶對新產(chǎn)品的使用情況，順道又走訪了西安客戶，3天后才見到新出生的小寶寶。這樣對家人的愧疚在蔡樹軍多年工作中出現(xiàn)過無數(shù)次?！霸谝呀?jīng)走過的人生旅途中，陪孩子太少是我最大的愧疚”。當(dāng)愧疚成為常態(tài)，唯一聲嘆息，將所有對親人的感恩埋在心間，用事業(yè)來回報(bào)。

或許是因?yàn)樽约憾嗄暝谕獾纳羁谈形?，蔡樹軍對未來先進(jìn)硅數(shù)字集成電路產(chǎn)業(yè)、中國目前芯片最大短板的發(fā)展方向，依然倡導(dǎo)“合作是主旋律”?！肮钄?shù)字集成電路發(fā)展到今天，已經(jīng)注定單一國家無法獨(dú)立承擔(dān)所有研發(fā)費(fèi)用并壟斷全產(chǎn)業(yè)鏈，尤其在3nm節(jié)點(diǎn)及其以后，技術(shù)難度、投資費(fèi)用更大?！薄懊鎸θ缃裢庠谛蝿葑兓斐傻睦Ь?，我們不惹事也不怕事。我們要客觀認(rèn)識差距，過度樂觀和過度悲觀都是不可取的。一方面商用芯片領(lǐng)域要繼續(xù)努力主動融入世界、擁抱世界；另一方面涉及國家安全的芯片必須堅(jiān)決實(shí)施全面自主保障戰(zhàn)略，一張藍(lán)圖繪到底?！薄鞍雽?dǎo)體技術(shù)作為人類共同的財(cái)富，應(yīng)該有來自中國的更大貢獻(xiàn)。期待中國創(chuàng)新，期待中國方案！”在蔡樹軍心中，半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)前景依然樂觀。中國順勢而為，大有可為！