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        PCB 基密封并聯(lián)平面觸發(fā)火花隙開關(guān)的設(shè)計及性能

        2021-06-16 03:01:52初青蕓簡昊天沈瑞琪
        含能材料 2021年6期
        關(guān)鍵詞:飛片場強(qiáng)導(dǎo)通

        楊 智,朱 朋,初青蕓,簡昊天,張 秋,汪 柯,沈瑞琪

        (1. 南京理工大學(xué) 化工學(xué)院,江蘇 南京 210094;2. 微納含能器件工業(yè)和信息化部重點實驗室,江蘇 南京 210094)

        1 引言

        爆炸箔起爆系統(tǒng)(exploding foil initiator system,EFIs)是一種典型的小尺寸脈沖功率系統(tǒng),主要包含脈沖功率源[1-2]和爆炸箔起爆器(exploding foil initiator,EFI)兩部分,適用于武器彈藥的鈍感點火和鈍感起爆技術(shù)領(lǐng)域。EFI又稱作沖擊片雷管(slapper detonator),其不含敏感藥劑,并且橋箔與炸藥柱不直接接觸,只有在特定的脈沖大電流作用下,才能使橋箔發(fā)生電爆炸,進(jìn)而剪切驅(qū)動飛片實現(xiàn)點火或者起爆功能。因此,EFI具有抗射頻、靜電、雜散電流和電磁干擾等極端環(huán)境的能力,具有很高的安全性。EFI 作用時間短,多點作用同步性高,并且具有可檢測特性,使其在軍事和民用方面都具有廣闊的應(yīng)用前景,因而受到國內(nèi)外學(xué)者的廣泛關(guān)注[3]。

        脈沖功率源率先將能量儲存在高壓電容中,進(jìn)一步在高壓開關(guān)控制下實現(xiàn)能量向EFI 的釋放。高壓開關(guān)通過控制能量的釋放過程,直接決定著EFIs 的輸出特性(脈沖電流的上升時間及其峰值),從而影響起爆系統(tǒng)的性能,因此成為EFIs 的核心器件[4-5]。高壓開關(guān)種類繁多,主要包括半導(dǎo)體開關(guān)[6]、平面介質(zhì)開關(guān)[7-9]、觸發(fā)真空開關(guān)[10]和觸發(fā)火花隙開關(guān)。觸發(fā)火花隙開關(guān)一般設(shè)計成三電極結(jié)構(gòu),即陰、陽主電極,和位于兩者之間的觸發(fā)電極。開關(guān)的導(dǎo)通過程是在短間隙觸發(fā)導(dǎo)通后,通過粒子碰撞電離和空間光電離等形式產(chǎn)生電子雪崩效應(yīng),形成連接主電極的流注,實現(xiàn)完全導(dǎo)通[11]。觸發(fā)火花隙開關(guān)由于具有結(jié)構(gòu)簡單和電氣性能穩(wěn)定等優(yōu)點,成為當(dāng)前最為常用的高壓開關(guān)之一。之前的研究者主要開展了電極結(jié)構(gòu)、電極材料和氣體氛圍對于電極燒蝕、使用壽命、自擊穿電壓(self-breakdown voltage,USB)和觸發(fā)工作特性的影響規(guī)律研究[12-18]。近年來,為了降低制作成本以及縮小體積,研究人員基于微機(jī)電系統(tǒng)工藝和低溫共燒陶瓷工藝分別研制了平面觸發(fā)火花隙開關(guān)(planar triggered spark-gap switch,PTS)[19-23]。但是由于工藝條件的限制,兩種類型的PTS 都只是采用單個三電極的結(jié)構(gòu),沒有引入冗余設(shè)計,極有可能降低系統(tǒng)的可靠度。

        印制電路板(printed circuit board,PCB)工藝是一種能夠以低成本批量制備電子線路的成熟技術(shù),既是電子元器件,又是電氣連接的提供者,支持組件和功能的模塊化集成。PCB 工藝尤其適用于多層板的制作,因此已經(jīng)有不少研究利用該工藝研制了各種機(jī)電相結(jié)合的芯片裝置(lab-on-PCB chips)[24-26],加大了設(shè)計靈活性,縮小了裝置體積,提高了自動化水平。

        為了提高EFIs 的作用可靠性,減小系統(tǒng)體積、降低系統(tǒng)成本,依據(jù)設(shè)計準(zhǔn)則確定了開關(guān)三電極的結(jié)構(gòu)參數(shù),進(jìn)一步采用PCB 工藝批量制備了密封并聯(lián)PTS,實現(xiàn)了開關(guān)的冗余集成。為了確保并聯(lián)PCB-PTS 可靠工作,采用仿真軟件對觸發(fā)前后的開關(guān)間隙靜電場進(jìn)行了模擬,獲得了與間隙相匹配的觸發(fā)條件。在設(shè)計與制備基礎(chǔ)上組建開關(guān)性能測試裝置,獲得了并聯(lián)PCB-PTS 的電氣性能參數(shù),其中脈沖電流滿足EFIs 的特性要求。最后,將并聯(lián)PCB-PTS 用于EFI 發(fā)火回路以驗證該開關(guān)的實用性。

        2 開關(guān)的設(shè)計與制備

        2.1 開關(guān)的設(shè)計

        本研究設(shè)計了兩個三電極結(jié)構(gòu)并聯(lián)的PTS,其中單個三電極結(jié)構(gòu)及其相對位置如圖1 所示,關(guān)鍵的結(jié)構(gòu)包括主電極半徑(r)、主間隙(陰陽兩個主電極的間隙,d)、觸發(fā)間隙(觸發(fā)電極和陰極的間隙,a)和觸發(fā)電極寬度(b)。

        圖1 并聯(lián)PCB-PTS 中三電極結(jié)構(gòu)示意圖Fig.1 Schematic diagram of three electrodes located in the parallel PCB-PTS

        陰陽兩個主電極設(shè)計成r=2.0 mm 的半圓形結(jié)構(gòu),目的是保證電極間隙之間盡可能存在均勻電場,以提高開關(guān)的使用壽命。根據(jù)觸發(fā)火花隙開關(guān)的導(dǎo)通過程,在施加觸發(fā)信號之后,開關(guān)率先在觸發(fā)間隙實現(xiàn)導(dǎo)通,因此減小觸發(fā)間隙有利于提高觸發(fā)電極的使用壽命,結(jié)合加工精度a 設(shè)計為0.15 mm,b 取0.2 mm。所設(shè)計開關(guān)氣體氛圍固定,可以視作在標(biāo)準(zhǔn)大氣壓下(p=1.01×105Pa)工作,由此主間隙大小直接決定USB,進(jìn)而影響開關(guān)的工作電壓范圍,基于耐壓需求(1000~3000 V)設(shè)計d 為0.9 mm。

        2.2 開關(guān)的制備

        2.2.1 PCB 工藝研制開關(guān)

        圖2 基于PCB 工藝制備并聯(lián)PTSFig.2 Preparation of parallel PTS based on PCB technology

        多層線路板的PCB 工藝指的是采用層壓工藝將多塊PCB(基板、單面板或者雙面板),通過加熱半固化片(prepreg)而黏結(jié)的方式壓合成為一體。采用多層PCB 工藝批量制備并聯(lián)PTS,使得樣品的成本低并且一致性好。本研究的并聯(lián)PCB-PTS 通過層壓三塊PCB制備,如圖2a 所示。具體而言,首先通過光刻工藝分別在頂層芯板(PCB 1)和底層芯板(PCB 3)制備圖1所示的三電極結(jié)構(gòu)??紤]到導(dǎo)通過程存在火花燒蝕效應(yīng),所以對三電極做了加厚處理以延長開關(guān)的使用壽命,厚度約為70 μm。然后將含有PTS 的PCB 1、PCB 3 和中間FR-4 基材(PCB 2)層壓成為一體,其中上、下兩塊芯板的厚度都是0.5 mm,中間芯板厚1.5 mm。最后采用機(jī)械鉆孔和沉銅工藝(金屬化孔技術(shù))制備多個通孔,實現(xiàn)兩個三電極并聯(lián),進(jìn)一步在PCB 1 的TOP層制備與三電極對應(yīng)的三個矩形焊盤,有利于通過表面貼裝技術(shù)(Surface Mounted Technology,SMT)的方式實現(xiàn)電氣連接。PCB 2 用于隔離兩個三電極結(jié)構(gòu),同時壓合后的空腔(通過機(jī)械鉆孔或者激光切割的方式制備)為密封結(jié)構(gòu),里面含有開關(guān)導(dǎo)通過程所需要的空氣,密封空腔的尺寸為4.0 mm(l)×3.0 mm(w)×1.5 mm(h)。圖2b 為采用PCB 工藝批量制備得到的部分并聯(lián)PTS 的實物照片,單只開關(guān)尺寸為13.5 mm(l)×7.5 mm(w)×2.5 mm(h),屬于扁平結(jié)構(gòu),有利于縮小EFIs 的體積。

        顯微計算機(jī)斷層掃描(micro computed tomography,μCT)技術(shù)通過利用物質(zhì)對射線(常用的是X 射線)的吸收率和透過率不同的成像原理,對樣品結(jié)構(gòu)進(jìn)行斷層掃描,能夠獲得微米級結(jié)構(gòu)的立體和斷面圖像[27]。為了表征采用PCB 工藝制備并聯(lián)PTS 的工藝可行性,采用μCT 拍攝并重建了并聯(lián)PCB-PTS 的立體和斷面圖像,如圖3 所示。

        圖3a為開關(guān)的立體結(jié)構(gòu)掃描圖,表明整體上實現(xiàn)了并聯(lián)PCB-PTS的制備。圖3b-d為斷面圖像,其中圖3b為俯視圖,顯示三電極結(jié)構(gòu)的大小和相對位置符合設(shè)計參數(shù),例如開關(guān)外形的截面尺寸為13.5 mm(l)×7.5 mm(w),主電極半徑為2.0 mm,主間隙為0.9 mm。圖3c 和圖3d顯示了金屬過孔的大小,尺寸為0.5 mm,與設(shè)計值一致。μCT 結(jié)果表明采用PCB 工藝制備并聯(lián)PTS 滿足設(shè)計精度要求,是一種可行的加工方式。

        圖3 μCT 拍攝并聯(lián)PCB-PTSFig.3 Photographs of parallel PCB-PTS taken by μCT

        2.2.2 靜電場仿真

        為了表征觸發(fā)前后開關(guān)電極間隙的空氣電場強(qiáng)度和空氣擊穿場強(qiáng)的大小關(guān)系,確保并聯(lián)PCB-PTS 能夠被可靠觸發(fā)導(dǎo)通,采用多物理場仿真軟件COMSOL Multiphysics,對并聯(lián)PCB-PTS 的靜電場進(jìn)行了模擬,并且根據(jù)仿真結(jié)果計算了開關(guān)的理論自擊穿電壓。

        (1)電極間隙靜電場分布[9,28]

        對于并聯(lián)PCB-PTS 電極間的靜電場仿真,本質(zhì)上是通過求解下式以獲得場強(qiáng)分布:

        式中,E 為電場強(qiáng)度,V·m-1;φ 為電勢,V。

        結(jié)合Maxwell 方程(2)和本構(gòu)關(guān)系(3):

        可以得到Poisson 方程:

        式中,D 為電位移矢量,C·m-2;ρ 為體電荷密度,C·m-3;ε 為介電常數(shù)。

        基于待求解方程(4),第一步,通過開關(guān)模型設(shè)置陰極電勢為0 V,陽極電勢為1000 V,即主電壓UC=1000 V,獲得觸發(fā)前場強(qiáng)分布云圖如圖4a 所示。第二步,保持主電壓1000 V 不變,并且通過觸發(fā)極施加1500 V 觸發(fā)電壓(UT=1500 V),獲得觸發(fā)后場強(qiáng)分布云圖如圖4b 所示。由圖4a 和4b 可知,并聯(lián)PCB-PTS上下兩個主間隙的電場分布類似。觸發(fā)前后位于電極間隙的電場發(fā)生了本質(zhì)變化,特別是觸發(fā)間隙的場強(qiáng)有了明顯增大。為了定量描述場強(qiáng)隨間隙距離的變化情況,采用從陰極到陽極等間距取點的方式,獲得導(dǎo)通前后各點的場強(qiáng)數(shù)值分別如圖4c和圖4d,其中紅色曲線表示上部開關(guān)的場強(qiáng),藍(lán)色曲線表示下部開關(guān)的場強(qiáng)。由圖4c可知,觸發(fā)前主間隙的場強(qiáng)呈現(xiàn)多次起伏的趨勢,為不均勻電場,最大場強(qiáng)位于觸發(fā)電極附近(d=0.36 mm),其中上部開關(guān)的最大場強(qiáng)Emax1=2.59×106V·m-1(距離陽極0.045 mm 區(qū)域的場強(qiáng)略大于該值),下部開關(guān)的最大場強(qiáng)Emax2=2.39×106V·m-1。由于各處場強(qiáng)都小于空氣的自擊穿場強(qiáng)(Ebreakdown=3.0×106V·m-1),表明開關(guān)在UC=1000 V 的主電壓條件下,不會發(fā)生自擊穿導(dǎo)通現(xiàn)象。由圖4d 可知,觸發(fā)后主間隙場強(qiáng)明顯增大,在靠近陰極一半的主間隙(d<0.45 mm)場強(qiáng)均大于空氣的自擊穿場強(qiáng),導(dǎo)致這些區(qū)域率先導(dǎo)通放電。在電場的作用下,通過碰撞電離和空間光電離等效應(yīng)形成連接主電極的流柱,實現(xiàn)開關(guān)的完全導(dǎo)通[11]。另一方面,仿真結(jié)果表明并聯(lián)結(jié)構(gòu)中的上下兩個開關(guān)都能夠可靠觸發(fā)工作,并聯(lián)的設(shè)計形式增添了冗余結(jié)構(gòu),提高了開關(guān)的可靠度,這將有利于保證EFIs 的可靠輸出。

        圖4 并聯(lián)PCB-PTS 主間隙的電場強(qiáng)度Fig.4 Electric field intensity between cathode and anode of parallel PCB-PTS

        (2)主間隙自擊穿電壓

        觸發(fā)火花隙開關(guān)和其它脈沖高壓開關(guān)類似,需要具有特定的工作電壓范圍,為此要求位于開關(guān)電極間隙的氣體能夠耐受一定高壓而不發(fā)生自擊穿,即具有特定的靜態(tài)USB。在氣體放電理論中,氣體的USB是氣壓p 和極間距離d 的乘積p·d 的函數(shù),該關(guān)系可以用巴申(Paschen)定律描述[29]:

        式中,USB為間隙的自擊穿電壓,kV;A,B 和γ 均為常數(shù);p 為氣體壓力,bar;d 為極間距離,cm。

        對于空氣間隙,有如下關(guān)系[20]:

        式中,δ 為電場增強(qiáng)因子,即間隙中最大場強(qiáng)與平均場強(qiáng)的比值。

        假設(shè)δ 不隨主電壓變化,依據(jù)UC=1000 V(UT=0 V)條件下的場強(qiáng)模擬結(jié)果,得到電場增強(qiáng)因子約為1.74。結(jié)合開關(guān)主間隙d=0.09 cm 和氣壓p=1.01 Pa,由(6)式可得所設(shè)計開關(guān)的理論USB為2437 V,滿足EFIs 對于高壓開關(guān)的耐壓需求。

        3 開關(guān)的電氣性能

        3.1 測試裝置

        電氣性能是評價開關(guān)最為關(guān)鍵的指標(biāo),在開關(guān)設(shè)計與制備的基礎(chǔ)上,組建測試裝置對開關(guān)的電氣性能進(jìn)行表征。為了確定開關(guān)的工作電壓范圍,首先采用高壓直流源給開關(guān)緩慢升壓,對并聯(lián)PCB-PTS 的自擊穿電壓進(jìn)行測試。在小于自擊穿電壓的范圍內(nèi)進(jìn)一步研究開關(guān)的觸發(fā)工作特性,獲得并聯(lián)PCB-PTS 脈沖電流的上升時間及其峰值。最后將開關(guān)用于EFI 發(fā)火回路,通過起爆實驗驗證開關(guān)的實用性。

        圖5 為開關(guān)電氣性能測試的電路原理圖[23],包含高壓電源、高壓電容、脈沖觸發(fā)源和并聯(lián)PCB-PTS。R0和L0分別表示回路的電阻和電感。高壓電源并聯(lián)在電容的兩端,用于緩慢升壓充電,高壓加載在主電極之間;在脈沖電壓信號作用于觸發(fā)電極上之后,并聯(lián)PCB-PTS 導(dǎo)通,回路中出現(xiàn)脈沖電流。通過兩個高壓差分探頭(Teledyne LeCroy HVD3605A),分別測試陰極和觸發(fā)電極之間的觸發(fā)電壓(UT)以及陰陽主電極間的主電壓(UC),采用Rogowski 電流環(huán)(CWTUM/30/R,測試靈敏度為1 V/kA)記錄回路電流(I),電壓和電流信號通過多通道數(shù)字存儲示波器(LeCroy WR 104Xi-A)采集。

        圖5 開關(guān)電氣性能測試原理圖Fig.5 Schematic diagram for the electrical performance of parallel PCB-PTS

        3.2 自擊穿電壓

        開關(guān)的USB,即其最大可工作電壓,直接決定了開關(guān)的工作范圍。通過高壓直流電源對3000 V 耐壓的電容(C=0.15 μF)以20 V·S-1的速率緩慢升壓,由于開關(guān)和電容在電路上為并聯(lián)形式,高壓得以作用在主間隙,直至空氣間隙發(fā)生自擊穿。圖6 為典型的并聯(lián)PCB-PTS 的自擊穿特性曲線,由圖6 可知,開關(guān)的USB=2115 V,對應(yīng)的Ipeak=3818 A,tdi/dt=104 ns。

        圖6 并聯(lián)PCB-PTS 的自擊穿特性曲線(C=0.15 μF)Fig.6 Self-breakdown curve of parallel PCB-PTS(C=0.15 μF)

        為了獲得開關(guān)的實際耐壓偏差,測試了多發(fā)開關(guān)的USB,其中連續(xù)的5 發(fā)數(shù)據(jù)分別為1980、2120、2115、1920 和2337 V。5 發(fā)自擊穿電壓的平均值為2094 V(標(biāo)準(zhǔn)偏差為144 V),小于2.2 節(jié)計算理論值2437 V,相對偏差為14.1%。我們認(rèn)為實測USB較小的原因是在開關(guān)電極間隙存在的電場不均勻,導(dǎo)致實際電場增強(qiáng)因子大于1.74。根據(jù)實測自擊穿電壓,有助于準(zhǔn)確預(yù)估并聯(lián)PCB-PTS 的工作電壓范圍,研制的開關(guān)能夠在小于2000 V 的條件下工作,滿足EFIs 對于高壓開關(guān)的耐壓特性需求。

        3.3 工作特性

        在大約50%~95%USB的電壓范圍內(nèi),從1000 V至2000 V(C=0.22 μF)等間距選取5 個工作電壓,對開關(guān)的觸發(fā)工作特性進(jìn)行測試。所用觸發(fā)源的電壓上升時間小于500 ns,量程為0~5000 V。獲得各電壓下的典型工作曲線如圖7a~圖7e 所示,其中紅色曲線表示工作電壓和脈沖電流,藍(lán)色曲線為觸發(fā)電壓。由圖7a~圖7e 可知:(1)由于導(dǎo)通率先發(fā)生在觸發(fā)間隙,隨后擴(kuò)展至主間隙,因此在0.22 μF/1000 V 工作條件下開關(guān)所需的觸發(fā)電壓為1349 V,略高于其它條件下所需脈沖;(2)在工作電壓范圍內(nèi),開關(guān)所需觸發(fā)電壓小于1500 V,并且觸發(fā)后電流立即流經(jīng)開關(guān)和回路;(3)電流上升時間(tdi/dt)恒定,平均tdi/dt=121.8 ns;(4)峰值電流(Ipeak)>1500 A,并且當(dāng)UC=2000 V 時,Ipeak超過了4000 A。經(jīng)線性擬合,Ipeak=2.28UC-509(可決系數(shù)R2=0.99983),如圖7f 所示。 并聯(lián)PCB-PTS 的電氣性能測試結(jié)果表明:該開關(guān)需要的觸發(fā)裝置簡單,并且能夠在一定電容電壓范圍內(nèi)可靠工作,輸出的脈沖電流能夠滿足EFIs 的使用特性要求。

        圖7 1000~2000 V 工作電壓條件下開關(guān)的工作特性(C=0.22 μF)Fig.7 Operation characteristics of parallel PCB-PTS under 1000-2000 V(C=0.22 μF)

        3.4 發(fā)火性能驗證

        設(shè)計制備并聯(lián)PCB-PTS的最終目的是能夠在EFIs中實現(xiàn)炸藥的起爆輸出。為了直接驗證開關(guān)的實用性,通常將發(fā)火回路設(shè)計成電容放電單元(capacitor discharging unit,CDU)的形式[30],本研究的CDU主要包括高壓電容、并聯(lián)PCB-PTS高壓開關(guān)和EFI三個組件,以及必要的測試電路板和連接線。EFI芯片為集成結(jié)構(gòu),由陶瓷基底、Cu橋箔、Parylene C(PC)飛片層和SU-8光刻膠加速膛構(gòu)成,通過采用磁控濺射鍍膜、光刻和化學(xué)氣相沉積等微機(jī)電系統(tǒng)工藝(Micro-Electro-Mechanical System,MEMS)批量制備。單只EFI芯片的結(jié)構(gòu)參數(shù)為:陶瓷基底4.2 mm(l)×3.0 mm(w)×0.6 mm(h);Cu 橋箔400 μm(l)×400 μm(w)×3.6 μm(h);PC 飛片層600 μm(Ф)×25 μm(h);SU-8加速膛600 μm(Ф)×400 μm(h)[31]。

        EFI 芯片中的飛片速度與沖擊壓力和動能密切相關(guān),是沖擊起爆炸藥的一個重要影響因素。光子多普勒測速(photonic doppler velocimetry,PDV)技術(shù)是一種根據(jù)激光多普勒效應(yīng)測試小尺寸目標(biāo)實時速度歷程的精密測速技術(shù),具有非接觸測試、量程大和精度高等優(yōu)點[32]。通過PDV 測試了PC 飛片在0.22 μF/1400 V的實時速度和加速歷程,如圖8a 所示。由圖8a 可知,飛片的峰值速度為3118 m·s-1。采用激光共聚焦顯微鏡(OLS31-SU,Olympus Corporation)拍攝到的SU-8加速膛形貌如圖8b,可以看出加速膛側(cè)壁與底部垂直,長徑比形貌好。經(jīng)過后處理獲得的加速膛直徑和高度分別為553 μm 和455 μm,與設(shè)計值基本一致。通過對PDV 速度曲線積分,獲得飛片加速到峰值所需的距離為469 μm,表明PC 飛片在出加速膛口后已經(jīng)基本達(dá)到峰值速度,從而有利于飛片以最大速度沖擊炸藥柱實現(xiàn)起爆目的。

        圖8 PC 飛片的實時歷程和激光共聚焦顯微鏡拍攝的SU-8 加速膛形貌Fig.8 Real-time process of PC flyer and 3D image of SU-8 taken by confocal laser scanning microscope

        在EFI 芯片結(jié)構(gòu)的頂端貼上HNS-IV 炸藥柱就組成了EFI?;诓⒙?lián)PCB-PTS 的CDU 及其核心組件如圖9 所示。并聯(lián)PCB-PTS 導(dǎo)通后,EFI 的作用歷程如下[33]:(1)率先儲存在高壓電容中的電能經(jīng)由開關(guān)流入EFI,其中的Cu 橋箔在短脈沖大電流的作用下發(fā)生電爆炸,產(chǎn)生大量氣體和等離子體;(2)在加速膛的約束下,氣體和等離子體剪切并且驅(qū)動表面的PC 飛片,出加速膛口后達(dá)到數(shù)km·s-1;(3)高速飛片沖擊起爆HNS-IV 藥柱(2.3 mm(Ф)×2 mm(h),1.60 g·cm-3)。在0.22 μF/1400 V(電容儲能215.6 mJ)發(fā)火條件下,在安全防爆罐內(nèi)完成了多發(fā)HNS-IV 藥柱的起爆。綜上,并聯(lián)PCB-PTS 通過控制高壓電容的放電過程,輸出短脈沖大電流滿足EFI 的特性需求,成功實現(xiàn)了起爆目的,驗證了該開關(guān)的實用性,同時研制的開關(guān)為并聯(lián)結(jié)構(gòu),有利于提升EFIs 的作用可靠性。

        圖9 基于并聯(lián)PCB-PTS 的CDU 及其組件(高壓電容位于測試板的背面)Fig.9 CDU and its components based on parallel PCB-PTS(capacitor is located on the back of testing PCB)

        4 結(jié)論

        (1)設(shè)計了兩個三電極并聯(lián)的密封PTS,并采用PCB 工藝是實現(xiàn)了該開關(guān)的批量制備,單只開關(guān)的尺寸為13.5 mm(l)×7.5 mm(w)×2.5 mm(h)。

        (2)組建了并聯(lián)PCB-PTS 的電氣性能測試裝置,獲得了該開關(guān)的自擊穿電壓和工作特性:USB的測試平均值為2094 V;在50%~95% USB的工作電壓范圍內(nèi),開關(guān)可以被小于1500 V 的脈沖電壓觸發(fā)導(dǎo)通,電流上升時間穩(wěn)定在約120 ns,峰值電流大于1500 A,滿足EFIs 的使用需求。

        (3)基于并聯(lián)PCB-PTS 的CDU,測試了EFI 結(jié)構(gòu)中PC 飛片的實時歷程;在0.22 μF/1400 V 發(fā)火條件下,成功起爆了HNS-IV 藥柱,驗證了該開關(guān)的實用性。

        (4)未來考慮將并聯(lián)PTS 內(nèi)置在測試PCB 中,進(jìn)一步縮小EFIs 的體積以及降低回路的阻抗,最終實現(xiàn)EFI 低能發(fā)火的目的。

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