圖像傳感器及其形成方法
2019-02-17 07:43:09
傳感器世界 2019年8期
申請?zhí)? 201811178557.9
【公開號(hào)】CN109300927A
【公開日】2019.02.01
【分類號(hào)】H01L27/146
【申請日】2018.10.10
【申請人】德淮半導(dǎo)體有限公司
【發(fā)明人】周艮梅;金子貴昭;黃曉櫓
【摘 要】一種圖像傳感器及其形成方法。圖像傳感器包括：半導(dǎo)體襯底；多個(gè)像素器件，位于半導(dǎo)體襯底內(nèi)；多個(gè)具有不同濾光顏色的濾光器，設(shè)置于半導(dǎo)體襯底的表面；其中，每個(gè)濾光器與位于其下的像素器件之間設(shè)置有光吸收薄膜，且具有不同濾光顏色的濾光器下方的光吸收薄膜具有不同的透光率，濾光顏色的光線波長越長，光吸收薄膜的透光率越低。本發(fā)明方案有助于產(chǎn)生足夠的光電子，提高圖像傳感器的靈敏度。
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