專利申請?zhí)枺篊N201810934638

公開號：CN109119494A

申請日：2018.08.16

公開日：2019.01.01

申請人：蚌埠興科玻璃有限公司; 中建材蚌埠玻璃工業(yè)設計研究院有限公司

本發(fā)明公開一種銅銦鎵硒薄膜太陽能電池銅鉬合金背電極，包括由下至上依次層疊設置的襯底、雜質阻擋層、金屬導電層與硒阻擋層；雜質阻擋層為硅氧化物、硅氮化物、硅氮氧化物、Ti、Zr、Cr、V、Nb、Ta或Ni；金屬導電層為Cu或Cu合金；硒阻擋層為單阻擋層或復合阻擋層，單阻擋層為鉬、氧化鉬或氮化鉬，復合阻擋層由鉬、氧化鉬、氮化鉬的兩種或兩種以上層疊構成；采用磁控濺射在襯底上依次沉積各個結構層即完成制備；在以銅或銅合金為金屬導電層的背電極中引入雜質阻擋層與硒阻擋層，雜質阻擋層能夠阻止襯底中的雜質向銅銦鎵硒薄膜光吸收層擴散；硒阻擋層能夠阻止硒元素向金屬導電層的擴散，避免了硒和金屬導電層之間的反應，確保金屬導電層的穩(wěn)定性。