周建平

（無錫華潤上華科技有限公司，江蘇 無錫 214061）

P5000 系列設(shè)備是CVD 的主要設(shè)備，因此CVD 設(shè)備狀況與產(chǎn)能有著很大的關(guān)系。由于CVD P5000 設(shè)備使用的年限都比較長，而且因為P5000 設(shè)備的Wafer Transfer System的原因（在它的Wafer Transfer System 中需要robot、cassette、elevator、susceptor 及l(fā)ift pin 五 者 之間 的密切配合），導致了傳片故障的多發(fā)性，其中Extension Encode 報警處理耗時比較長，為使設(shè)備能夠良好的運轉(zhuǎn)，不讓時間浪費在無故的消耗中，本文就P5000 設(shè)備Extension Encode 報警原因進行一些分析，以求能夠幫助我們快速解決這類問題。

1 機械傳動分析

1.1 Robot 傳片路徑及結(jié)構(gòu)

在Atm 下,Robot Blade 從Cassette 取 片 經(jīng) 過I/O Slit Valve 和Center finder Sensor Board 到Elevator；Loadlock Chamber 抽真空，Robot Blade 從Elevator 取片經(jīng)過Chamber Slit Valve 到Process Chamber，Susceptor在Release 位置取片，Process 位置工藝，工藝完后在Lift 位 置Robot Blade 經(jīng) 過Chamber Slit Valve 取 片到Elevator；Loadlock Chamber 充 大 氣，Robot Blade 從Elevator 取片到Cassette，如圖1。

1.2 Robot Blade Extension 傳動結(jié)構(gòu)

Extension Stepper Motor 正 反 轉(zhuǎn) 通 過Drive Belt 到Winder Gear 到Extension Winder Spool 經(jīng)過Stainless Steel Cable 帶動Extension Pulley 驅(qū)動Extension Shaft正反轉(zhuǎn)，從而帶動Robot Arm驅(qū)動Robot Blade伸縮，如圖2、3。

2 機械傳動引起的Encode 報警原因和處理

2.1 機械傳動引起的Encode 報警的原因

（1）Slit 閥開關(guān)不暢，則很有可能是手臂撞到Slit 閥引起的Encode 報警。

（2）Susceptor 和Lift 的升降不到位，手臂撞到Sus或Lift 會出現(xiàn)Encode 報警。

（3）Lift PIN 斷，會導致取片時圓片傾斜手臂撞到圓片出現(xiàn)Encode 報警。

（4）Extension 軸承卡阻力大導致電機驅(qū)動負載增加引起電機發(fā)熱不穩(wěn)而Encode 報警。

2.2 機械傳動引起的Encode 報警處理

（1）Slit 閥開關(guān)不暢，確認汽缸是否串氣和電磁閥及氣管是否漏氣，調(diào)節(jié)汽缸行程。

（2）Susceptor 和Lift 的升降不到位，確認電機及傳動絲桿，Home Sensor 擋片及Sensor。

圖1 R 傳片路徑

圖2 Robot 結(jié)構(gòu)

圖3

（3）Lift PIN 斷，調(diào)節(jié)好PIN 與PIN 孔距離。

（4）Extension 軸承卡阻力大，翻新手臂，潤滑軸承(圖4)。

圖4

3 Extension 電機驅(qū)動及異常分析

3.1 電機驅(qū)動分析

DC Power Supply 給Chopper Driver Board 提 供24V和60V 電源，Stepper Control Board 收到SBC 讓電機運動的步數(shù)并給Chopper Driver Board 24V 脈沖指令，Chopper Driver Board 收到Stepper Control Board 指令輸出60V 脈沖電壓驅(qū)動電機，如圖5。

3.2 根據(jù)電機驅(qū)動線路圖引起Encode 報警的原因（如圖6）

圖5

圖6

（1）Stepper Control Board 異常時，Extension 電機驅(qū)動電壓異常導致Encode 報警。

（2）J1(P103),P100 Cable 異常引起電機驅(qū)動電壓波動導致Encode 報警。

（3）Chopper Driver Board 和電機異常直接導致驅(qū)動異常而Encode 報警。

4 系統(tǒng)Encode 控制分析

4.1 SEI PCB Encode 控制

4.2 電機Encode 控制（圖6）

Encode 輸出電脈沖信號，信號輸入到VME 上的SEI 板上。然后SEI 計算處理收到的脈沖信號后，發(fā)送給SBC 板。SBC板將從SEI 傳過來的信號和要求電機運動的步數(shù)進行誤差比較，如果比較的結(jié)果在System Constant 所設(shè)定的范圍之內(nèi)，則系統(tǒng)正常繼續(xù)執(zhí)行下一個動作；若誤差超出范圍，SBC 則發(fā)送出錯的指令（送出5VDC 給DI/O 板，通過DI/O 板送出Hold 信號和驅(qū)動Brake 的信號給Chopper Driver，Chopper Driver 接收到指令后驅(qū)動電機上的剎車（Brake），使傳片動作停止，出現(xiàn)Alarm。

圖7

圖8

5 系統(tǒng)Encode 控制異常引起的Encode 報警原因和處理

5.1 系統(tǒng)Encode 控制異常引起的Encode 報警的原因

（1）Encode Cable 異常引起的Encode 報警。

（2）系統(tǒng)控制板（DI/0 板，SEI 板，SBC 板，VGA 板）異常引起的Encode 報警。

（3）硬盤及VME 電源異常引起的Encode 報警。

5.2 系統(tǒng)Encode 控制異常引起的Encode 報警的處理

Encode Cable 異常確認電壓，有5 個5V 電壓（如圖9）。

圖9

電源異常可通過量電壓確認。

電路板及硬盤異常需要更換確認。

6 設(shè)備干擾分析及處理

由于RF 的泄露會干擾到信號引起Encode 報警，一般更換RF MATCH 解決報警。

7 結(jié)語

Encode 報警原因有好多種，需要具體原因具體分析。首先判斷Robot 位置是否到位，沒有到位按照機械傳動和電機驅(qū)動方向解決；到位先排除是否干擾，然后按照Encode 信號控制檢查解決。Encode 報警處理好后需要校準傳片。