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        雷吉梅克:如果沒有限制,中國肯定能在5至10年內(nèi)完成追趕

        2021-03-09 13:34:14
        中國經(jīng)濟周刊 2021年4期
        關(guān)鍵詞:光刻機飛利浦機器

        《中國經(jīng)濟周刊》:中國市場對ASML意味著什么?鑒于當前的國際形勢,ASML進入中國市場的前景如何?您認為ASML和中國可以在哪些方面進行合作?

        雷吉梅克:ASML已經(jīng)向中國供應(yīng)機器。我認為中國將成為最大的芯片制造商。在過去的3年中,中國在ASML的銷售額占比已達10%~15%,而且無論是否可以將EUV機器交付到中國,這種增長都會繼續(xù)。

        不允許ASML向中國交付EUV機器的原因是美國對荷蘭政府施加的壓力。

        如果ASML能夠?qū)UV機器出售給中國,會如何?如果把7nm看作一個成熟的節(jié)點,我希望中國能在兩年左右的時間內(nèi)進入量產(chǎn)階段。這需要投入巨大的精力。而5nm則需要更長的時間。如果沒有限制,中國肯定能在5至10年內(nèi)完成追趕。屆時,第二代EUV將投入生產(chǎn)(3nm及以上),我認為這將是最后一代EUV或芯片光刻機。

        《中國經(jīng)濟周刊》:ASML在世界各地都有供應(yīng)商,甚至有人認為ASML所做的只是集成各種設(shè)備。您認為,使ASML成為全球領(lǐng)導(dǎo)者的核心競爭力是什么?在其與世界各地供應(yīng)商合作的背景下,為什么其他公司不能生產(chǎn)先進的光刻機?

        雷吉梅克:ASML“只是集成各種設(shè)備”是一個謬論。

        ASML最初只是一家小公司,除了外包生產(chǎn)(如精密零件和鏡片)和購買標準零件(如激光器、傳感器等)外,別無選擇。

        它的核心競爭力是其發(fā)明、設(shè)計和生產(chǎn)非常復(fù)雜的系統(tǒng)的能力。集成所有子系統(tǒng)和組件的能力,這才是ASML真正的優(yōu)勢所在。這是最復(fù)雜的部分——確保所有內(nèi)容無縫協(xié)同工作,以實現(xiàn)高速、高精度的24/7操作。

        ASML已經(jīng)收購了幾家最初是子系統(tǒng)供應(yīng)商的公司,例如Cymer(激光和EUV光源)和Berliner?Glas(微晶玻璃和光學(xué)組件)。進行這些收購的原因是,各個部門的工程師無法將子系統(tǒng)與步進器(半導(dǎo)體制造的一種關(guān)鍵設(shè)備)的其余部分集成在一起,ASML必須接管控制權(quán)。

        我認為對于ASML來說,有兩個至關(guān)重要的關(guān)鍵點:

        其一,ASML擁有大量的受保護的專利和知識產(chǎn)權(quán)。事實上,ASML是一個知識密集型企業(yè)。你可以理解為他們創(chuàng)建了一個新的實驗室,做了很多新的發(fā)明。而且他們非常擅長系統(tǒng)集成方面的知識,他們的工程師了解如何將這些制作光刻機所需要的元件集成在一起,也知道如何組裝一個光刻機。對于“ASML僅僅只擁有12%制造光刻機核心技術(shù)”的說法,我并不認同,我認為ASML已經(jīng)掌握了超過一半的核心技術(shù)。

        其二,ASML仍然會從許多供應(yīng)商那里購買關(guān)鍵部件。如果技術(shù)不能很好地轉(zhuǎn)讓給ASML,ASML就會告訴研究人員,讓他們按照公司的計劃去開展研究。

        在過去的36年中,ASML在研發(fā)方面投入了大量資金,如今每年在研發(fā)方面的支出約為20億歐元。這個“研發(fā)機器”現(xiàn)在非常強大,可以在需要時充當問題解決者的角色。每當發(fā)生危機時,總會有ASML研發(fā)應(yīng)急團隊隨時準備解決問題。例如,當該行業(yè)未能為EUV制造開發(fā)標準時,ASML在很短的時間內(nèi)發(fā)明了該技術(shù)。

        《中國經(jīng)濟周刊》:光刻機是工業(yè)制造的明珠。為什么美國、德國、英國等工業(yè)基礎(chǔ)雄厚、科研實力強的國家沒有像ASML這樣的光刻行業(yè)巨頭?日本的尼康和佳能為什么不能成為像ASML一樣的公司?

        雷吉梅克:這是由于光刻機行業(yè)的復(fù)雜性和資本密集性。對于ASML的成功,我認為在很大程度上有運氣成分。

        荷蘭是一個小國,但它是飛利浦的故鄉(xiāng)。當飛利浦和ASML決定共同開展業(yè)務(wù)并開發(fā)機器時,ASML實際上是一個瀕死的嬰兒——它排在光刻機行業(yè)的末位。

        作為一家技術(shù)驅(qū)動的大型跨國公司,飛利浦在20世紀60年代和70年代取得了巨大成功。飛利浦研究中心在20世紀70年代開發(fā)了一種晶圓步進器,他們認為這會帶來技術(shù)優(yōu)勢。幸運的是,晶圓步進器在飛利浦的一個技術(shù)角落中得以存活。

        美國人退出光刻機行業(yè)的競爭,是因為他們沒有長期計劃,而且GCA(美國公司,上世紀80年代初光刻機行業(yè)的全球銷量冠軍)的技術(shù)確實無法令人滿意。

        雖然德國等其他國家也在努力開發(fā)步進器,但我認為可能是因為復(fù)雜性和資本密集度,導(dǎo)致最終失敗。

        我認為,摩爾定律奠定了半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ),光刻機廠商之間必然存在激烈的競爭。如果他們無法及時地將自己的產(chǎn)品推向市場,就會退出光刻機的主流市場。自上世紀90年代中期開始,ASML將機器推向市場的速度就比尼康和佳能還快。

        在1984年時,ASML還是這個行業(yè)名單上的倒數(shù)第一。盡管如此,他們?nèi)匀幌露Q心要成為光刻機的NO.1。用ASML的話說,爭取第二名或第三名是沒有用的,只有當你成為第一名,才能成為贏家。如果一開始沒有成為第一名的雄心,就沒必要開始,這個觀點適用于任何將復(fù)雜產(chǎn)品或資本轉(zhuǎn)化為生產(chǎn)或服務(wù)密集型的行業(yè)。

        《中國經(jīng)濟周刊》:中科院宣布將攻堅光刻技術(shù),您認為他們必須解決的問題和難點有哪些?ASML的成功能否被復(fù)制?

        雷吉梅克:這項技術(shù)非常復(fù)雜,中國可能需要很長時間才能制造出晶圓步進器。我認為中國能夠開發(fā)出相當先進的DUV機器,但是EUV將會面臨挑戰(zhàn),例如真空、鏡面投影、非常先進的控制系統(tǒng)。

        即便中國開發(fā)出了晶圓步進器,ASML將會有更先進的技術(shù)進入市場。

        但毫無疑問的是,中國擁有足夠的資金和知識儲備,一旦擁有設(shè)備,就可以啟動先進晶圓工廠項目。

        我認為使用DUV技術(shù)和多重圖案,也可以生產(chǎn)很多新一代的芯片。未來芯片的設(shè)計和應(yīng)用創(chuàng)新是中國必須重點關(guān)注的領(lǐng)域。

        即使是ASML的頂級技術(shù)人員,也不了解整個機器的全貌,只有少數(shù)人能夠理解機器是如何工作的。即使其他國家的公司參與到光刻機的競賽中,也沒人會低估光刻設(shè)計的難度,而且它是極難復(fù)制的。

        ASML在光刻機方面擁有大量的專利,且ASML非常重視專利保護,他們研發(fā)機器的所有技術(shù)都是最高機密。

        過去,由于摩爾定律的存在,參與這場競賽的唯一機會就是制造出一臺比競爭對手更先進的機器,這是上世紀80年代的游戲規(guī)則,到上世紀90年代就已經(jīng)不是這樣了。

        如果你想制造出一臺光刻機,就需要在技術(shù)上投入大量的資金和人力,然而這樣的技術(shù)也只能維持幾代人。想復(fù)制ASML的成功,需要企業(yè)同時擁有資金、人才、政府支持以及歷史性的機遇。對于中國來說,與其投資半導(dǎo)體這種已經(jīng)很傳統(tǒng)的技術(shù),不如先購買ASML的產(chǎn)品,并專注于研發(fā)不同于光刻機的技術(shù)路線,從而在硅基技術(shù)之后打造未來的信息系統(tǒng)。

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