齊學(xué)紅 汪海波
江蘇電子信息職業(yè)學(xué)院,江蘇淮安223003
IC測(cè)試系統(tǒng)[1]是保證集成電路穩(wěn)定可靠的關(guān)鍵。IC測(cè)試分為晶圓測(cè)試、芯片測(cè)試和封裝測(cè)試。IC測(cè)試儀由系統(tǒng)控制器、通信橋、測(cè)試頭3部分組成。
DAC芯片測(cè)試儀器的性能高于DAC,方可在測(cè)量中忽略儀器的失真和噪聲。隨著芯片制造工藝的提升,DAC芯片的分辨率和轉(zhuǎn)換速率越來越高。DAC的測(cè)試要求具有更高分辨率的ADC采集系統(tǒng)。ADC分辨率過高將導(dǎo)致采樣率在幾M以下,無法對(duì)高速的DAC進(jìn)行測(cè)試;如果ADC的采樣率較高而分辨率不足,則只能測(cè)試更低分辨率的DAC芯片。16位恰好兼顧采集速度和采集精度。鑒于此,設(shè)計(jì)利用現(xiàn)有的ADC芯片構(gòu)建低噪聲高分辨率采集電路,采集被測(cè)DAC產(chǎn)生的正弦波、方波、鋸齒波和直流信號(hào)等,用于對(duì)DAC的性能進(jìn)行評(píng)估。
低噪聲信號(hào)調(diào)理電路獲取被測(cè)模擬信號(hào),處于系統(tǒng)的前端,對(duì)信號(hào)帶寬及動(dòng)態(tài)范圍等具有決定作用。對(duì)大信號(hào)進(jìn)行衰減,小信號(hào)進(jìn)行放大,采用固定放大和可調(diào)AGC組成級(jí)聯(lián)電路,獲得幅度接近ADC采樣信號(hào)滿量程范圍;設(shè)計(jì)偏移調(diào)節(jié)電路,將輸入的共模信號(hào)調(diào)整到后級(jí)電路的中間電平并校正信號(hào)調(diào)理過程中的偏移,避免信號(hào)超過器件允許范圍;設(shè)計(jì)選取精密的元件和優(yōu)化電路,減少引入噪聲,實(shí)現(xiàn)高信噪比;設(shè)計(jì)驅(qū)動(dòng)電路,實(shí)現(xiàn)同時(shí)驅(qū)動(dòng)4個(gè)ADC電路,滿足系統(tǒng)時(shí)間交替采樣的需要。
信號(hào)輸入采樣電路和ADC電路,由SYNC為多路ADC提供同步時(shí)鐘,獲得4路并行交替系統(tǒng)需要的低抖動(dòng)、多相位采樣時(shí)鐘;ADC轉(zhuǎn)換信號(hào)輸入FPGA處理器實(shí)現(xiàn)信號(hào)的存儲(chǔ)和處理,F(xiàn)PGA輸出信號(hào)通過ARM和接口電路,由以太網(wǎng)線和LAN線與上位機(jī)PC進(jìn)行數(shù)據(jù)交換。系統(tǒng)測(cè)試方案如圖1所示。
系統(tǒng)主要功能模塊包括低噪聲信號(hào)調(diào)理通道、時(shí)鐘產(chǎn)生電路、高速數(shù)據(jù)采集單元、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊、以太網(wǎng)接口電路以及電源模塊等,通過以太網(wǎng)與上位機(jī)進(jìn)行數(shù)據(jù)通信??傮w方案如圖2所示。
信號(hào)調(diào)理模塊完成信號(hào)的衰減、阻抗變換、放大、偏移、驅(qū)動(dòng)和濾波等功能,滿足ADC輸入電壓要求,同時(shí)實(shí)現(xiàn)高信噪比[2-4]。
3.1.1 衰減電路設(shè)計(jì)[5]
采集系統(tǒng)輸入阻抗50/1 MΩ可選,輸入電壓5 VPP。ADC的滿量程輸入為2.5 VPP,需要幅度衰減。有源衰減因外接電源限制其輸入信號(hào)幅度;無源衰減電路輸入功率小,難以滿足設(shè)計(jì)要求,故設(shè)計(jì)選擇分立元件組成的50/1 MΩ衰減電路。
波形發(fā)生器產(chǎn)生波形,經(jīng)50/1 MΩ的選擇開關(guān)電路,1 MΩ電路因分布電容和引線電感影響,設(shè)計(jì)補(bǔ)償分壓電路,電路設(shè)計(jì)10倍衰減,無源衰減網(wǎng)絡(luò)穩(wěn)態(tài)響應(yīng)由R2、R3構(gòu)成的電阻分壓網(wǎng)絡(luò)確定,R1、R4、C1~C3為衰減網(wǎng)絡(luò)高頻補(bǔ)償電路,其中,C2為可調(diào)電容,便于補(bǔ)償調(diào)整。50 Ω阻抗衰減電路采用π型,由R5、R6、R7組成。衰減電路設(shè)計(jì)如圖3所示。
3.1.2 阻抗變換電路設(shè)計(jì)
50 Ω和1 MΩ輸入因小信號(hào)過于敏感導(dǎo)致噪聲信號(hào)隨之進(jìn)入,高輸入阻抗使前級(jí)電路對(duì)后級(jí)驅(qū)動(dòng)能力降低,無法驅(qū)動(dòng)小阻抗負(fù)載。針對(duì)此設(shè)計(jì)以運(yùn)放OPA659為核心,R8、R9、C4~C7元件組成射隨電路,提高輸入阻抗,降低輸出阻抗,實(shí)現(xiàn)對(duì)輸入信號(hào)的緩沖和阻抗變換。阻抗變換電路設(shè)計(jì)如圖4所示。
3.1.3 增益電路設(shè)計(jì)[6]
(1)固定增益電路設(shè)計(jì)
采集系統(tǒng)信號(hào)大時(shí)需要衰減,而信號(hào)小時(shí)則需要放大以達(dá)到ADC滿量程。設(shè)計(jì)采用一個(gè)固定增益電路和一個(gè)可調(diào)增益電路達(dá)到此功能。固定增益設(shè)計(jì)為10倍,選取運(yùn)放LMH6703、R10~R12組成同相放大電路。增益電路設(shè)計(jì)如圖5所示。
(2)可調(diào)增益電路設(shè)計(jì)
設(shè)計(jì)以VCA824為壓控增益放大器,犧牲增益獲取帶寬,設(shè)計(jì)放大倍數(shù)1~10可調(diào),DAC電壓經(jīng)LM431穩(wěn)壓后與-5 V電源產(chǎn)生增益控制信號(hào),控制信號(hào)范圍-1~+1 V。增益電路設(shè)計(jì)如圖5所示。
3.1.4 偏移電路設(shè)計(jì)[7]
信號(hào)經(jīng)過衰減、放大等多級(jí)電路,元件固有的溫票、零票和失真等使信號(hào)中心電平變化,可能超出ADC允許范圍,設(shè)計(jì)數(shù)模轉(zhuǎn)換芯片LTC2600產(chǎn)生直流電壓作為偏移調(diào)節(jié)信號(hào),由AD8009運(yùn)放組成減法電路,實(shí)現(xiàn)信號(hào)偏移,滿足ADC輸入電壓要求。
3.1.5 ADC驅(qū)動(dòng)電路設(shè)計(jì)
ADC驅(qū)動(dòng)電路有變壓器耦合、射頻巴倫耦合和全差分運(yùn)放等形式,設(shè)計(jì)采用全差分運(yùn)放構(gòu)成ADC驅(qū)動(dòng)電路,由高速放大器LMH6553芯片構(gòu)成ADC驅(qū)動(dòng)電路。電路具有增益可調(diào)、前后級(jí)隔離、ADC阻抗匹配等優(yōu)點(diǎn)。
3.1.6 抗混疊濾波電路設(shè)計(jì)
濾波電路能有效濾除進(jìn)入ADC電路的噪聲,避免造成帶內(nèi)混疊,降低動(dòng)態(tài)性能。設(shè)計(jì)采用典型的π型RC濾波電路,通過仿真和實(shí)際調(diào)試,設(shè)計(jì)通頻帶在150 MHz,滿足設(shè)計(jì)要求。
ADC量化模擬信號(hào)需要穩(wěn)定的時(shí)鐘信號(hào),否則會(huì)出現(xiàn)采樣不均、波形不光滑等問題,影響時(shí)鐘穩(wěn)定的因素主要是時(shí)鐘抖動(dòng)。
3.2.1 時(shí)鐘消抖電路設(shè)計(jì)[8-9]
時(shí)鐘抖動(dòng)主要有固定抖動(dòng)和隨機(jī)抖動(dòng),前者由可識(shí)別信號(hào)產(chǎn)生,后者則往往由多種信號(hào)疊加而成。為提高ADC性能,采用高穩(wěn)定性的、具有溫度補(bǔ)償?shù)木д馭iT5155及雙鎖相環(huán)芯片LMK04803構(gòu)成消抖電路,采用差分電路抑制串?dāng)_。時(shí)鐘消抖電路設(shè)計(jì)如圖6所示。
3.2.2 時(shí)鐘同步設(shè)計(jì)
系統(tǒng)LMK04803產(chǎn)生4路ADC采樣時(shí)鐘,通過SYNC(高電平有效)同步;ADC內(nèi)部具有時(shí)鐘分頻器,使輸入時(shí)鐘頻率變?yōu)樽罡卟蓸宇l率的4倍,設(shè)計(jì)第一個(gè)SYNC信號(hào)上升沿有效,4個(gè)ADC共有4個(gè)SYNC同步信號(hào),4路信號(hào)同時(shí)達(dá)到ADC引腳,實(shí)現(xiàn)ADC采樣時(shí)鐘輸入同步;ADC的16位并行數(shù)據(jù)與時(shí)鐘DCO同步,F(xiàn)PGA內(nèi)部采用上升沿同步邏輯,將時(shí)鐘上升沿設(shè)置在數(shù)據(jù)的中心位置,達(dá)到ADC數(shù)據(jù)采樣同步,ADC同步信號(hào)與采樣時(shí)鐘時(shí)序關(guān)系如圖7所示。
采集系統(tǒng)接口包括模擬信號(hào)系統(tǒng)存儲(chǔ)和數(shù)字通信接口。數(shù)字通信接口是指FPGA、ARM、上位機(jī)及以太網(wǎng)之間的接口電路,如圖8所示。設(shè)計(jì)采用8位地址總線、16位寬數(shù)據(jù)總線、讀使能、寫使能、片選和地址線低8位,實(shí)現(xiàn)FPGA與ARM的通訊連接;系統(tǒng)ARM采用STM32407芯片實(shí)現(xiàn)以太網(wǎng)高速數(shù)據(jù)收發(fā),選用高性能DP83848作為以太網(wǎng)收發(fā)器,實(shí)現(xiàn)ARM和以太網(wǎng)高速通訊,以太網(wǎng)通過LAN線與上位機(jī)通訊。
系統(tǒng)利用FPGA高速穩(wěn)定特性,將高速采集信號(hào)進(jìn)行存儲(chǔ)與處理,并對(duì)外設(shè)計(jì)進(jìn)行控制,F(xiàn)PGA與ARM之間通信控制通過軟件判斷實(shí)現(xiàn),控制流程如圖9所示。
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)是將兩路數(shù)據(jù)分離再存儲(chǔ)入大容量設(shè)備,系統(tǒng)上電后進(jìn)入IDLE狀態(tài),等待DDR3初始化結(jié)束,進(jìn)入WAIT等待狀態(tài),當(dāng)接收到上位機(jī)的存儲(chǔ)和讀取命令時(shí),分別進(jìn)行WRITE和READ操作。DDR3控制狀態(tài)轉(zhuǎn)移如圖10所示。
誤差分析校正方法諸如正弦擬合、自適應(yīng)、濾波、重構(gòu)、插值等,系統(tǒng)采用偏移誤差校準(zhǔn)、增益誤差校準(zhǔn)、時(shí)間誤差校準(zhǔn)的流程[12-13]。
將輸入信號(hào)對(duì)地短接,測(cè)量ADC數(shù)據(jù)輸出即得到各自的偏移,理論值為32,768,實(shí)際受布線等影響會(huì)有偏差。上位機(jī)對(duì)每個(gè)ADC偏移誤差獨(dú)自處理后采集波形如圖11所示。偏移誤差的采樣結(jié)果由采樣值與偏移值之差得到,如表1所示。
表1 偏移誤差統(tǒng)計(jì)
輸入模擬角頻率為Ω0的標(biāo)準(zhǔn)正弦信號(hào),ADC采集信號(hào)經(jīng)傅里葉變換,利用MATLAB對(duì)采集數(shù)據(jù)做FFT變換,得到各自增益系數(shù)和信號(hào)相位,再分別計(jì)算增益誤差和時(shí)間誤差。增益誤差和偏移誤差乘以采樣數(shù)據(jù)得到校正;時(shí)間誤差通過時(shí)間延遲電路進(jìn)行修正實(shí)現(xiàn)。
系統(tǒng)性能指標(biāo)包括分辨率、采樣率、帶寬、信噪比等,分別測(cè)試如下:
高精度信號(hào)源(SPF05A)產(chǎn)生100 kHz、幅度1.25 V、無偏移的鋸齒波,由采集板采集數(shù)據(jù),通過LAN線傳輸給上位機(jī),PC上位機(jī)顯示采集數(shù)據(jù)。信號(hào)分辨率測(cè)試連接電路如圖12所示。
上位機(jī)界面獲取測(cè)試結(jié)果如圖13所示。圖中,數(shù)據(jù)表采樣數(shù)據(jù)最大值65,525,由此可見,接近16位,滿足設(shè)計(jì)要求。
如圖12連接采集板,信號(hào)源輸出VPP=500 mV,T=1 μs的方波,經(jīng)過PC統(tǒng)計(jì)處理,選取其中兩個(gè)靠近上升沿之間的采樣點(diǎn),得到N=1,000。經(jīng)測(cè)試表明,采樣率fs=109,滿足設(shè)計(jì)要求,PC波形顯示如圖14所示。
如圖12,信號(hào)源輸出f= 1 MHz,VPP=500 MV,信號(hào)輸出阻抗為50 Ω,保持信號(hào)幅度不變,選取代表性的測(cè)試點(diǎn),測(cè)量幅度值如表2所示。由表中數(shù)據(jù)可見,帶寬在170 MHz內(nèi),信號(hào)幅度接近-3 dB,滿足設(shè)計(jì)要求。
表2 帶塊測(cè)試數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)
如圖12連接電路,信號(hào)源輸出f=1 MHz,VPP=1.125(-1 dBFS),獲取信噪比SNR。數(shù)據(jù)表明,信號(hào)幅值在-1,dBFS處的信號(hào)VPP=1.06,經(jīng)過校準(zhǔn)和處理后,得到信噪比SNR=-62.9 dB,采集波形及頻譜如圖15所示,基本滿足要求。
低噪聲、高分辨率IC測(cè)試儀信號(hào)采集電路設(shè)計(jì)采用了低噪聲信號(hào)調(diào)理電路,降低了噪聲干擾,提高了信噪比。設(shè)計(jì)了可調(diào)相位延遲電路消除時(shí)鐘抖動(dòng);設(shè)計(jì)了接口電路實(shí)現(xiàn)FPGA邏輯控制;分析了偏移誤差、增益誤差和時(shí)間誤差。經(jīng)測(cè)定,IC采集系統(tǒng),分辨率達(dá)到65,525(接近16位)、采樣率109、波形信噪比62.9 dB,達(dá)到設(shè)計(jì)要求。