數(shù)字全息顯微鏡是將光學(xué)全息技術(shù)、數(shù)字圖像處理和顯微成像相結(jié)合的測量方案。設(shè)計了基于透射全息干涉原理的光學(xué)系統(tǒng)，研制了透射式數(shù)字全息顯微測試系統(tǒng)樣機(jī)。整個系統(tǒng)包括光學(xué)系統(tǒng)、光機(jī)系統(tǒng)和軟件系統(tǒng)，主要解決了數(shù)字全息顯微技術(shù)誤差抑制技術(shù)、再現(xiàn)距離和再現(xiàn)參考波矢量的調(diào)整、數(shù)字全息顯微技術(shù)的標(biāo)定技術(shù)及相位快速重建等關(guān)鍵技術(shù)。系統(tǒng)可實現(xiàn)微觀形貌的納米級測量、并可延伸至動態(tài)測試。

該系統(tǒng)可應(yīng)用于微機(jī)電系統(tǒng)、微光機(jī)電系統(tǒng)、納米技術(shù)、半導(dǎo)體和材料科學(xué)等領(lǐng)域的微觀形貌測試及其相應(yīng)的動態(tài)特性分析。能夠記錄和再現(xiàn)物體的三維信息，且具有較高的分辨率；對樣本物體的影響較小；設(shè)備簡單，成本低廉；操作簡便，可實現(xiàn)動態(tài)測試；對測量環(huán)境要求不高。在MEMS/微系統(tǒng)、硅片、微透鏡陣列和生物醫(yī)學(xué)方面有所應(yīng)用。