韓亞杰

摘要：在我國現(xiàn)階段的發(fā)展過程中，各種不同集成電路產(chǎn)品開始普遍存在于人們的生活之中，而產(chǎn)品的可靠性對相關(guān)研究人員分析產(chǎn)品性能、質(zhì)量以及服務(wù)時間等有著重要的作用。也可以說產(chǎn)品的可靠性在極大程度上能夠檢驗到產(chǎn)品的質(zhì)量，并判斷產(chǎn)品是否符合相關(guān)的規(guī)定以及國家要求。在現(xiàn)階段科學(xué)技術(shù)不斷的發(fā)展，在使用了新技術(shù)以及新材料的情況下，以往普通的半導(dǎo)體集成電路的線寬不斷的減少，所以這也就在極大程度上要求相關(guān)的研究人員集中自身大量的精力，以此來實現(xiàn)提升半導(dǎo)體的集成度。與此同時，這一方面的發(fā)展也對半導(dǎo)體集成電路的可靠性提出了更高的要求。本文在此基礎(chǔ)上主要探討了現(xiàn)階段半導(dǎo)體集成電路可靠性的測試，并提出了相關(guān)數(shù)據(jù)的處理方式。

關(guān)鍵詞 ：半導(dǎo)體集成電路 ;可靠性 ;數(shù)據(jù)處理

伴隨著我國經(jīng)濟的不斷發(fā)展以及科學(xué)技術(shù)的不斷進步，對于半導(dǎo)體集成電路的性能質(zhì)量，不同行業(yè)提出了不同的要求，但是這些要求都十分的高。這也在一定程度上促進了半導(dǎo)體集成化的發(fā)展以及壯大，就我國現(xiàn)階段的發(fā)展?fàn)顩r來看，半導(dǎo)體集成電路的發(fā)展正在向著高精準(zhǔn)度的目標(biāo)前進，但是伴隨著不同行業(yè)的快速發(fā)展，生產(chǎn)的要求越來越高，現(xiàn)階段的制造技術(shù)以及過程都比以往的生產(chǎn)流程負載許多。所以，為了能夠有效的對半導(dǎo)體集成電路的可靠性、合格性等進行檢測，不斷的降低相應(yīng)的成本以及流程，一定要采取有效的措施對半導(dǎo)體集成電路的可靠性進行檢測以及分析。

一、現(xiàn)階段對半導(dǎo)體集成電路可靠性進行測試的方式

（一）測試半導(dǎo)體可靠性的相關(guān)措施

就我國目前的發(fā)展?fàn)顩r來看，我國對于半導(dǎo)體可靠性的檢測大都是采用被動式的篩選，但是這種被動篩選的方式需要大量的資金以及工作人員的支持才能夠正常的運行，而且這種篩選的方式也比較的基礎(chǔ)，并不能夠?qū)⒛切┓弦?、可靠性高的半?dǎo)體篩選出來，所以這種被動的檢測方式整體的檢測效率并不是很高。與此同時，這種篩選方式需要工作人員具備充分的時間，而且最重要的就是通過被動篩選進行半導(dǎo)體可靠性的測試，其實對于提升半導(dǎo)體的可靠性并沒有什么實質(zhì)性幫助，這也就在一定程度上要求相關(guān)工作人員在是工作過程中，一定要非常的了解半導(dǎo)體可靠性的生產(chǎn)環(huán)境以及條件，從而保障半導(dǎo)體在實際的使用過程中能夠進行安全可靠的運行。這就要求相關(guān)工作人員在檢測的時候，應(yīng)該通過科學(xué)的數(shù)據(jù)分析，從而對半導(dǎo)體的制造技術(shù)、工藝、條件、使用環(huán)境以及制造周期進行全面的研究以及考慮，了解這些因素對于半導(dǎo)體可靠性的影響，然后在此基礎(chǔ)上使用現(xiàn)先進的技術(shù)，從而不斷地改善、調(diào)整半導(dǎo)體的設(shè)計工作。

（二）對半導(dǎo)體元件可靠性保持時間的檢測方式

在我們?nèi)粘５陌l(fā)展過程中，半導(dǎo)體發(fā)揮著重要的作用。半導(dǎo)體可靠性的高低在極大程度上決定著半導(dǎo)體質(zhì)量的好壞，所以一個質(zhì)量上乘、可靠性高的半導(dǎo)體對于整個機械設(shè)備的使用發(fā)揮著重要的作用，同樣的使用的方式也更加的方便以及快捷。半導(dǎo)體生產(chǎn)的可靠性越高，最終生產(chǎn)出來的電子元件的質(zhì)量以及可靠性就越高，能夠為人們提供更好的服務(wù)。這也就要求相關(guān)的工作人員一定要加強對半導(dǎo)體可靠性的研究。在評估導(dǎo)體可靠性的過程中，相關(guān)工作人員經(jīng)常會使用可靠性評估的方式進行研究，這種方式的主要流程就是，相關(guān)工作人員通過使用專業(yè)的機械設(shè)備以及工具，對半導(dǎo)體進行模擬化的使用以及研究，從而推斷出半導(dǎo)體可能出現(xiàn)的故障次數(shù)、使用的壽命以及質(zhì)量等級等，從而有效的評估出半導(dǎo)體的可靠性，而對于現(xiàn)階段的半導(dǎo)體來說，最為重要的就是半導(dǎo)體的使用壽命，現(xiàn)階段相關(guān)工作人員主要是通過對半導(dǎo)體的成品進行相應(yīng)的分析，從而得到其相應(yīng)的使用壽命，但是在實際發(fā)展過程中，半導(dǎo)體的使用壽命受到外界多種因素的影響，所以相關(guān)工作人員在實際的檢測過程中還需要參考產(chǎn)品可靠性的成長速度，從而對半導(dǎo)體進行綜合性的評估。

二、半導(dǎo)體中處理數(shù)據(jù)的方法

對于半導(dǎo)體中的數(shù)據(jù)進行處理，我國常用的方式有斜坡電壓測試的方式，這種方式得主要是在電網(wǎng)的線性方向加入較強的斜坡電壓，以此來不斷地促進電壓強度的增加，相關(guān)工作人員在這個過程中應(yīng)該積極的觀察可能會導(dǎo)致?lián)舸┑碾妷?。在原理上斜坡電流測試與斜坡電壓測試有著一定的不同，相關(guān)工作人員在進行斜坡電流測試的過程中，在電網(wǎng)的線性度方向增加的就是斜坡電流，并在不段的發(fā)展中增加電流的強度，這會在極大程度上分解固化。斜坡電流測試實驗以及斜坡電壓測試實驗都是斜率實驗的一種類型，而且都能夠在極大程度上對存在缺陷進行彌補。在實際的發(fā)展過程中，相關(guān)的工作人員應(yīng)該將電壓加在規(guī)定范圍內(nèi)的柵氧化層中，如果這些電壓導(dǎo)致柵氧化層達到了擊穿的程度，就可以在一定程度上確定氧化層的耐受電壓程度，這也在較大程度上說明在這種情況下，柵極氧化層是具有一定缺陷的，并不能夠進行正常的工作以及運行。所以實驗的工作人員應(yīng)該將積極的使用泊松分布，對其存在的缺陷進行計算以及評估，從斜坡電壓以及斜坡電流中取得的相關(guān)數(shù)據(jù)進行研究，將相關(guān)數(shù)據(jù)代入一定的公式中進行計算以及分析。除此以外，相關(guān)工作人員還可以對面積進行密度估算，如果從中得到的數(shù)據(jù)已經(jīng)遠遠地超過了正常的范圍，就能夠判斷缺陷的密度設(shè)計與相關(guān)標(biāo)準(zhǔn)不相符合。

三、結(jié)束語

通過上述內(nèi)容我們能夠知道：在現(xiàn)階段的發(fā)展中半導(dǎo)體的集成電路的可靠性對于我國經(jīng)濟的發(fā)展有著重要的作用，在極大程度上影響著我國經(jīng)濟地發(fā)展以及生產(chǎn)的安全性，所以在實際的發(fā)展過程中，相關(guān)工作人員應(yīng)該積極的創(chuàng)新半導(dǎo)體可靠性測量技術(shù)，并對相關(guān)數(shù)據(jù)進行處理，從而判斷半導(dǎo)體集成電路的可靠程度。

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